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1. 发明公开

KR1020220054201A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220054201A
公开(公告)日：2022-05-02
申请号：KR1020210137569
申请日：2021-10-15
IPC分类号： H01L21/67 , F26B5/00 , H01L21/02
摘要： 기판의표면에형성된패턴의도괴를보다확실하게억제한다. 표면에액체가부착된기판을, 초임계상태의처리유체를이용하여건조시키는기판처리장치는, 기판을수용하는처리용기와, 처리용기내에서표면을상향으로하여기판을수평으로유지하는기판유지부와, 처리용기에마련된제 1 유체공급부에접속되어, 처리용기내로처리유체를공급하는제 1 공급라인과, 처리용기에마련된배출부에접속되어, 처리용기로부터처리유체를배출하는배출라인과, 제 1 공급라인에설정된제 1 분기점에있어서제 1 공급라인으로부터분기하고또한배출라인에설정된접속점에있어서배출라인에접속되어, 제 1 공급라인을흐르는처리유체중 적어도일부를처리용기를통하지않고배출라인으로배출하는것을가능하게하는바이패스라인과, 바이패스라인을개폐하는바이패스개폐밸브를구비한다.

2. 发明授权

KR102388636B1 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102388636B1
公开(公告)日：2022-04-20
申请号：KR1020200064270
申请日：2020-05-28
IPC分类号： H01L21/02 , F26B5/00 , H01L21/687
摘要： 기판처리방법은, 액체를거치지않고고체에서기체로변화하는승화성물질과상기승화성물질을용해시키는용매를포함하는용액인승화성물질함유액을, 패턴이형성된기판의표면에공급함으로써, 상기기판의표면을덮는상기승화성물질함유액의액막을상기기판의표면상에형성하는승화성물질함유액막형성공정과, 상기액막으로부터상기용매를증발시켜상기승화성물질의고체를형성함으로써, 상기승화성물질의고체가결정화하기전의결정전 전이상태인전이상태막을상기기판의표면에형성하는전이상태막형성공정과, 상기승화성물질의고체를상기결정전 전이상태로유지하면서, 상기기판의표면상의상기승화성물질의고체를승화시킴으로써, 상기전이상태막을상기기판의표면으로부터제거하는전이상태막제거공정을포함한다.

3. 发明授权

KR102357841B1 기판 이송 장치 有权
公开(公告)号：KR102357841B1
公开(公告)日：2022-02-04
申请号：KR1020200063161
申请日：2020-05-26
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , F26B5/00 , B25J19/06
摘要： 본발명은기판이송장치에관한것이다. 본발명은로봇암, 액체상태의유기용제가습윤되어있는기판이장착되어있으며상기로봇암에의해구동되어상기기판을챔버에반입하고상기챔버에서상기유기용제가제거된기판을반출하는로봇핸드및 상기기판이장착되어있는로봇핸드의하부에위치하도록상기로봇암에결합되어있으며상기기판으로부터흘러내리는유기용제를받는트레이를포함한다. 본발명에따르면, 액체상태의유기용제가습윤되어있는기판을이송하는과정에서유기용제가아래로흘러흄(fume)을발생시키고, 이흄에의해후속공정에서파티클이생성되어공정불량을유발하는문제를해결할수 있다.

4. 发明授权

KR102315885B1 습식 폐기물 처리용 발효 건조기 有权
公开(公告)号：KR102315885B1
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：KR1020210036351
申请日：2021-03-22
IPC分类号： B09B3/00 , F26B5/00 , F26B5/16 , F26B25/00 , F26B9/08 , F26B21/00 , B01D47/02 , B09B5/00
摘要： 본발명은유, 무기성오니, 음식폐기물등을탈취및 자연건조하는발효건조기에관한것으로, 보다상세하게는자체발열가능한건조제를습식폐기물에혼합하고, 이를적정크기로분쇄하여고르게배합된상태로발효건조기를이용해건조시킴에따라연료소모를최소화하면서효율적으로습식폐기물을건조할수 있는습식폐기물처리용발효건조기에관한것이다. 이를위해본 발명의일실시예에따른습식폐기물처리용발효건조기는, 습식폐기물을자체발열가능한건조제와혼합하여건조하면서교반하는교반실, 상기교반실내부로외부공기를유입시키는송풍부, 습식폐기물건조과정에서발생되는악취가스와유해가스를배기하는배기구및 상기배기구로배기되는악취가스와유해가스를세정하여배출하는세정탑을포함한다.

5. 发明公开

KR20210001979A 기판 처리장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20210001979A
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：KR20200076104
申请日：2020-06-23
IPC分类号： H01L21/67 , F26B5/00 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 기판의표면을초임계상태의처리유체에의해처리하는기판처리장치로서, 유로내에서의처리유체의부분적인기화에기인하는압력변동에서기판을보호한다. 기판(S)의표면을초임계상태의처리유체에의해처리하는기판처리장치(1)에서, 기판을수용가능한처리공간(SP), 및처리유체를외부에서수용하여처리공간으로안내하는유로(17)가내부에설치된챔버케이스(10)와, 처리유체를유로로압송하는유체공급부(57)를구비하고, 유로에는처리유체의유통방향을변화시키는밴드부가복수설치된다.

6. 发明公开

KR20200138590A 휴대용 우산 건조기 审中-公开
公开(公告)号：KR20200138590A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：KR20190064979
申请日：2019-06-01
申请人： KIM HYE BIN
发明人： KIM HYE BIN
IPC分类号： F26B5/00 , F26B21/00 , F26B21/06
摘要： 본발명은휴대용우산건조장치에관한것이다. 개시된휴대용우산건조장치는휴대하기편한스테인리스로본체가구성되어있다. 안은젖은우산이마르게도와주는모터와건조완료를알려주는램프전등으로구성되어있다. 본발명은휴대용으로들고다니면서우산의물기를제거함으로써, 사용후 우산의관리를용이하게하며, 일회용제품등의소비없이친환경적으로우산을건조시킬수 있다는특징이있다.

7. 发明公开

KR20200138091A 우산 물기 제거장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200138091A
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR20200065961
申请日：2020-06-01
申请人： ZEUS TECH CO LTD
发明人： KIM HONG YOUN , PIAO HAI LIAN
IPC分类号： F26B5/00 , A45B25/28 , B65G54/02 , F26B21/00 , F26B21/06 , F26B25/02
摘要： 실시예는, 복수개의이송모듈을포함하는이송부; 상기이송부상에배치되고상단개구를통해삽입되는우산을수용하는하우징을구비하는물기제거모듈; 및상기물기제거모듈이상기이송부상에서이동하도록제어하는제어부를포함하고, 상기복수개의이송모듈은각각복수개의돌기를포함하는고정자, 및상기고정자에권취되는코일을포함하고, 상기물기제거모듈은상기고정자에대응되는복수개의영구자석을포함하고, 상기물기제거모듈은전원이인가되는상기복수개의코일에서발생하는전자기력에의해이동하는우산물기제거장치를개시한다.

8. 发明授权

KR102084155B1 밸브검사 장치 有权
公开(公告)号：KR102084155B1
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：KR1020190162262
申请日：2019-12-08
申请人： 김승민
发明人： 김승민
IPC分类号： G01M3/04 , B08B3/02 , F26B3/02 , F26B5/00

9. 发明授权

KR101827166B1 헤어 드라이어 有权
公开(公告)号：KR101827166B1
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：KR1020160144224
申请日：2016-11-01
申请人： 여민
发明人： 여민
IPC分类号： A45D20/02 , A45D44/02 , B05B1/00 , B05B1/14 , F26B5/00
CPC分类号： A45D20/02 , A45D44/02 , B05B1/005 , B05B1/14 , F26B5/00
摘要： 본발명은헤어드라이어에관한것이다. 본발명에따른헤어드라이어는노즐부, 지지부, 압축공기제공부를포함한다. 노즐부는열풍이아닌압축공기를머리카락에분사함으로써신속하게머리를건조시킬수 있다. 열풍이아닌압축공기를이용함으로써머릿결이상하는것을방지할수 있다. 또한, 본발명은소음반사부및 흡음부를구비하여진공모터의소음을현저하게줄일수 있다.

10. 发明公开

KR1020170104955A 에어로겔 블랑켓의 제조방법 및 이로부터 제조된 에어로겔 블랑켓 审中-实审
公开(公告)号：KR1020170104955A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020170029620
申请日：2017-03-08
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 김미리 , 오경실 , 이제균 , 김영훈
IPC分类号： C01B33/158 , B01J27/10 , B01J27/04 , B01J27/24 , B01J31/02 , F16L59/06 , F26B9/04 , F26B21/10 , F26B5/00
CPC分类号： C01B33/1585 , B01J13/0091 , B01J27/04 , B01J27/10 , B01J27/24 , B01J31/02 , C01B33/158 , F16L59/026 , F16L59/06 , F26B5/00 , F26B9/04 , F26B21/10
摘要： 본발명은고온에서소수성이우수한에어로겔블랑켓의제조방법및 이를통하여제조된에어로겔블랑켓에관한것이다. 본발명은실리카졸에소수성의에어로겔분말을혼합하여에어로겔전구체로사용함으로써, 에어로겔블랑켓에포함된에어로겔표면구조뿐아니라내부구조에도소수성의에어로겔이존재할수 있어, 고소수성을가질수 있으며, 고온적용시에도소수성유지력이우수할수 있다.

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