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    • 10. 发明公开
    • 진공 흡착 패드
    • KR20180071536A
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    • 2016-12-20
    • AI KOREA CO LTD
    • CHOI CHEOL JAEKIM JONG UK
    • B65G49/06B65G47/91F16B47/00F16K15/14H01L21/677
    • 개시되는진공흡착패드는, 진공발생수단에연통되는제1 측과, 외부로연결되는제2 측을가지는진공흡착패드로서, 양단이개방된관 형상으로구비되고, 상기제1 측과상기제2 측을연통시키는경로에배치되는체크밸브몸체; 상기제1 측에서상기제2 측을향하는방향으로상기체크밸브몸체의내면에밀착되게끼워져배치되며, 탄성부재로구비되고, 내부에상기제1 측과상기제2 측을연통시키는유로가형성되며, 상기유로를형성하는측벽은상기제2 측을향하여볼록한단면으로형성된유속조절부;를가지는탄성체실; 및판 상으로구비되고, 상기제2 측에서상기제1 측을향하는방향으로상기체크밸브몸체에끼워져구비되는멤브레인플런저;로서, 상기멤브레인플런저와상기탄성체실의상기유속조절부사이의공간을지나는공기의유속변화로상기멤브레인플러저의양면에압력구배가형성되며, 상기압력구배에의해상기제2 측에서상기제1 측을향하는방향으로탄성변형되어상기유로를선택적으로차폐하는멤브레인플런저;를포함한다.