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1. 发明公开

KR1020170036429A 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 有权
标题翻译：基板传送装置及使用其的基板传送方法
公开(公告)号：KR1020170036429A
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020150135577
申请日：2015-09-24
申请人： 한국알박(주)
发明人： 김선길 , 이기태 , 김영범 , 민문영 , 전승배 , 박성규 , 홍원호 , 천민호
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 본발명은기판이장착되는트레이와, 트레이의상측및 하측에각각마련되는이송유닛및 가이드유닛과, 이송유닛및 가이드유닛각각의적어도일부에연결되어, 이송경로에교차하는방향으로트레이의위치를변경하는트레이위치변경유닛및 트레이위치변경유닛에연결되어, 이송유닛및 가이드유닛의동작을제어하는제어유닛을포함하는기판이송장치를이용하여, 기판이안착된트레이를반송영역에반입시키고, 반송영역에서트레이의상하부에각각배치되는이송유닛및 가이드유닛의적어도일부를동기화시키고트레이의위치변경방향으로이동시키고, 트레이가반입된경로와상이한경로로트레이를반출시키며기판을이송한다. 이에, 트레이와이송유닛및 가이드유닛간의마찰이발생되지않아파티클의발생을감소시킬수 있어, 파티클에의한제품불량발생을억제및 방지할수 있다.
摘要翻译：本发明的基板连接至所述托盘和至少每个顶侧和输送单元被分别设置在下侧和导向单元，转印单元和托盘的导向单元的部分被安装时，所述托盘的在一个方向交叉的输送路径的位置并且连接到托盘位置改变单元和托盘位置改变单元以用于改变和控制转移单元和导向单元的操作的控制单元被用于使其上放置有基板的托盘进入运送区域，同步至少在转印单元和导向单元的一部分被分别布置在托盘离开该区域的上部和下部被移动到的位置的变化和托架的方向，并传送基板sikimyeo托盘在从路径不同的传送路径被取出托盘。因此，不会产生托盘，转印单元和引导单元之间的摩擦，从而可以减少颗粒的产生，并且可以抑制和防止由颗粒引起的缺陷产品的发生。

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