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    • 10. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 표시장치
    • 薄膜晶体管基板和使用其显示
    • KR1020150101416A
    • 2015-09-03
    • KR1020150026036
    • 2015-02-24
    • 엘지디스플레이 주식회사
    • 김태환김기태이진복
    • H01L27/32H01L29/786
    • H01L27/3262H01L29/78606H01L29/78618H01L29/78645H01L29/7869H01L2227/32H01L2924/13069
    • 본 발명은 기판, 제1 박막 트랜지스터 및 제2 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치를 제공한다. 제1 박막 트랜지스터는 기판 위에 배치되며, 다결정 반도체 층, 제1 게이트 전극, 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 포함한다. 제2 박막 트랜지스터는 기판 위에서 제1 박막 트랜지스터와 이격되어 배치되며, 산화물 반도체 층, 제2 게이트 전극, 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함한다. 제1 게이트 전극과 제2 게이트 전극은 게이트 절연막 상부 표면 위의 동일한 층에서 서로 이격하여 배치된다. 제1 게이트 전극과 제2 게이트 전극의 상부 표면 위에는 질화막과 산화막이 순차적으로 적층된 제1 및 제2중간 절연막이 배치된다. 기판과 산화물 반도체 층의 사이에는 섬 형태로 형성된 더미 반도체층과, 더미 반도체층 위에 위치하는 버퍼 층을 포함한다.
    • 本发明提供一种包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的显示装置。 第一薄膜晶体管设置在基板上,并且包括多晶半导体层,第一栅电极,第一源电极和第一漏电极。 第二薄膜晶体管与第一薄膜晶体管分开设置,包括氧化物半导体层,第一栅电极,第二源电极和第二漏电极。 第一栅极电极和第二栅电极在栅极绝缘膜的上表面上的同一层上彼此分开设置。 第一和第二中间绝缘膜,其中氮化物膜和氧化膜顺序堆叠,设置在第一栅电极和第二栅电极的上表面上。 形成为岛状的虚设半导体层和位于虚拟半导体层上的缓冲层位于基板和氧化物半导体层之间。