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    • 1. 发明公开
    • 가공품의 제조 방법 및 점착성 적층체
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    • LINTEC CORP
    • NAKAYAMA TAKEHITOOKAMOTO NAOYAAKUTSU TAKASHI
    • H01L21/78C09J7/38H01L21/304H01L21/56H01L21/683
    • 기재 (Y1) 및점착제층 (X1) 을갖고, 어느층에열팽창성입자를포함하는열팽창성의점착시트 (I), 그리고기재 (Y2) 및점착제층 (X2) 을갖는점착시트 (II) 를구비하고, 점착시트 (I) 와점착시트 (II) 의기재 (Y2) 가직접적층하여이루어지는점착성적층체를사용하여가공품을제조하는방법으로서, 상기점착성적층체의점착제층 (X1) 의표면을지지체에첩부함과함께, 상기점착성적층체의점착제층 (X2) 의표면에가공대상물을첩부하는공정 (1) 상기가공대상물에하나이상의가공을실시하는공정 (2) 상기열팽창성입자의열팽창개시온도이상에서의가열에의해, 상기가공대상물을상기점착성적층체의점착제층 (X2) 의표면에첩부한상태를유지하면서, 상기점착성적층체를점착시트 (I) 와점착시트 (II) 의기재 (Y2) 의계면에서분리하는공정 (3) 을순서대로갖고, 추가로, 상기가공대상물의점착제층 (X2) 과의첩부면과는반대측의표면에대해절삭및 연삭중 적어도어느가공을실시하는공정 (4) 를, 공정 (2) 에있어서또는공정 (3) 후에있어서실시되는, 가공품의제조방법.