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1. 发明公开

KR1020160075934A 극단파 백색광을 이용한 미세 구조체의 제조 방법 有权
标题翻译：使用强光脉冲制造微米/纳米结构的方法
公开(公告)号：KR1020160075934A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140184535
申请日：2014-12-19
申请人： 한양대학교 산학협력단
发明人： 안희준 , 유성일 , 김학성
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00126 , B81C1/00349
摘要： 극단파백색광을이용한미세구조체의제조방법이제공된다. 상기미세구조체의제조방법은, 기판상에금속염을제공하는단계, 상기금속염을건조시키는단계, 및상기금속염에극단파백색광(intense pulsed light)을조사하여, 금속을포함하는미세구조체(micro/nano structure)를형성하는단계를포함하되, 상기금속염의건조조건, 및상기극단파백색광의에너지조건에따라서, 상기미세구조체의구성(composition)이변화되는것을포함한다.
摘要翻译：本发明提供使用强脉冲光制造微晶/纳米结构的方法。使用强脉冲光制造微晶/纳米结构的方法包括：在基底上提供金属盐的步骤; 干燥金属盐的步骤; 以及向金属盐发射强脉冲光以形成含有金属的微/纳米结构的步骤。微/纳米结构的组成根据金属盐的干燥条件和强脉冲光的能量条件而变化。

2. 发明公开

KR1020140005854A 습윤 특징을 제어하기 위한 계층적으로 구조화된 표면 无效
标题翻译：分层结构表面控制湿度特性
公开(公告)号：KR1020140005854A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：KR1020137003997
申请日：2011-07-19
申请人： 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지
发明人： 아이젠버그요안나 , 김필석
IPC分类号： B08B17/06 , B05D5/08
CPC分类号： B08B17/065 , B08B17/06 , B81C1/00349 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , Y10T428/24149 , Y10T428/24355 , Y10T428/24372
摘要： 습윤 특징의 향상된 제어를 가지는 계층적 표면 및 이를 형성하기 위한 방법이 기술된다. 상기 계층적 표면은 하나 이상의 1차 특징적 형상을 가지는 1차 구조; 하나 이상의 2차 특징적 형상을 가지는 2차 구조를 포함하며, 여기서 하나 이상의 2차 특징적 형상의 크기는 하나 이상의 1차 특징적 형상의 크기보다 크다. 게다가, 상기 1차 구조 및 2차 구조는 상승작용에 의해 1차 구조 또는 2차 구조 단독보다 향상된 기계적 특성 및 습윤 특징의 제어를 제공한다.

3. 发明公开

KR1020080020281A 촉각센서의 제조 방법 有权
标题翻译：手机传感器制造方法及手机传感器信号处理装置
公开(公告)号：KR1020080020281A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：KR1020060083584
申请日：2006-08-31
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김종호 , 권현준 , 박연규 , 김민석 , 강대임 , 최재혁
IPC分类号： G01L1/18 , G01L1/16
CPC分类号： G01L1/18 , B81C1/00349 , C09J7/20 , H05K3/1216
摘要： A manufacturing method of a tactile sensor is provided to reduce manufacturing costs of the tactile sensor by attaching an upper plate to a lower plate with an adhesive tape, and a signal processing apparatus for the tactile sensor is provided to detect output of the tactile sensor accurately. A manufacturing method of a tactile sensor comprises the steps of: forming a coating layer(102) and a metal layer(103) on a macromolecule film to predetermined thickness and manufacturing an upper plate of the tactile sensor by forming a resistor(104) on the metal layer; manufacturing a lower plate of the tactile sensor by forming a spacer of predetermined thickness on the metal layer except the resistor; and manufacturing the tactile sensor by bonding so as to allow the resistor of the upper plate to be opposite to the resistor of the lower plate.
摘要翻译：提供了一种触觉传感器的制造方法，以通过用胶带将上板附接到下板来降低触觉传感器的制造成本，并且提供用于触觉传感器的信号处理装置以精确地检测触觉传感器的输出。触觉传感器的制造方法包括以下步骤：在大分子膜上形成预定厚度的涂层（102）和金属层（103），并通过在电极（104）上形成电阻器（104）来制造触觉传感器的上板金属层; 通过在电阻器之外的金属层上形成预定厚度的间隔来制造触觉传感器的下板; 并通过接合制造触觉传感器，以便允许上板的电阻器与下板的电阻器相反。

4. 发明公开

KR1020170129402A 멤스 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制造MEMS装置的方法
公开(公告)号：KR1020170129402A
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020160060050
申请日：2016-05-17
申请人： 한국과학기술원
发明人： 오재섭 , 이완규 , 강민호
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00 , B81C1/00015 , B81B2201/02 , B81C1/00349 , B81C1/00388 , B81C1/00436 , B81C2201/01
摘要： 본발명은멤스디바이스제조방법및 이에의해제조되는멤스디바이스에관한것으로, 보다상세하게는구조물절연막을이용한보이드패턴의형성후, 희생층을증착함으로써, CMOS 호환성있는공정에의해종래와같은하부전극의박리현상이전혀발생되지않으며, 스핀온 절연막(SOD) 또는스핀온 글래스(SOG)를통한스핀증착에따라하부패턴에영향을받지않으면서평탄화가가능하며, 비아홀의형성시, 클리닝(cleaning) 공정을더 수행하여후속증착공정에서의오염을원천적으로방지할수 있는멤스디바이스제조방법및 이에의해제조되는멤스디바이스에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造MEMS器件的方法和由此制造的MEMS器件，并且更具体地涉及一种通过使用结构绝缘膜在形成空隙图案之后沉积牺牲层来制造MEMS器件的方法，根据通过旋涂绝缘膜（SOD）或旋涂玻璃（SOG）的旋转沉积，可以在不受下层图案影响的情况下进行平坦碳化，在形成通孔时，本发明涉及一种制造MEMS器件的方法和由此制造的MEMS器件。

5. 发明公开

KR1020170111243A 재생 가능한 초발수 특성을 이용한 유체저항 감소 표면의 제작 방법 审中-实审
标题翻译：使用可再生防水性制造减少流体阻力表面的方法
公开(公告)号：KR1020170111243A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020160036256
申请日：2016-03-25
申请人： 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 용기중 , 이정한
IPC分类号： B05D5/00 , B82Y30/00 , C01B31/36 , C09D5/16 , C25D17/00 , B81C1/00
CPC分类号： B05D5/00 , B81C1/00349 , B82Y30/00 , C01B32/956 , C01P2004/16 , C09D5/1681 , C25D9/00 , C25D17/00
摘要： 본발명은수(水) 중재생가능한초발수특성을이용한유체저항감소표면의제작방법에관한것으로서, 보다상세하게는물속에서지속적으로초발수상태를유지할수 있는재생가능한초발수표면을이용하여표면과유체와의저항을최소화하는것에관련된다. 본발명은기판; 및상기기판의표면에부착된소정두께의다공성네트워크형태의나노와이어층을포함하는초발수기판을제공한다.
摘要翻译：本发明可涉及通过使用连续超疏水性可保持的水的可再现的超疏水性表面的状态减少流体阻力表面介导的（水）的生产可能超疏水性质，特别是涉及一种表面的制造方法并尽量减少流体与流体之间的阻力。基板本发明涉及基板，以及以预定厚度的多孔网络形式附着到基底表面的纳米线层。

6. 发明公开

KR1020140094725A 혼성 삼각 나노채널을 갖는 이온 투과 장치 및 이의 제조 방법 无效
标题翻译：离子渗透性试剂HANG HETOROGENEOUS TRANULAR NANOCHANNEL
公开(公告)号：KR1020140094725A
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：KR1020130006642
申请日：2013-01-21
申请人： 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 임근배 , 김범주 , 허준성 , 권혁진
IPC分类号： B81B1/00 , B81C1/00 , B82Y40/00 , B01D61/42
CPC分类号： B81B1/002 , B01D61/44 , B01D61/46 , B81C1/00349 , B82Y40/00
摘要： According to an embodiment of the present invention, an ion-permeating apparatus includes: a substrate; a polymer layer formed on the substrate while having a first flow passage and a second flow passage separately arranged from the first flow passage; and an embossed membrane formed between the substrate and the polymer layer, while being in contact with the first and second flow passages. A mixed triangular nanochannel is formed on an interfacial aspect of the embossed membrane and polymer layer.
摘要翻译：根据本发明的实施例，离子渗透装置包括：基板; 形成在所述基板上的聚合物层，同时具有与所述第一流动通道分开布置的第一流动通道和第二流动通道; 以及在所述基板和所述聚合物层之间形成的压花膜，同时与所述第一和第二流动通道接触。在压花膜和聚合物层的界面方面形成混合的三角形纳米通道。

7. 发明授权

KR101372285B1 폴리에틸렌 글라이콜을 이용한 나노구조물의 표면 개질 및 이를 이용한 나노플루이딕 장치의 제작 有权
标题翻译：使用聚（乙二醇）制备纳米结构的纳米结构的表面改性和使用其制备纳米液体装置
公开(公告)号：KR101372285B1
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：KR1020130041734
申请日：2013-04-16
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 이상엽 , 맹준호 , 김세훈
IPC分类号： B82B3/00 , B29C59/02
CPC分类号： B81C1/00349 , B81C1/00444 , B82B3/00
摘要： A method of manufacturing a nanostructure can comprise: a step of binding layer comprising polyethylene glycol (PEG) coupled with a function group on the upper substrate formed with polymer material; and a step of binding for binding the upper substrate with the lower substrate using the binding layer. At this time, a nanochannel can be defined by a dented area between the upper substrate and the lower substrate. Coating the surface of the upper substrate with PEG before binding the upper substrate with the lower substrate allows the coating of the surface of the nanochannel and the binding between the substrates to be performed in one process, and allows biofouling with respect to the surface to be prevented by reducing non-specific bindings while maintaining hydrophilicity of the surface of the nanochannel, as well as allows electroosmotic flow within the nanochannel to be reduced.
摘要翻译：一种制造纳米结构的方法可以包括：在由聚合物材料形成的上基材上的包含与官能团偶联的聚乙二醇（PEG）的结合层的步骤; 以及使用所述粘合层将所述上基板与所述下基板结合的步骤。此时，可以通过上基板和下基板之间的凹陷区域来限定纳米通道。在将上基板与下基板结合之前，用PEG涂覆上基板的表面允许在一个工艺中进行纳米通道的表面的涂覆和基板之间的结合，并允许相对于表面的生物结垢通过在保持纳米通道的表面的亲水性的同时减少非特异性结合来防止，并且允许降低纳米通道内的电渗流。

8. 发明公开

KR1020060043520A 광 변조기 및 광 변조기의 제조 방법 有权
标题翻译：光学调制器的光学调制器和制造方法
公开(公告)号：KR1020060043520A
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020050019167
申请日：2005-03-08
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 무라타아키히로
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/001 , G02B26/0841 , B81C1/00142 , B81C1/00349
摘要： Provided is an optical modulator capable of forming an optical gap easily and accurately without having to perform underetching to the sacrifice layer. An optical modulator includes a first substrate provided with a first concave portion in which the bottom part becomes a moving part, and a movable reflection film being formed on the moving part; and a second substrate provided with a second concave portion having a diameter that is smaller than the diameter of the first concave portion at a position facing the first concave portion, and a fixed reflection film being formed on the bottom part of the second concave portion; wherein the depth of the first concave portion prescribes the movable range of the movable reflection film, and an optical gap is prescribed based on the spacing between movable reflection film and the fixed reflection film.

9. 发明公开

KR1020010051498A 마이크로전자기계적 구조물의 캡슐화 방법 无效
标题翻译：微电子结构的封装工艺
公开(公告)号：KR1020010051498A
公开(公告)日：2001-06-25
申请号：KR1020000065928
申请日：2000-11-07
申请人： 제이디에스 유니페즈 코오포레이션
发明人： 우드로버트엘. , 더들리부르스더블유.
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： B81C1/00333 , B81C2203/0136 , B81B7/0032 , B81B3/0018 , B81B7/02 , B81B2201/01 , B81B2201/0242 , B81B2201/03 , B81C1/00349 , B81C1/00476
摘要： PURPOSE: A method for encapsulating microelectromechanical(MEMS) structures is provided which the MEMS structures are formed on a substrate and encapsulated prior to packaging thereof. CONSTITUTION: A MEMS microrelay(200) is typically formed on a substrate(210) and comprises, for example, an active actuator(220), a relay structure(230), and a passive actuator(240). In some cases, the structures forming the microrelay further include associated bond pads(250) at which the necessary electrical connections to the structures are established.The bonding pads forms electrical contact points providing the necessary electrical power for the active actuator or the connections to the relay structure. Typically, the operation of a MEMS device, such as the MEMS microrelay described, requires mechanical motion of components of the microrelay for the device to operate as intended.
摘要翻译：目的：提供一种用于封装微机电（MEMS）结构的方法，其中MEMS结构形成在衬底上并在其包装之前被封装。构成：MEMS微型继电器（200）通常形成在衬底（210）上，并且包括例如主动致动器（220），中继结构（230）和无源致动器（240）。在一些情况下，形成微型继电器的结构还包括相关联的接合焊盘（250），在该接合焊盘处形成与结构的必要的电连接。接合焊盘形成电接触点，为主动致动器提供必要的电力或者连接至继电器结构。通常，诸如所描述的MEMS微型继电器之类的MEMS器件的操作需要微型继电器的部件的机械运动，以使器件根据预期进行操作。

10. 发明公开

KR1020150144872A 나노지형구조 미세전극칩, 이의 제조방법 및 이를 이용한 세포 성장방법 有权
标题翻译：纳米结构电极芯片，其制备方法及其使用细胞生长的方法
公开(公告)号：KR1020150144872A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140073554
申请日：2014-06-17
申请人： 한국과학기술원
发明人： 남윤기 , 주성훈 , 김래영 , 장민지
IPC分类号： C12M3/04 , B82B3/00 , B81C1/00 , B32B27/06 , B32B15/08 , C12N5/00 , C12N5/04 , C12N5/0793
CPC分类号： C12M3/04 , B32B15/08 , B32B27/06 , B81C1/00 , B81C1/00349 , B82B3/00 , C12M1/14 , C12M3/00 , C12N5/0025 , C12N5/04 , C12N5/0619
摘要： 본발명은나노지형구조미세전극칩, 이의제조방법및 이를이용한세포성장방법에관한것으로더욱상세하게는기판상에나노스케일의요철이지형적구조로형성되어다양한지형적구조에서세포를성장시키며, 다양한구조의지형적구조에따른신경세포의반응을연구할수 있는나노지형구조미세전극칩, 이의제조방법및 이를이용한세포성장방법에관한것이다.
摘要翻译：纳米结构微电极芯片及其制造方法技术领域本发明涉及纳米结构微电极芯片及其制造方法，以及使用其制造电池的方法，更具体地，涉及在基板上形成有纳米尺寸突起的纳米结构微电极芯片在各种地形结构中生长细胞的地形结构，以及能够根据各种结构的形貌结构对神经元的反应进行研究，以及其制造方法以及使用该方法生长细胞的方法。

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