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1. 发明公开

KR20180007299A 감광성 조성물 审中-公开
标题翻译：光敏组合物
公开(公告)号：KR20180007299A
公开(公告)日：2018-01-22
申请号：KR20170070765
申请日：2017-06-07
申请人： JNC CORP
发明人： HORITA YUUSAKU , ETO TOMOHIRO
IPC分类号： G03F7/023 , G03F7/004
摘要： 본발명은내열성이양호하고, 단시간현상시의라인패턴형상직선성이양호한보호막용감광성조성물에관한것이다. 본발명의감광성조성물은, 폴리에스테르아미드산 (A), 에폭시기함유공중합체 (B) 및 1,2-퀴논디아지드화합물 (C) 를함유하고, 상기폴리에스테르아미드산 (A) 는, 하기식 (1) 로나타내는구성단위및 하기식 (2) 로나타내는구성단위를포함하고, 상기에폭시기함유공중합체 (B) 는, 에폭시기를갖는중합성화합물 (b1), 및 (b1) 이외의중합성화합물 (b2) 의공중합체이고, 상기중합성화합물 (b2) 는, 페놀성수산기를갖는중합성화합물을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及在短时间显影中具有良好的耐热性和良好的线条图案形状线性的保护膜和遮光组合物。本发明的感光性组合物含有聚酯酰胺酸（A），含环氧基的共聚物（B）和1,2-醌二叠氮化合物（C）（B1）和除化合物（b1）以外的（b1）的共聚物，其中含环氧基的共聚物（B）包含由下式（b2）为空穴聚合物，化合物（b2）含有具有酚性羟基的化合物。

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