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热词
    • 9. 发明公开
    • 포토레지스트 이너 포켓
    • 光刻胶内袋
    • KR1020150041731A
    • 2015-04-17
    • KR1020140038644
    • 2014-04-01
    • 에버디스플레이 옵트로닉스 (상하이) 리미티드
    • 창,웨이-텡주,키-펭우,캉-쳉
    • G03F7/16
    • B65D25/18B65D83/62B65D2231/001G03F7/16G03F7/00
    • 본발명은상부및 하부를포함하는, 포토레지스트를담기위한포켓본체; 상기상부의끝단에설치되고, 포토레지스트토출구를구비하는개구부; 상기포토레지스트토출구와연통되고상기포켓본체에진입하여상기하부의밑부분까지연신하는딥 튜브를포함하고상기하부는아래로갈 수록그 폭이점차줄어드는추형으로형성된포토레지스트이너포켓을제공한다. 본발명의포토레지스트이너포켓은포켓본체의하부의단면적이점차적으로줄어들므로포토레지스트가사용완료되기전에포토레지스트가경사진하부를따라포켓본체의밑부분에흘러가서포켓본체의바닥에모인다. 따라서, 기존기술과같이포토레지스트를낭비하는현상을피할수 있다.
    • 本发明提供了一种光致抗蚀剂内袋,包括:具有上部和下部的袋体,并将光致抗蚀剂放入其中; 开口,其安装在上部的端部并具有光致抗蚀剂排出口; 以及汲取管,其与光致抗蚀剂排出口连通并贯通到袋体内延伸到下部的底部,下部具有U形状,其宽度向下减小。 根据本发明,光致抗蚀剂内袋具有下部,其横截面积逐渐向下减小,使得光致抗蚀剂沿着下部的向下倾斜进入袋体的底部并在其中收集在光致抗蚀剂之前 向上。 因此,与传统技术相比,可以避免光刻胶的浪费。