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1. 发明授权

KR102479506B1 패드 플레이트 모듈 및 웨이퍼 에지 폴리싱 장치 有权
公开(公告)号：KR102479506B1
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：KR1020200182298
申请日：2020-12-23
IPC分类号： B24B9/06 , B24B41/00 , H01L21/67
摘要： 본발명은패드플레이트모듈을구성하는 2개의플레이트에보강용체결수단을추가하거나, 보강용체결수단과더불어돌출부및 돌출부대응홈을이용하여볼트의체결오류가발생하여도패드의이탈을최소로할 수있는패드플레이트모듈을제안한다. 상기패드플레이트모듈은, 제1플레이트및 제2플레이트를포함하며, 상기제1플레이트와상기제2플레이트는추가하는체결수단및 돌출부와이에대응하는대응레일홈 또는대응슬라이딩홈을이용하여패드의분리또는이탈을막을수 있다.

2. 发明授权

KR102471926B1 가공조경석 제조 및 분류 방법 有权
公开(公告)号：KR102471926B1
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：KR1020220059867
申请日：2022-05-16
IPC分类号： B44C5/06 , B24B9/06
摘要： 본발명은가공조경석제조및 분류방법에관한것으로서, 보다구체적으로는가공조경석제조및 분류방법으로서, (1) 석산내에서발파및 소할처리된암괴를대분류로채집하는단계; (2) 석산계단식법면지형앞 평탄한지면에구덩이를만들고, 그주변에가공된조경석을소분류로적층할수 있는가공지형을확보하는단계; (3) 가공지형법면에대분류된암괴를적층하여 1차가공하는단계; (4) 가공지형구덩이안에일정량의작은자갈들을확보하는단계; (5) 마모용칩이부착되고, 부서진석분이배출될수 있는일정크기의배출구가설치된버켓을확보하는단계; (6) 가공지형내 자갈이들어간구덩이안에서대분류로채집된암괴를버켓으로 2차가공하는단계; 및 (7) 가공지형내에가공된조경석을소분류로분리하는단계를포함하는것을그 구성상의특징으로한다. 본발명에서제안하고있는가공조경석제조및 분류방법에따르면, 석산내에서발파및 소할처리된암괴를대분류로채집하고, 석산계단식법면지형앞 평탄한지면에구덩이를만들고, 그주변에가공된조경석을소분류로적층할수 있는가공지형을확보하며, 가공지형법면에대분류된암괴를적층하여 1차가공하고, 가공지형구덩이안에일정량의작은자갈들을확보하며, 마모용칩이부착되고, 부서진석분이배출될수 있는일정크기의배출구가설치된버켓을확보하고, 가공지형내 자갈이들어간구덩이안에서대분류로채집된암괴를버켓으로 2차가공하며, 가공지형내에가공된조경석을소분류로분리할수 있도록구성함으로써, 채집된암괴를굴착기(Excavator)를이용하여모서리를포함한표면이예리하지않도록가공하여조경석을제조하고, 이를치수및 굴림도에따라분류할수 있도록할 수있다. 또한, 본발명의가공조경석제조및 분류방법에따르면, 채집된암괴를굴착기(Excavator)를이용하여모서리를포함한표면이예리하지않도록가공하여조경석을제조하고, 이를치수및 굴림도에따라분류할수 있도록함으로써, 가공조경석의생산시간을단축하고. 생산원가를낮출뿐 아니라, 불필요한공정을없애고우수한품질의가공조경석제품을생산할수 있도록할 수있다. 뿐만아니라, 본발명의가공조경석제조및 분류방법에따르면, 가공지형(가공시설) 내에구덩이를만들되, 구덩이안에는물 대신작은자갈들을넣고, 굴착기버켓은내부에마모용칩(Chip)을결속하고구덩이안에서칩과칩 사이에작은자갈들이삽입될수 있게하여버켓이오므리고펴질때마다마모용칩과작은자갈들이암괴와마찰하여암괴의모서리와표면이가공될수 있도록하고, 버켓바닥에일정규모의배출구를내어마찰로인해부숴진석분이빠질수 있도록버켓을제작하며, 가공된조경석은그 가공정도가굴착기운전자시야에쉽게확인되어굴착기작업반경내에쉽게분리적층하여가공조경석의생산시간을단축하고생산원가를낮출뿐 아니라제품을쉽게분류할수 있도록할 수있다.

3. 发明授权

KR102461790B1 웨이퍼 가공 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102461790B1
公开(公告)日：2022-11-03
申请号：KR1020220012289
申请日：2022-01-27
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67 , B24B9/06
摘要： 본발명의일 실시예는, 일측에노치부가형성된웨이퍼를준비하는단계, 비젼카메라에의해촬영한상기노치부의영상정보를분석하여상기웨이퍼를정렬하는단계및 노치휠을이용하여상기노치부의일정영역이사전에설정된두께를갖도록상기노치부를가공하는단계를포함하는웨이퍼가공방법을제공한다.

4. 发明公开

KR1020220048924A 웨이퍼 가공 방법 및 시스템 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220048924A
公开(公告)日：2022-04-20
申请号：KR1020210104772
申请日：2021-08-09
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/68 , B24B9/06 , B24B49/12
摘要： 본발명의일 실시예는, 웨이퍼를안착시키는지지테이블, 상기웨이퍼의노치부를가공하는제1 가공장치및 상기웨이퍼의에지부를가공하는제2 가공장치를포함하고, 상기제1 가공장치는상기웨이퍼의노치부를가공하되, 상기노치부의일정영역이사전에설정된제1 두께를갖도록상기노치부를가공하는노치휠및 일단에상기노치휠을장착하되, 제1 회전축을중심으로회전가능하게상기노치휠을장착하는제1 스핀들을구비하는, 웨이퍼가공시스템을제공한다.

5. 发明公开

KR1020220048923A 웨이퍼 가공 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220048923A
公开(公告)日：2022-04-20
申请号：KR1020210104771
申请日：2021-08-09
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/68 , B24B9/06 , B24B49/12
摘要： 본발명의일 실시예는, 스핀들의일단에기존노치휠의장착여부를확인하는단계, 상기기존노치휠이장착되어있는경우, 상기스핀들을사전에설정된구역으로이동시켜상기기존노치휠을제거하는단계, 상기스핀들의일단에상기기존노치휠의제거여부를확인하는단계, 복수개의신규노치휠을보관하는카세트유닛으로상기스핀들을이동시키고, 상기복수개의신규노치휠중 어느하나를상기스핀들의일단에장착하는단계및 상기신규노치휠이장착된상기스핀들을웨이퍼의노치부로이동시켜, 상기노치부의일정영역이사전에설정된두께를갖도록상기노치부를가공하는단계를포함하는웨이퍼가공방법을제공한다.

6. 发明授权

KR102245842B1 당구 큐의 팁 손질용 양면 슬라이딩 줄판 有权
公开(公告)号：KR102245842B1
公开(公告)日：2021-04-28
申请号：KR1020200144161
申请日：2020-11-02
申请人： (주)빌리시스템
发明人： 최영일
IPC分类号： A63D15/14 , B24B9/06
摘要： 본발명은당구큐의팁 손질용양면슬라이딩줄판에관한것으로서, 더욱상세하게는당구큐의팁이매끈해져쵸크가잘 칠해지지않을경우혹은큐 미스가발생할경우에, 팁에미세하게상처를주어쵸크가잘 묻고, 팁에마찰력을주어큐미스확률을줄여주면서공의회전은증가시킬수 있도록하는당구큐의팁 손질용양면슬라이딩줄판에관한것이다.

7. 发明公开

KR20210018060A 엣지 트리밍 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20210018060A
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR20200091135
申请日：2020-07-22
IPC分类号： B24B9/06 , B24B55/04 , B24B55/06 , H01L21/67 , H01L21/683
摘要： [과제] 엣지트리밍장치에있어서, 유지면에가공부스러기가부착되지않은테이블에서웨이퍼를유지시킨다. [해결수단] 엣지트리밍장치는, 웨이퍼외직경보다작은외직경의환형홈을흡인원에연통시켜환형홈으로웨이퍼하면을흡인유지하는척 테이블과, 절삭블레이드를회전시켜척 테이블에유지된웨이퍼외주부분을환형으로절삭하는절삭유닛과, 테이블의상면의환형홈보다외측의영역과환형홈을포함한테이블의상면을세정하는세정유닛을포함한다. 세정유닛을테이블의상면의환형홈보다외측의영역과환형홈을포함한척 테이블의상면에위치시키고, 척테이블을회전시켜, 환형홈과상면을세정한다.

8. 发明授权

KR102182910B1 웨이퍼의 엣지 연마 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102182910B1
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：KR20197011933
申请日：2017-10-02
IPC分类号： B24B55/06 , B24B9/06 , B24B37/27 , H01L21/304
摘要： (과제) 척테이블상에부착되는슬러리잔사의세정효과가높은세정기구를구비한엣지연마장치를제공한다. (해결수단) 엣지연마장치(1)는, 웨이퍼(W)를흡착보유지지하는척 테이블(10)과, 척테이블(10)을회전시키는회전구동기구와, 척테이블(10)에의해흡착보유지지된상태에서회전하는웨이퍼(W)에슬러리를공급하면서웨이퍼의엣지를연마하는엣지연마유닛(20)과, 척테이블(10) 상의슬러리잔사를제거하는세정유닛(50)을구비한다. 세정유닛(50)은, 고압제트노즐및 당해고압제트노즐의주위를둘러싸는브러시를구비한세정헤드(52)를포함하고, 세정헤드(52)를이용하여척 테이블(10)을고압세정과동시에브러시세정한다.

9. 发明授权

KR102117362B1 실리콘 웨이퍼의 연마 방법 및 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102117362B1
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：KR1020197013184
申请日：2017-09-22
申请人： 가부시키가이샤 사무코
发明人： 모리타츠요시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/304 , B24B37/08 , B24B9/06

10. 发明授权

KR102022754B1 다이싱 장치 및 다이싱 방법 有权
公开(公告)号：KR102022754B1
公开(公告)日：2019-09-18
申请号：KR1020167003252
申请日：2013-06-14
申请人： 가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔 , 와타나베 준지
发明人： 와타나베준지 , 후지타타카시
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/304 , B24B19/02 , B24B9/06 , B24D3/06 , B24D5/12

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