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1. 发明公开

KR1020170110156A 유동 특성을 설정하기 위한 변위 가능한 슬리브를 구비하는 절단 가스 노즐 및 레이저 절단 방법 审中-实审
标题翻译：采用可移动套筒切割气体喷嘴，设定流动特性和激光切割方法
公开(公告)号：KR1020170110156A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：KR1020177025836
申请日：2016-04-25
申请人： 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
发明人： 베아마틴 , 헤쎄팀
IPC分类号： B23K26/14 , B23K26/08 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/0876 , B23K26/048 , B23K26/1437 , B23K26/1488 , B23K26/21 , B23K26/38 , B23K26/389 , B23K26/70
摘要： 중심유동(7)을형성하기위한내부노즐(6)을구비하며그리고, 환형유동(9)을형성하기위한, 내부노즐(6)을둘러싸는환형틈새노즐(8)을구비하는, 레이저가공헤드(2)를위한절단가스노즐(1)에서, 본발명에따라, 슬리브(10)가, 후진위치와전진위치사이에서축 방향으로변위가능하도록, 환형틈새노즐(8)의환형틈새(11) 내에서안내되고, 상기슬리브(10)는적어도전진위치에서내부노즐(6) 너머로돌출하며그리고상기슬리브(10)는상기두 위치사이에서환형틈새노즐(8)의노즐단면적(25)을가변적인정도로개방한다.
摘要翻译：具有用于形成中央流体（7）的内部喷嘴（6）和围绕内部喷嘴（6）以形成环形流（9）的环形缝隙喷嘴（8）环形间隙喷嘴8的环形间隙11形成在用于套筒2的切割气体喷嘴1中，使得套筒10可在向后和向前位置之间轴向移动，并且套筒10至少在向前位置突出超过内喷嘴6，并且套筒10构造成允许环形缝隙喷嘴8的喷嘴横截面积25在两个位置之间变化，开度。

2. 发明授权

KR1019960016156B1 레이저 장치 및 레이저 용접 방법 失效
标题翻译：激光和激光焊接方法
公开(公告)号：KR1019960016156B1
公开(公告)日：1996-12-04
申请号：KR1019920701391
申请日：1991-05-31
申请人： 화낙 코퍼레이션
发明人： 모리아쭈시 , 나까다요시노리 , 야마자끼에쯔오
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/14 , B23K26/322
CPC分类号： B23K26/123 , B23K26/12 , B23K26/125 , B23K26/14 , B23K26/1437 , B23K26/1476 , B23K26/32 , B23K35/38 , B23K2201/006 , B23K2201/34 , B23K2203/04 , B23K2203/08 , B23K2203/50
摘要： 내용 없음

3. 发明公开

KR1020030064791A 통합형 노즐 배플 장치 및 방법 失效
标题翻译： 통합형노즐배플장치및방법
公开(公告)号：KR1020030064791A
公开(公告)日：2003-08-02
申请号：KR1020037006814
申请日：2001-07-25
申请人： 하이퍼썸, 인크.
发明人： 우드즈,케니스,제이. , 해케트,찰스,엠. , 딘,로버트,제이. , 가그,샌제이
IPC分类号： B23K10/00
CPC分类号： B23K26/1435 , B23K26/1437 , B23K26/1476 , H05H1/34 , H05H2001/3478
摘要： 노즐을 통한 유체유동을 구체화하는 통합형 배플. 재료의 절단, 용접 및 열처리에 사용된 처리장치의 품질 및 정확도를 개선시키기 위하여, 자체정렬 노즐은 통합형 배플을 포함한다. 이러한 통합형 배플은 금속성 그리드(예를 들어, 스크린) 또는 다른 형태의 멤브레인(예를 들어, 기공성, 투과성 등)일 수 있다. 처리장치에서 초기 사용동안, 이러한 통합형 배플은 레이저 빔 또는 플라즈마 제트와 같은 에너지 빔으로 재단되어 최적의 유체흐름 속도형상을 생성한다. 통합형 배플이 사용으로 나빠진 때, 다른 배플에 의해서 또는 원래 위치에서 교체기구를 사용함으로써 용이하게 교체된다. 노즐과 에너지 빔 사이에서 적절한 정렬을 확보하기 위하여, 정합형 구획면은 인접하는 부품들 사이에 사용된다. 나사면은 또한 적절한 동축 정렬을 달성하는 데 조력하도록 채용될 수 있다.
摘要翻译：一个可配置的挡板来配置通过喷嘴的流体流动。为了提高用于切割，焊接和材料热处理的加工设备的质量和精度，自动调整喷嘴包括可配置的挡板。这种可配置的挡板可以是金属网格（例如屏幕）或其他类型的膜（例如多孔的，可渗透的等）。在处理设备中最初使用期间，该可配置挡板被定制为能量束，例如激光束或等离子体射流，以产生最佳的流体流动速度分布。当可配置的挡板因使用而恶化时，它很容易被另一个挡板替代或通过使用原位替换机构。为了确保喷嘴和能量束之间的正确对准，在相邻部件之间使用配合轮廓表面。螺纹表面也可以用来帮助实现正确的同轴对齐。

4. 发明授权

KR100221421B1 조사에 의한 표면 오염물 제거장치 失效
标题翻译：通过辐照去除表面污染物
公开(公告)号：KR100221421B1
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019940703422
申请日：1993-03-24
申请人： 콜드런 리미티드 파트너쉽
发明人： 엥겔스버그,오드레이씨. , 디하이스,조셉에이.
IPC分类号： B23K26/352
CPC分类号： H01L21/02046 , B08B7/0042 , B23K26/142 , B23K26/1436 , B23K26/1437 , B23K26/1462 , G03F7/704 , G03F7/70866 , G03F7/70925 , H01L21/268 , H01L21/32051 , H01L21/321 , H01L21/3212 , H01L21/67028 , H01L21/76819
摘要： 본 발명은 고에너지 조사에 의해 기판(12,70)의 평탄하거나 혹은 불규칙하게 형성된 표면으로 부터 표면 오염물질을 제거하는 장치를 제공하는데 있다. 본 발명은 기판(12,70)의 하부에 놓여진 분자 결정 구조를 변경시키지 않고 표면 오염물질의 제거가 가능하다. 고에너지 조사의 소오스는 진동 혹은 연속파의 레이저(14) 또는 고에너지 램프(59)를 포함한다.

5. 发明授权

KR1019910007174B1 불활성분위기하에서사용되는레이저용접장치 失效
标题翻译：激光焊接设备用于惰性气氛中
公开(公告)号：KR1019910007174B1
公开(公告)日：1991-09-19
申请号：KR1019830004114
申请日：1983-09-01
申请人： 씨비에스 코퍼레이션
发明人： 리챠드알버트미러-1
IPC分类号： B23K26/12 , B23K26/00
CPC分类号： B23K26/123 , B23K26/1437 , B23K26/1462 , B23K26/706

6. 发明公开

KR1020160058036A 레이저 용접 장치 및 레이저 용접 방법 有权
标题翻译：激光焊接设备和激光焊接方法
公开(公告)号：KR1020160058036A
公开(公告)日：2016-05-24
申请号：KR1020150158053
申请日：2015-11-11
申请人： 도요타지도샤가부시키가이샤
发明人： 고바야시히로오미 , 우치다게이스케 , 와타나베료 , 다나카유토
IPC分类号： B23K26/21 , B23K26/70 , B23K26/14
CPC分类号： B23K26/032 , B23K26/1437 , B23K26/244
摘要： 본발명에관한레이저용접장치는, 용접부에레이저광을조사하여용접하는레이저용접장치이며, 용접부에실드가스를공급하는실드가스공급수단과, 실드가스의유량을제어하는가스공급량제어수단과, 용접부로부터방사된플라즈마광의광 강도를측정하는광 강도측정수단과, 광강도측정수단으로측정된광 강도의변화율을산출하는변화율산출수단을구비한다. 그리고, 가스공급량제어수단은, 산출된광 강도의변화율에따라용접부에공급하는실드가스의유량을제어한다.
摘要翻译：激光焊接装置技术领域本发明涉及一种抑制胎圈的截面形状的偏差的激光焊接装置。激光焊接装置通过对焊接部施加激光来进行焊接处理，其特征在于，包括：向所述焊接部供给保护气体的保护气体供给装置; 气体供给速度控制装置，其控制所述保护气体的流量; 光强度测量装置，用于测量从焊接部分发射的等离子体光的强度; 以及变化计算装置，用于计算由光强度测量装置测量的光强变化。此外，气体供给速度控制装置根据计算的光强度的变化来控制供给到焊接部的保护气体的流量。

7. 发明公开

KR1020070073764A 회로기판의 레이저 다이싱 방법 无效
标题翻译：基板激光定位方法
公开(公告)号：KR1020070073764A
公开(公告)日：2007-07-10
申请号：KR1020077007562
申请日：2005-09-26
申请人： 코닌클리케 필립스 엔.브이.
发明人： 헨드릭스,안토니우스,제이. , 케테라리즈,헨드릭,제이. , 보에레피즌,이바르,제이.
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78
CPC分类号： B23K26/123 , B23K26/14 , B23K26/1435 , B23K26/1437 , B23K26/40 , B23K2203/50 , H01L21/78
摘要： The invention relates to a method for dicing a substrate with a laser apparatus, comprising the steps of delivering a laser beam (15) from said laser apparatus to said substrate to dice said substrate (1) in at least two dies. A first assist gas is supplied at the substrate during a first phase of said dicing method and a second assist gas is supplied at the substrate during a second subsequent phase of said dicing method. The method results in a reduced street-width for dicing of the substrate and consequently costly substrate area is saved. The invention also relates to a laser dicing system, a computer program product for executing the method and a silicon die obtainable by the method.
摘要翻译：本发明涉及一种用激光设备对衬底进行切割的方法，包括以下步骤：将激光束（15）从所述激光设备传送到所述衬底，以在至少两个管芯中切割所述衬底（1）。在所述切割方法的第一阶段期间，在基板处供应第一辅助气体，并且在所述切割方法的第二后续阶段期间，在基板处供应第二辅助气体。该方法导致基板切割的街道宽度减小，因此节省了昂贵的基板面积。本发明还涉及激光切割系统，用于执行该方法的计算机程序产品和可通过该方法获得的硅片。

8. 发明授权

KR100359654B1 레이저 절단방법 및 레이저 절단장치 有权
标题翻译：激光切割方法和激光切割机
公开(公告)号：KR100359654B1
公开(公告)日：2002-11-04
申请号：KR1019997011901
申请日：1998-06-22
申请人： 닛산 다나카 가부시키가이샤
发明人： 나가타요조 , 나가호리마사유키
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/12 , B23K26/14
CPC分类号： B23K26/123 , B23K26/12 , B23K26/125 , B23K26/14 , B23K26/1437 , B23K26/1476
摘要： 특히, 고속절단에있어서셀프버닝등에의한절단면에의악영향을방지할수 있는레이저절단방법및 레이저절단장치의개발이요구되고있다. 따라서, 피절단재(25)에절단용레이저빔(22)을조사한절단점(26) 및그 근방에, 환상배치혹은열배치한복수의노즐구(30, 31)로부터가스(23, 24)를분사하면서행하는레이저절단방법에있어서, 상기노즐구(30, 31)의적어도하나로부터분사하는가스(23, 24)의산소농도를변화시켜상기절단점(26)으로부터수mm정도범위의산소농도분포를조정함으로써, 셀프버닝등의악영향을억제할수 있고, 절단품질을향상시키는레이저절단방법및 레이저절단장치를제공한다.

9. 发明授权

KR101893319B1 유동 특성을 설정하기 위한 변위 가능한 슬리브를 구비하는 절단 가스 노즐 및 레이저 절단 방법 有权
公开(公告)号：KR101893319B1
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：KR1020177025836
申请日：2016-04-25
申请人： 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
发明人： 베아마틴 , 헤쎄팀
IPC分类号： B23K26/14 , B23K26/08 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/0876 , B23K26/048 , B23K26/1437 , B23K26/1488 , B23K26/21 , B23K26/38 , B23K26/389 , B23K26/70
摘要： 중심유동(7)을형성하기위한내부노즐(6)을구비하며그리고, 환형유동(9)을형성하기위한, 내부노즐(6)을둘러싸는환형틈새노즐(8)을구비하는, 레이저가공헤드(2)를위한절단가스노즐(1)에서, 본발명에따라, 슬리브(10)가, 후진위치와전진위치사이에서축 방향으로변위가능하도록, 환형틈새노즐(8)의환형틈새(11) 내에서안내되고, 상기슬리브(10)는적어도전진위치에서내부노즐(6) 너머로돌출하며그리고상기슬리브(10)는상기두 위치사이에서환형틈새노즐(8)의노즐단면적(25)을가변적인정도로개방한다.

10. 发明公开

KR20180069072A 변위 가능한 밸브 슬리브를 구비하는 가스 노즐 审中-公开
公开(公告)号：KR20180069072A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR20187015484
申请日：2016-04-25
申请人： TRUMPF WERKZEUGMASCHINEN GMBH CO KG
发明人： BEA MARTIN , HESSE TIM
IPC分类号： B23K26/14 , B23K26/08 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/0876 , B23K26/048 , B23K26/1437 , B23K26/1488 , B23K26/21 , B23K26/38 , B23K26/389 , B23K26/70
摘要： 가공물(4) 상으로의레이저빔(3)의통과를위한배출개구(100), 배출개구(100)를둘러싸는환형틈새(11), 및환형틈새(11) 내에배치되며그리고후진위치와전진위치사이에서축 방향으로변위가능하도록환형틈새(11) 내에서안내되는슬리브(10)를포함하며, 상기슬리브(10)는, 적어도전진위치에서, 배출개구(100) 너머로돌출하는것인, 레이저가공헤드(2)를위한절단가스노즐(1)에있어서, 본발명에따라, 슬리브(10)는, 환형틈새(11) 내에서기울어질수 있도록장착된다.

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