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    • 3. 发明公开
    • 임프린트 재료
    • 版本说明材料
    • KR20180021725A
    • 2018-03-05
    • KR20177037396
    • 2016-05-31
    • NISSAN CHEMICAL IND LTD
    • KOBAYASHI JUNPEIKATO TAKUSHUTO KEISUKESUZUKI MASAYOSHI
    • C08F220/26C08F220/56C08F283/12C08F290/06G03F7/00H01L21/027
    • B29C59/02C08F2/44C08F220/26C08F283/12C08F290/06H01L21/027
    • [과제] 신규한임프린트재료를제공하는것이다. [해결수단] 하기 (A)성분, (B)성분, (C)성분및 (D)성분을함유하는임프린트재료. (A)하기식(1)로표시되는화합물 (B)하기식(2)로표시되는화합물 (C)하기식(3)으로표시되는화합물 (D)광중합개시제(식중, R은각각독립적으로수소원자또는메틸기를나타내고, R는치환기로서하이드록시기를가질수도있는탄소원자수 1 내지 5의탄화수소기를나타내고, m은 2 또는 3을나타내고, X는에틸렌옥사이드유닛및/또는프로필렌옥사이드유닛을갖는 2가의연결기를나타내고, R은수소원자또는탄소원자수 1 내지 3의알킬기를나타내고, n은 1 또는 2를나타내고, n이 1을나타내는경우, R는, 적어도하나의치환기로치환되어있을수도있는, 탄소원자수 1 내지 12의알킬기를나타내고, n이 2를나타내는경우, R는, 적어도하나의치환기로치환되어있을수도있는, 탄소원자수 1 내지 12의알킬렌기를나타낸다.)
    • [问题]提供一种新颖的印记材料。 (A),(B),(C)和(D)的压印材料, (2)表示(A)下述式(1)化合物(d)通过将化合物(C)所表示的光聚合引发剂,以式(3)通过使化合物(B)与等式表示由(式中,R各自独立地为氢, 代表一个原子或一个甲基基团,R表示从图1到5的烃gajilsu羟基作为取代基的碳原子数,m表示2或3,X是具有环氧乙烷单元和/或环氧丙烷单元的连接的二价 基表示,R隐士愿望椅子或碳原子的烷基原子为1〜3,n表示1或2,当n表示这一项中,R是碳原子数1,其可以用至少一个取代基取代 至12,并且当n代表2时,R表示可以被至少一个取代基取代的具有1至12个碳原子的亚烷基。