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1. 发明公开

KR1020100003049A 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：一体化薄膜太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100003049A
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：KR1020080063147
申请日：2008-06-30
申请人： 한국과학기술원 , 한국철강 주식회사
发明人： 임굉수 , 홍윤호
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02E10/50 , H01L31/0445 , H01L31/0224
摘要： PURPOSE: An integrated thin film solar cell and manufacturing method thereof arranges trenches to the electrode layer and solar battery layer and embody the high integration. CONSTITUTION: The integrated thin film solar cell comprises the first electrode layer(110), the solar battery layer(120), and the second electrode layer(130). The first electrode layer, the solar battery layer, and the second electrode layer are successively laminated on the substrate(100). The first electrode layer, and the solar battery layer and the second electrode layer have the first and second trench. In the first and second trenches is the first electrode layer, and the solar battery layer and the second electrode layer, a plurality of unit thin film solar cells is defined. The integrated thin film solar cell more includes the insulator(140) and conductor(150). The conductor is arranged on insulator.
摘要翻译：目的：一种集成薄膜太阳能电池及其制造方法，将电极层和太阳能电池层的沟槽配置成高集成度。构成：集成薄膜太阳能电池包括第一电极层（110），太阳能电池层（120）和第二电极层（130）。第一电极层，太阳能电池层和第二电极层依次层叠在基板（100）上。第一电极层和太阳能电池层和第二电极层具有第一和第二沟槽。在第一和第二沟槽中是第一电极层，并且限定太阳能电池层和第二电极层，多个单位薄膜太阳能电池。集成薄膜太阳能电池更包括绝缘体（140）和导体（150）。导体布置在绝缘体上。

2. 发明公开

KR1020150078549A 집적형 박막 태양전지의 제조 장치 审中-实审
标题翻译：用于制造集成薄膜太阳能电池的装置
公开(公告)号：KR1020150078549A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130168007
申请日：2013-12-31
申请人： 한국과학기술원
发明人： 임굉수 , 전진완 , 홍윤호
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0445
CPC分类号： H01L31/0463 , H01L31/046 , H01L31/0465 , H01L31/18 , Y02E10/50
摘要： 본발명의실시예에따른집적형박막태양전지의제조장치는진공속에서복수의단위셀들이전기적으로직렬연결되는집적형박막태양전지의제조장치로서, 기판에형성된복수의트렌치들각각의내부의일기선으로부터상기각각의트렌치의바닥면과상기바닥면에이어진일측면및 상기일측면에이어진상기기판의돌출면영역상에제1 도전층이형성된상기기판상에, 광전변환물질들을방출하여광전변환부를형성하는광전변환부형성공정챔버; 및상기트렌치들각각의내부의또 다른일기선으로부터상기각각의트렌치의바닥면과상기바닥면에이어진타측면및 상기타측면에이어진상기기판의돌출면영역상에제2 도전층을형성하는제2 도전층형성공정챔버를포함하고, 상기광전변환부형성공정챔버및 상기제2 도전층형성공정챔버는진공상태에서상기각각의공정을수행할수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例的用于制造集成薄膜太阳能电池的装置是一种用于制造在真空中与单元电池串联电连接的集成薄膜太阳能电池的装置。它包括一个光电转换部分形成处理室，该光电转换部分形成处理室通过将光电转换材料放电到在每个沟槽的底表面上形成第一导电层的基板上，形成光电转换部分，一个侧面连接到底面，表面区域从每个沟槽的一个内部线连接到一侧; 以及第二导电层形成处理室，其中在每个沟槽的底表面上形成第二导电层，另一侧连接到底表面，以及从每个沟槽的另一条内部连接到另一侧的突出表面区域。光电转换部形成处理室和第二导电层形成处理室能够在真空状态下进行各处理。

3. 发明授权

KR101000383B1 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：集成薄膜太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：KR101000383B1
公开(公告)日：2010-12-13
申请号：KR1020080063147
申请日：2008-06-30
申请人： 한국과학기술원 , 한국철강 주식회사
发明人： 임굉수 , 홍윤호
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02E10/50
摘要： 본 발명은 집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박막 태양전지의 제조방법은 (a)기판 상에 제1 도전성물질로 제1 전극층을 형성하는 단계, (b)상기 제1 전극층 상에 태양전지층을 형성하는 단계, (c)상기 태양전지층 상에 제2 도전성물질로 제2 전극층을 형성하는 단계, (d)상기 제1 전극층, 태양전지층, 제2 전극층을 관통하며 소정 간격 이격된 다수의 제1 트렌치를 형성하여 인접하고 있는 상호간 소정 간격 이격된 다수의 단위 박막 태양전지를 형성하는 단계, (e)상기 제1 트렌치의 양 측벽면 중 상기 태양전지층 및 제2 전극층의 측벽면을 더 식각하여 상기 제1 트렌치의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 제2 트렌치를 형성하는 단계, (f)상기 단위 박막 태양전지 각각의 일 측면에 절연물질로 절연체를 형성하는 단계, (g)상기 단위 박막 태양전지의 제2 전극층과 상기 단위 박막 태양전지에 인접한 타 단위 박막 태양전지의 제1 전극층이 전기적으로 연결되도록 제3 도전성물질로 도전체를 형성하는 단계를 포함한다.
집적형, 박막 태양전지, 절연체, 도전성물질, 인쇄,
摘要翻译：集成薄膜太阳能电池及其制造方法技术领域本发明涉

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