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1. 发明授权

KR101193441B1 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법 有权
标题翻译：用3轴移动台测量机器偏差的方法
公开(公告)号：KR101193441B1
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：KR1020100045818
申请日：2010-05-17
申请人： 한국기계연구원
发明人： 황주호 , 부이바친 , 이찬홍 , 박천홍 , 심종엽 , 김양진
IPC分类号： G01B21/00 , G01B21/04 , G01B21/22
摘要： 본 발명은 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법에 관한 것이다.
본 발명은, (A) 작업공간과 닮음꼴인 측정공간의 마주보는 꼭지점을 연결하는 4개의 대각선벡터 중 적어도 3개의 대각선벡터 각각의 X축 방향 오차, Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 계산하는 단계; 및 (B) 상기 (A)단계에서의 계산 결과를 이용하여 아래의 값들을 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법을 제공한다.

(단, (a=X, Y, Z; b=X, Y, Z)는 테이블이 b축 방향으로 움직일 때의 a축 방향 오차.)

2. 发明公开

KR1020110093357A 반도체 소자 3차원 패키지용 관통 전극의 제조방법 有权
标题翻译：用于半导体器件的3D封装的TSV的制造方法
公开(公告)号：KR1020110093357A
公开(公告)日：2011-08-18
申请号：KR1020100013362
申请日：2010-02-12
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이재학 , 송준엽 , 이창우 , 하태호 , 김양진 , 김동훈
IPC分类号： H01L23/48
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a through electrode for a 3D semiconductor device package is provided to manufacture a metal bump by electroplating, thereby quickly and inexpensively manufacturing a lot of through electrodes. CONSTITUTION: A semiconductor substrate(500) and a base material are arranged and coupled. The semiconductor substrate forms a through via pattern. The base material(400) forms a metal bump pattern. The metal bump is inserted into the through via. The metal bump is attached to the through via by waver soldering. The base material is eliminated.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造用于3D半导体器件封装的通孔的方法，以通过电镀制造金属凸块，由此快速且廉价地制造大量通孔。构成：布置并耦合半导体衬底（500）和基底材料。半导体衬底形成通孔图案。基材（400）形成金属凸块图案。金属凸块插入贯通孔。金属凸块通过摇摆焊接连接到通孔。消除基材。

3. 发明授权

KR101103275B1 반도체 소자 3차원 패키지용 관통 전극의 제조방법 有权
标题翻译：半导体器件3D封装的TSV制造方法
公开(公告)号：KR101103275B1
公开(公告)日：2012-01-10
申请号：KR1020100013362
申请日：2010-02-12
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이재학 , 송준엽 , 이창우 , 하태호 , 김양진 , 김동훈
IPC分类号： H01L23/48
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 본 발명에 따른 관통 전극의 제조방법은 관통 비아(via) 패턴이 형성된 반도체 기판과 금속 범프 패턴이 형성된 기재를 정렬 및 체결하여 상기 관통 비아에 상기 금속 범프를 삽입하고, 웨이브 솔더링(wave soldering)을 이용하여 상기 금속 범프를 상기 관통 비아에 부착한 후, 상기 기재를 제거하는 단계를 포함하여 수행되는 특징이 있다.

4. 发明公开

KR1020110126252A 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법 有权
标题翻译：用3轴移动台测量机器偏差的方法
公开(公告)号：KR1020110126252A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：KR1020100045818
申请日：2010-05-17
申请人： 한국기계연구원
发明人： 황주호 , 부이바친 , 이찬홍 , 박천홍 , 심종엽 , 김양진
IPC分类号： G01B21/00 , G01B21/04 , G01B21/22
摘要： PURPOSE: A method of measuring the error of a machine with a three-axis transfer table is provided to accurately measure the error of a machine with a three-axis transfer table since the table moves only to a two-axis direction for any measuring space and the movement is very small. CONSTITUTION: A method of measuring the error of a machine with a three-axis transfer table is as follows. X-, Y-, and Z-axes errors of each of at least three of four diagonal vectors connecting facing vertexes of a measuring space similar to a working space are calculated. Error values are calculated using the calculated result. A method of calculating the X-, Y-, and Z-axes errors is as follows. X-, Y-, and Z-axes errors of a first one of the three diagonal vectors are calculated. X-, Y-, and Z-axes errors of a second one of the three diagonal vectors are calculated. X-, Y-, and Z-axes errors of a third one of the three diagonal vectors are calculated.
摘要翻译：目的：提供使用三轴传送台测量机器误差的方法，以便通过三轴传送台精确测量机器的误差，因为工作台只能移动到任何测量空间的两轴方向运动非常小。构成：用三轴传送台测量机器误差的方法如下。计算连接与工作空间相似的测量空间的面对顶点的四个对角矢量中的至少三个中的每一个的X轴，Y轴和Z轴误差。使用计算结果计算误差值。计算X轴，Y轴和Z轴误差的方法如下。计算三个对角矢量中的第一个的X，Y和Z轴误差。计算三个对角矢量中的第二个的X轴，Y轴和Z轴误差。计算三个对角矢量中第三个的X轴，Y轴和Z轴误差。

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