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    • 3. 发明公开
    • 고주파 검출 방법 및 고주파 검출 회로
    • 고주파검출방법및고주파검출회로
    • KR1020040048999A
    • 2004-06-10
    • KR1020047006196
    • 2002-08-01
    • 펄 고교 가부시키가이샤
    • 와타나베신이치사에키노보루
    • G01R21/01
    • G01R21/00G01R23/145
    • 본 발명의 고주파 검출 회로는, 제 1의 주파수(f)를 갖는 제 1의 고주파 전력과 제 1의 주파수(f)보다도 낮은 제 2의 주파수(f1)를 갖는 제 2의 고주파 전력을 하나의 부하(7)에 공급하는 고주파 전원 장치에 있어서 제 1의 고주파 전력에 관한 정보를 검출하는 것으로서, 제 1의 주파수(f)를 갖는 제 1의 고주파 신호와 제 2의 주파수(f1)를 갖는 제 2의 고주파 신호와의 혼합 신호인 제 3의 고주파 신호(V1)를 방향성 결합기(12)에 의해 검출하고, 그 제 3의 고주파 신호(V1)를 헤테로다인 방식을 이용하여 제 1 및 제 2의 주파수(f, f1) 사이의 제 3의 주파수(Δf)를 갖는 제 4의 고주파 신호(VI')로 변환하고, 그 제 4의 고주파 신호(VI')에 의거하여 제 1의 주파수(f)의 진행파 전력(Pf)을 검출한다.
    • 根据本发明的高频检测电路在提供具有第一频率(f)的第一高频功率和具有第二频率(f)的第二高频功率的高频电源装置中检测关于第一高频功率的信息( f1)低于所述第一频率(f)。 由定向耦合器(12)检测作为具有第一频率(f)的第一高频信号和具有第二频率(f1)的第二高频信号的混合信号的第三高频信号(V1)。 使用外差系统将第三高频信号(V1)转换成在第一和第二频率(f,f1)之间具有第三频率(Δf)的第四高频信号(V1')。 基于第四高频信号(V1')检测第一频率(f)的行波功率(Pf)。 <图像>