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1. 发明授权

KR101144958B1 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법 有权
标题翻译：甘蔗阶段正交差错测量与补偿方法
公开(公告)号：KR101144958B1
公开(公告)日：2012-05-11
申请号：KR1020090086527
申请日：2009-09-14
申请人： 순환엔지니어링 주식회사
发明人： 고병관
IPC分类号： G01B21/22 , G01B7/305
CPC分类号： G01B21/24
摘要： 본 발명은 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체나 FPD 장비나 정밀가공장비 등에 사용되는 갠트리 구조형 스테이지의 원점복귀 시 원점복귀 반복 정도 향상 및 직각도 오차를 최소화 할 수 있는 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법은 기구적으로 직각도를 맞춘 갠트리 구조형 스테이지에서 현재 위치의 엔코더 값을 판독해서 저장하는 단계와; 상기 갠트리 구조형 스테이지를 저속 구동하면서 갠트리 구조형 스테이지의 마스터 축과 슬레이브 축에 각각 설치되어있는 원점복귀 센서 또는 엔코더 인덱스 신호를 감시하는 단계 및; 상기 인덱스 신호가 감지되었을 경우, 감지된 위치의 마스터 축 또는 슬레이브 축의 리니어 엔코더 값을 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법은 스테이지에 설치되어 있는 엔코더 및 원점복귀 센서를 이용함으로써 제작 비용을 절감할 수 있다.
갠트리 구조, 직각도, 오차 측정, 오차 보상, 원점복귀

2. 实用新型

KR200226786Y1 대형축의 수직도 비접촉 측정장치 失效
标题翻译：大轴垂直轴的非接触式测量装置
公开(公告)号：KR200226786Y1
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR2020000036919
申请日：2000-12-29
申请人： 한전케이피에스 주식회사
发明人： 김문영 , 김낙점
IPC分类号： G01B7/305
摘要： 본 고안은 대형축과 나란하게 피아노선을 설치하고 대형축에는 마그네틱 블록과 마그네틱 블록에 고정되는 게이지를 사용하여 피아노선과의 접촉 여부로 대형축과 수직도를 측정하는 대형축의 수직도 측정장치에 있어서, 피아노선을 없애고,
수직도 측정용 대형축의 일단에 마그네틱 블록을 통하여 고정되는 회전원판과, 회전원판에 연동하여 회전각도를 인식하는 각도 분할기;
대형축과 인식 가능한 거리를 두고 센서를 일정 길이 간격마다 각각 설치하는 센서지그체;
각도 분할기의 출력을 컴퓨터가 인식 가능한 하나의 통신포트와 연결시키는 어댑터;
상기 센서들을 통한 센싱값을 증폭 및 변환시켜 컴퓨터 본체의 다른 통신포트로 제공하는 변환기를 포함하여 구성되고,
상기 일정 길이 간격마다 각각 설치되는 센서들은 각도분할기와 초기 동일 수직 선상을 이루도록 설치한 것을 특징으로 하는 대형축의 수직도 비접촉 측정장치이다.

3. 发明公开

KR1020160115139A 위치 측정장치 无效
标题翻译：用于测量位置的装置
公开(公告)号：KR1020160115139A
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR1020150042244
申请日：2015-03-26
申请人： 현대제철 주식회사
发明人： 구천우
IPC分类号： G01B7/00 , G01B7/305 , B23D33/00
CPC分类号： G01B7/305 , B23D33/00
摘要： 위치측정장치에관한발명이개시된다. 개시된위치측정장치는, 피측정장치에서이격되어위치하며도체를포함하여이루어지는기준와이어와, 피측정장치에탈착가능하게결합되는하우징부재와, 하우징부재에결합되며, 길이가신장되어기준와이어에접하는측정부재와, 기준와이어와피측정장치를전기적으로연결하며, 측정부재와기준와이어의접촉여부를출력하는출력부재를포함하는것을특징으로한다.

4. 发明授权

KR101198779B1 정밀가공물 표면 측정장치 有权
标题翻译：测量设备的表面精密加工
公开(公告)号：KR101198779B1
公开(公告)日：2012-11-09
申请号：KR1020100106681
申请日：2010-10-29
申请人： 정준오
发明人： 정준오
IPC分类号： B23Q17/20 , G01B7/02 , G01B7/305 , G01B7/30
摘要： 본 발명은 정밀가공물 표면 측정장치에 관한 것으로서, 특히 거치대(1) 상에 설치됨과 동시에 그 길이방향으로 이송대(2)를 가지는 승,하강대(3)(3')와;, 이송대(2) 양 측부에 설치되는 승,하강조정휠(21) 및 디지털게이지(22)와;, 이송대(2) 측부에 설치되는 수평조절대(41)와 수직조절대(42)로 이루어진 각도조절대(4)와;, 각도조절대(4)의 수직조절대(42) 끝단에 설치되는 측정센서(5)로 정밀가공물 표면 측정장치를 구성함에 있어서, 상기 거치대(1) 하부로 일정간격을 두고 경첩(6)으로 연결되는 설치판(7)을 구성하고, 설치판(7) 하부면에는 한 쌍의 이송블럭(72)(72')을 설치하여 측정대(a) 상에 부착구성되는 안내레일(8)과 끼움?결합 되도록 하되, 상기 거치대(1)의 하부 중심과 설치판(7) 상부 중심을 탄력스프링(73)으로 연결구성함과 동시에 설치판(7) 상부 측단으로 나사홀(74)을 형성하여 그 내에 상단중심에 가압돌기(92)를 가지는 각도조정휠(9)의 나사대(91)를 나사결합시켜서 됨을 특징으로 한다.
따라서 이상의 본 발명은 측정장치의 이동 안전성과 정밀성을 높이고, 나아가 승,하강대로 각도조절기능을 부여하므로 가공물에 측정센서를 보다 신속?정밀하게 근접위치시킬 수 있도록 함과 동시에 가공물의 경사면에 대한 직각도 및 전직도 측정까지 가능케 하여 주도록 한 것이다.

5. 发明公开

KR1020010018165A 수직구조물의 수직도 및 변형검출장치와 이에 사용되는초기조건설정장치 无效
标题翻译：用于检测垂直度的设备和垂直结构的变形以及用于建立初始条件的设备
公开(公告)号：KR1020010018165A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990033993
申请日：1999-08-17
申请人： 재단법인 포항산업과학연구원
发明人： 정희돈 , 김승섭
IPC分类号： G01B7/305
摘要： PURPOSE: A verticalness degree and deformation detector of a vertical structure and an initial condition establishing device are provided to exactly detect the deformation or verticalness degree of the vertical structure and to regulate a zero point to the detector. CONSTITUTION: A verticalness degree and deformation detector consists of a mobile trolley(1) travelling along a side front face of a vertical structure; a detection box(9) traveled by a travelling wheel(3); a deformation plate fixed on an upper part of the detection box; a weight moved along a guide plate within an interval range of a deformation limitation rod in a gravity direction; a strain gauge for transmitting the curving deformation of the deformation plate to a strain amplifier as an electric signal; and a detector(12) for detecting the verticalness degree and deformation of the vertical structure by analyzing an amplification signal of the strain amplifier. After initial condition establishment of a deformation detector, the mobile trolley is adhered to the vertical structure by using the magnetic force of a travelling wheel(2). The mobile trolley is slowly moved up and down along the side front face of the vertical structure. Resilient deformation occurs on the deformation plate by the weight. The strain gauge transmits the resilient deformation to the strain amplifier through a terminal. The strain amplifier amplifies the electric signal of the strain gauge and transmits the signal to the detector. Then, the detector detects the verticalness degree and deformation of the vertical structure in a standard capacity by analyzing the amplification signal.
摘要翻译：目的：提供垂直结构的垂直度和变形检测器以及初始条件建立装置，以精确地检测垂直结构的变形或垂直度，并将零点调节到检测器。构成：垂直度和变形检测器由沿垂直结构的侧面前进行进的移动手推车（1）组成; 由行进轮（3）行进的检测箱（9）; 固定在检测箱的上部的变形板; 重力在变形限制杆的重力方向的间隔范围内沿着导板移动的重物; 用于将变形板的弯曲变形传递到应变放大器的应变仪作为电信号; 以及用于通过分析应变放大器的放大信号来检测垂直结构的垂直度和变形的检测器（12）。在变形检测器的初始状态建立之后，通过使用行进轮（2）的磁力将移动小车粘附到垂直结构。移动手推车沿垂直结构的侧面正面缓慢上下移动。弹性变形发生在变形板上的重量。应变仪通过端子将弹性变形传递到应变放大器。应变放大器放大应变仪的电信号，并将信号传输到检测器。然后，通过分析放大信号，检测器以标准容量检测垂直结构的垂直度和变形。

6. 实用新型

KR2019960024180U 센서 로터의 검사 장치 无效
标题翻译：传感器转子检测装置
公开(公告)号：KR2019960024180U
公开(公告)日：1996-07-22
申请号：KR2019940038100
申请日：1994-12-30
申请人： 기아자동차주식회사
发明人： 홍석영
IPC分类号： G01B7/305
摘要： 본고안은압입작업과동시에검사작업을하여작업효율을높이기위해, 압입수구(7)에체결되는바퀴허브(1)의상부에센서로터(2)가연결되고, 상기센서로터상단부에리니어게이지(5)와 ABS센서(6)가설치되는압입펀치(4)가설정되며, 상기압입펀치상단부에압입램(3)이위치되도록구성하여, 바퀴허브(1) 상부쪽으로부터센서로터(2)가압입램(3)의하강에의해압입하고, 압입펀치(4)에리니어게이지(5)와 ABS센서(6)가설치하며, 압입작업후 압입수구(7)를 1회전시키는것에의해직각도측정과전압측정을하고검사작업을하도록하는센서로터의검사장치이다.

7. 发明公开

KR1020120045257A 정밀가공물 표면 측정장치 有权
标题翻译：测量设备的可靠精密加工
公开(公告)号：KR1020120045257A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：KR1020100106681
申请日：2010-10-29
申请人： 정준오
发明人： 정준오
IPC分类号： B23Q17/20 , G01B7/02 , G01B7/305 , G01B7/30
摘要： PURPOSE: An apparatus for measuring a surface of a precise workpiece is provided to precisely and rapidly move a measuring sensor closely to a workpiece by applying an angle adjustment function to ascending and descending rods. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a surface of a precise workpiece comprises a holding body(1), an installing plate(7), and an angle adjusting wheel(9). The installing plate is installed under the holding body. The installing plate is connected by a hinge(6) at a certain gap. An elastic spring(73) connects the lower center of the holding body and the upper center of the installing plate. A screw hole(74) is formed in an upper lateral end of the installing plate. The angle adjusting wheel has a pressing projection(92) and a screw rod(91). The screw rod of the angle adjusting wheel is thread-coupled to the screw hole of the installing plate.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量精确工件表面的装置，通过对上升杆和下降杆施加角度调整功能，将测量传感器精确而快速地移动到工件上。构成：用于测量精密工件的表面的装置包括保持体（1），安装板（7）和角度调节轮（9）。安装板安装在保持体下。安装板通过铰链（6）以一定间隙连接。弹性弹簧（73）连接保持体的下部中心和安装板的上部中心。在安装板的上侧端部形成螺纹孔（74）。角度调节轮具有按压突起（92）和螺杆（91）。角度调节轮的螺杆与安装板的螺丝螺纹连接。

8. 发明公开

KR1020110028895A 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법 有权
标题翻译：甘蔗阶段正交差错测量与补偿方法
公开(公告)号：KR1020110028895A
公开(公告)日：2011-03-22
申请号：KR1020090086527
申请日：2009-09-14
申请人： 순환엔지니어링 주식회사
发明人： 고병관
IPC分类号： G01B21/22 , G01B7/305
CPC分类号： G01B21/24
摘要： PURPOSE: A method for measuring orthogonality error of a gantry stage and a method for compensating error for starting point return are provided to reduce manufacturing costs using an encoder and a starting point returning sensor. CONSTITUTION: A method for measuring orthogonality error of a gantry stage comprises following steps. The encoder value of a current value is read and stored in the gantry stage whose orthogonality is corrected by instrument. The gantry stage is driven at low speed, and a starting point returning sensor or an encoder index signal that is respectively installed in a master shaft and a slave shaft is monitored. When index signals are detected, the linear encoder value of the mater shaft or the slave shaft is read.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量龙门架台的正交性误差的方法和用于补偿起点返回误差的方法，以便使用编码器和起点返回传感器来降低制造成本。构成：用于测量台架台阶正交性误差的方法包括以下步骤。当前值的编码器值被读取并存储在通过仪器校正其正交性的台架台中。台架以低速驱动，并监控起始点返回传感器或分别安装在主轴和从轴中的编码器索引信号。当检测到索引信号时，读取主轴或从轴的线性编码器值。

9. 发明授权

KR100844024B1 수직구조물 안전진단 계측시스템 有权
标题翻译：用于安全检查垂直结构的测量系统
公开(公告)号：KR100844024B1
公开(公告)日：2008-07-04
申请号：KR1020080035156
申请日：2008-04-16
申请人： (주)대영구조기술단
发明人： 안영호
IPC分类号： G01B7/305 , G01B7/30 , G01B7/16
摘要： A measuring system for safety diagnosis of vertical structures is provided to prevent accidents by detecting a deformation degree out of an allowable range and transmitting it to a manger terminal. A measuring system for safety diagnosis of vertical structures comprises a measuring diagnosis plate(10), a vertical diagnosis box(20) and a control unit(30). The measuring diagnosis plate is provided with a horizontal plate(11) having a horizontal fixing hole to be fixed by a fixing bolt(11b), a vertical plate(12) having a vertical fixing hole to be fixed by a fixing bolt(12b) in vertical structures, and a bolt hole for fixing an L-shaped vertical guide plate(15) by a bolt. The vertical diagnosis box has a rectangular parallelepiped shape, a horizontal part of which is tightly attached to an outer horizontal surface in the center of the outer surface of the vertical guide plate of the measuring diagnosis plate while the outer upper corner is tightly attached to the inner vertical and horizontal surfaces of the vertical guide plate, and is provided with a bottom diagnosis instrument(21) and a vertical diagnosis instrument(21a) rotating around a rotational shaft. The control unit is installed on an inclined plate of the measuring diagnosis plate to control a forward and reverse driving motor(36) having a pinion gear(36b) coupled to a rack gear row(27a) of a transfer rail(27) of the vertical diagnosis box, and is fixed to the outer surface of the vertical diagnosis box.
摘要翻译：提供了用于垂直结构安全诊断的测量系统，通过检测出允许范围内的变形程度并将其发送到管理终端来防止事故发生。用于垂直结构的安全诊断的测量系统包括测量诊断板（10），垂直诊断盒（20）和控制单元（30）。测量诊断板设有水平板（11），水平板（11）具有用固定螺栓（11b）固定的水平固定孔，垂直板（12）具有用固定螺栓（12b）固定的垂直固定孔，在垂直结构中，以及用于通过螺栓固定L形垂直导板（15）的螺栓孔。垂直诊断箱具有长方体形状，其水平部分紧紧地附接到测量诊断板的垂直导板的外表面的中心的外侧水平表面，而外部上角紧紧地附接到测量诊断板垂直导板的内垂直和水平表面，并且设置有围绕旋转轴旋转的底部诊断仪器（21）和垂直诊断仪器（21a）。控制单元安装在测量诊断板的倾斜板上，以控制正向和反向驱动马达（36），该正向和反向驱动马达（36）具有联接到所述传动轨道（27）的齿条齿条（27a）的小齿轮（36b）垂直诊断箱，并固定在垂直诊断箱的外表面。

10. 发明公开

KR840007457A 핵연료봉 직립성 측정장치 失效
公开(公告)号：KR840007457A
公开(公告)日：1984-12-07
申请号：KR840000184
申请日：1984-01-17
IPC分类号： G01B7/00 , G01B7/28 , G01B7/305 , G01B7/34
摘要： 내용없음.

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