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1. 发明授权

KR101501129B1 기판 검사 장치 有权
公开(公告)号：KR101501129B1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：KR1020130100368
申请日：2013-08-23
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 홍덕화 , 금정주 , 송승호
IPC分类号： G06F19/00 , G01N21/88
CPC分类号： G06T11/206 , G01N21/95684 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/12 , G05B19/41875 , G05B2219/34417 , G05B2219/35512 , G05B2219/37216 , G05B2219/37449 , G05B2219/45035 , G06T11/60 , G06T2200/24 , Y02P90/22
摘要： 본 발명은 검사 시간을 단축하고 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 측정 유닛으로부터 전송된 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 최적화 모듈을 통해 최적화되는 측정 순서 및 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다. 이와 같이, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.

2. 发明公开

KR1020160014585A 복잡한 표면을 관찰하고 처리하기 위한 관리 자동 로봇 장치 审中-实审
标题翻译：一种用于复杂表面检测和处理的自主自动机器人系统
公开(公告)号：KR1020160014585A
公开(公告)日：2016-02-11
申请号：KR1020157029778
申请日：2014-03-17
申请人： 카네기 멜론 유니버시티
发明人： 베이커크리스토퍼엘. , 베이커크리스토퍼랜돌프 , 갈라티데이비드쥐. , 하인즈저스틴씨. , 헤르만헤르만 , 켈리알론조제이. , 로렌스스튜어트에드윈 , 메이호퍼에릭 , 스텐츠안토니 , 발로이스진-세바스티안 , 스트래트앤드류
IPC分类号： B25J9/16 , B25J11/00 , B25J19/02 , G01B11/24 , G01N21/95
CPC分类号： B25J9/1671 , B23Q17/2233 , B25J9/1664 , B25J9/1697 , G01B11/24 , G01N21/9515 , G05B19/4099 , G05B2219/37449 , G05B2219/45071 , Y10S901/06 , Y10S901/28 , Y10S901/41 , Y10S901/44 , Y10S901/47
摘要： 본명세서에개시된본 발명은복잡한삼차원대상물의표면을정확히모델링, 감시, 처리하도록설계된자율감독시스템을설명한다. 이시스템에대한현재적용내용은비행기의레이저코팅제거이지만, 본발명은또한물리적대상물의전체표면에걸쳐감시또는처리툴을거의정확하게배치하고조정하는것을요구하는다양한범위의적용에도사용되기에적합하다. 예를들면, 이시스템은레이저코팅제거외에도, 또한새로운코팅을도포하고, 세립또는육안검사작업을수행하고, 제조공정툴 또는도구를전달및/또는사용하고, 및/또는다른제조공정, 비제한적인예로, 용접, 리벳또는다양한표면표시또는고정물의배치의결과를확인할수 있다.
摘要翻译：本文公开的发明描述了被设计为精确地建模，检查和处理复杂三维物体的表面的受监督的自主系统。该系统的当前应用环境是飞机的激光涂层去除，但是本发明适用于需要在物理物体的整个表面上紧密，精确地定位和操纵检查或加工工具的各种应用。例如，除了激光涂层去除之外，该系统还可以应用新的涂层，执行细粒度或总体检查任务，递送和/或使用制造工艺工具或仪器，和/或验证其他制造工艺的结果，例如但不限于焊接，铆接或各种表面标记或固定装置的放置。

3. 发明公开

KR1020150022463A 기판 검사 장치 有权
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR1020150022463A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：KR1020130100368
申请日：2013-08-23
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 홍덕화 , 금정주 , 송승호
IPC分类号： G06F19/00 , G01N21/88
CPC分类号： G06T11/206 , G01N21/95684 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/12 , G05B19/41875 , G05B2219/34417 , G05B2219/35512 , G05B2219/37216 , G05B2219/37449 , G05B2219/45035 , G06T11/60 , G06T2200/24 , Y02P90/22
摘要： 본 발명은 검사 시간을 단축하고 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 측정 유닛으로부터 전송된 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 최적화 모듈을 통해 최적화되는 측정 순서 및 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다. 이와 같이, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种能够缩短测试时间并提高用户便利性的基板测试装置。用于测试衬底的装置包括测量单元，其根据对包括多个测试区域的测试衬底确定的测量顺序来测量测试区域，并获得每个测试区域的图像数据; 控制单元，其包括对从测量单元发送的每个测试区域执行图像数据的数据处理的多个数据处理单元和设置测试区域的优化测量顺序的优化模块和优化的数据处理顺序数据处理单位; 以及通过优化模块优化的与测量顺序和数据处理顺序相关的优化相关信息的用户界面。提供本发明以提供与测试区域的测量顺序相关的优化相关信息和通过优化模块优化的数据处理单元的数据处理顺序到用户界面，从而提高用户对测试过程的便利性。

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