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1. 发明授权

KR102471659B1 마스크 제조 방법과 이에 의해 제조된 마스크 및 제조된 마스크를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102471659B1
公开(公告)日：2022-11-30
申请号：KR1020220032817
申请日：2022-03-16
IPC分类号： H10K71/00 , H10K99/00 , C23C14/04
摘要： 본발명은복수개의단위마스크시트를결합하여오픈마스크조립체의마스크프레임에접합되는마스크를제조하기위한마스크제조방법에있어서, 복수개의단위마스크시트에응력분산홀을가공하는응력분산홀가공단계; 및상기응력분산홀이가공된복수개의단위마스크시트를인접한단위마스크시트와용접결합하는단위마스크시트결합단계를포함하되, 상기복수개의단위마스크시트상에상기응력분산홀은상기복수개의단위마스크시트가용접결합되는용접결합부의양측으로각각형성되고, 상기복수개의단위마스크시트는접합스틱을이용하여용접결합되며, 상기접합스틱은상기복수개의단위마스크시트가용접결합되는용접결합부의상부에배치되고, 상기용접결합부는상부에위치하는상기접합스틱의중앙부와용접결합되며, 상기접합스틱이상기복수개의단위마스크시트의용접결합부에용접결합시 중앙부가상기용접결합부와용접결합되는상기접합스틱의양측하부면에의해용접결합되는복수개의단위마스크시트에가공된상기응력분산홀이커버되고, 상기복수개의단위마스크시트가결합되어제작된상기마스크를인장시 상기접합스틱에의해커버된상기응력분산홀이응력을분산시켜상기마스크가변형되는것을방지하는것을특징으로하는마스크제조방법과이에의해제조된마스크및 제조된마스크를포함하는오픈마스크조립체의제조방법을제공한다.따라서, 응력분산홀이가공된복수개의단위마스크시트를정밀정반의상부에배치한후 용접결합되는용접결합부를접합스틱을이용하여용접결합하여대형의마스크를제작할수 있고, 제작된대형의마스크를인장시 응력분산홀이응력을분산시켜대형의마스크가변형되는것을방지할수 있으며, 제작된마스크를인장하여마스크프레임에접합시킨상태에서접합된마스크에복수개의개구부를가공함으로써오픈마스크시트의대형화가가능하게된다.

2. 发明授权

KR102454163B1 시계 베젤의 인덱스 도금방법 및 그 방법에 의한 시계 베젤 有权
公开(公告)号：KR102454163B1
公开(公告)日：2022-10-12
申请号：KR1020200187179
申请日：2020-12-30
IPC分类号： C25D7/00 , C25D3/48 , C25D5/48 , C25D5/34 , C23C14/16 , C23C14/04 , C23C28/02 , G04B45/00 , G09B19/18

3. 发明授权

KR102447388B1 OLED용 마스크 프레임 및 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102447388B1
公开(公告)日：2022-09-28
申请号：KR1020200186038
申请日：2020-12-29
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/04 , C23C14/12

4. 发明授权

KR102443437B1 기판 얼라인 장치 및 이를 포함하는 증착장치 有权
公开(公告)号：KR102443437B1
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：KR1020170176174
申请日：2017-12-20
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L51/00 , C23C14/24 , C23C14/04

5. 发明授权

KR102442459B1 마스크 지지 템플릿의 제조 방법, 마스크 지지 템플릿 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102442459B1
公开(公告)日：2022-09-14
申请号：KR1020200129340
申请日：2020-10-07
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/04
摘要： 본발명은마스크지지템플릿의제조방법및 프레임일체형마스크의제조방법에관한것이다. 본발명에따른마스크지지템플릿의제조방법은, OLED 화소형성용마스크를지지하여프레임에대응시키는마스크지지템플릿(template)의제조방법으로서, (a) 트랜스퍼기판에마스크금속막을접착하는단계; (b) 트랜스퍼기판과접촉된마스크금속막의일면과대향하는타면상에서브마스크패턴을형성하는단계; (c) 트랜스퍼기판을분리하는단계; (d) 서브마스크패턴이형성된마스크금속막의타면상에배리어절연부를형성하고, 배리어절연부를개재하여템플릿이포함된템플릿지지부상에마스크금속막의타면을접착하는단계; (e) 마스크금속막의일면상에서마스크금속막의두께를감축하는단계; (f) 마스크금속막의일면상에메인마스크패턴을형성하여마스크를제조하는단계를포함하는것을특징으로한다.

6. 发明授权

KR102442666B1 파인 메탈 마스크 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102442666B1
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：KR1020220036652
申请日：2022-03-24
IPC分类号： C25D1/10 , G03F7/20 , C23C14/04 , H01L51/00
摘要： 가) 기판상에도금레지스트를패턴닝하여형성하는단계와, 나) 패터닝된도금레지스트사이로노출된기판상에금속도금층을형성하는단계와, 다) 나)단계이후패터닝된도금레지스트를제거하는단계와, 라) 금속도금층과기판을분리하는단계를포함하며, 가)단계에서는노광을위한광의포커스심도를제어하여도금레지스트의단면형상을사다리꼴형상으로형성하는것을특징으로하는파인메탈마스크제조방법이개시된다.

7. 发明授权

KR102435235B1 마스크의 제조 방법 및 마스크 有权
公开(公告)号：KR102435235B1
公开(公告)日：2022-08-24
申请号：KR1020200129680
申请日：2020-10-07
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/04
摘要： 본발명은마스크의제조방법및 마스크에관한것이다. 본발명에따른마스크제조방법은, 적어도하나의마스크시트와마스크시트가부착된프레임을포함하는 OLED 화소형성용마스크의제조방법으로서, (a) 복수의개구패턴이형성된마스크시트가접착된지지판을준비하는단계; (b) 중공이형성되고마스크시트보다적어도큰 면적을가지는서브프레임상에마스크시트의일면을대응시키는단계; (c) 서브프레임상에마스크시트를부착하는단계; (d) 적어도하나의마스킹영역을포함하는메인프레임의하나의마스킹영역상에서브프레임을대응시키는단계; (e) 메인프레임상에서브프레임을부착하는단계를포함하는것을특징으로한다.

8. 发明授权

KR102432350B1 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102432350B1
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：KR1020150155790
申请日：2015-11-06
IPC分类号： C23C14/04 , H01L51/00
摘要： 본발명의일 실시예는개구부를갖는프레임과, 증착물질을통과시키는복수개의패턴홀이형성되는패턴부를포함하고, 양단부가프레임에결합되는마스크와, 패턴부의적어도일부를차단하는개구홀을포함하고, 개구부를가로지르도록복수개가설치되어마스크와증착물질을분사하는증착원사이에배치되고, 적어도일부가마스크에결합되는지지스틱을포함하는마스크프레임조립체를개시한다.

9. 发明授权

KR102432348B1 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102432348B1
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：KR1020150172652
申请日：2015-12-04
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56 , C23C14/04 , C23C14/12 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L51/00
摘要： 본발명은유기층증착장치및 이를이용한유기발광디스플레이장치제조방법을개시한다. 본발명은, 탈착가능하도록기판이고정된이동부를제1방향으로이송하는제1이송부와, 기판이분리된이동부를상기제1방향의반대방향으로이송하는제2이송부를포함하여, 이동부가상기제1이송부와상기제2이송부에의해순환이송되도록하는, 이송부와, 상기제1이송부가이동부에고정된기판을이송하는동안기판과이격되어기판에물질을증착하는증착어셈블리와, 상기증착어셈블리가배치되며이동부가통과할수 있는내부공간을갖는하우징을포함하는, 증착부를포함하고, 상기이동부는, 본체부와, 상기본체부에설치되어상기기판이부착되는정전척과, 상기정전척에대향하도록상기본체부에설치되는씨피에스모듈(CPS module, Contactless power supply Module)과, 적어도일부분이상기씨피에스모듈이설치된상기본체부에설치되어열전달을차단하는차폐부를포함한다.

10. 发明公开

KR1020220109324A 얼라인먼트 장치, 성막 장치 및 조정 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220109324A
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：KR1020220009391
申请日：2022-01-21
IPC分类号： H01L21/68 , C23C14/04 , C23C14/54 , C23C16/04 , C23C16/52 , H01L21/67 , H01L21/687 , H01L51/00 , H01L51/56
摘要： [과제] 기판과마스크의얼라인먼트시의위치어긋남을보정함으로써얼라인먼트정밀도를향상시킨다. [해결수단] 기판의피성막면을따른평면에있어서, 기판과마스크의상대위치조정을행하는얼라인먼트수단과, 평면과교차하는교차방향에있어서, 마스크에대한기판의상대적인높이를변화시키는이동수단과, 평면에있어서의기판의위치정보를취득하는측정수단을구비하고, 기판전체가마스크로부터이격되어있는제1 높이에기판이위치하는상태에서, 측정수단이측정을행하여제1 위치정보를취득하고, 제1 높이와는다른높이로서, 기판의적어도일부가마스크로부터이격되어있는제2 높이에기판이위치하는상태에서, 측정수단이측정을행하여제2 위치정보를취득하는얼라인먼트장치를사용한다.

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