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1. 发明公开

KR1020020019856A 가이드를 이용한 3차원 미소구조체의 얼라인방법 失效
标题翻译：用于对准三维微结构使用指南的方法
公开(公告)号：KR1020020019856A
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：KR1020000053217
申请日：2000-09-07
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 문성욱 , 심태석 , 오명환
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C3/002 , B81C2203/058
摘要： PURPOSE: A method for aligning a three-dimensional micro structure is provided to align and combine a three-dimensional micro structure without damage on a three-dimensional pattern by using a guide and to remove the necessity of expensive equipment. CONSTITUTION: An upper and a lower three-dimensional micro structures(10,12) having different patterns(10a,12a) are aligned. Array guides(18) are combined to the four areas of the upper structure. The upper structure and the lower structure are aligned by three-dimensionally lifting down the array guide through an aligning portion(16) formed between an align guide consisting of wall bodies(14a,14b) corresponding to the array guides. Herein, the size of the guide is large enough to be detected by the eyes of a worker. Therefore, the structures are aligned with a low magnification microscope.
摘要翻译：目的：提供一种用于对准三维微结构的方法，通过使用引导件对三维微结构进行三维微结构对准和组合而不损坏三维图案，并消除昂贵的设备的必要性。构成：具有不同图案（10a，12a）的上部和下部三维微结构（10,12）被对准。阵列引导件（18）组合到上部结构的四个区域。上部结构和下部结构通过三维地将阵列引导件提升通过形成在对应于阵列引导件的壁体（14a，14b）的对准引导件之间的对准部分（16）而对齐。这里，引导件的尺寸足够大以被工人的眼睛检测到。因此，结构与低倍数显微镜对准。

2. 发明公开

KR1020000051875A 평탄한 계면을 갖는 전계발광 소자 및 제조방법 失效
标题翻译：具有平坦表面的电致发光元件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000051875A
公开(公告)日：2000-08-16
申请号：KR1019990002577
申请日：1999-01-27
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 이윤희 , 주병권 , 오명환 , 이남양
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： H05B33/22 , H05B33/10 , H05B33/14
摘要： PURPOSE: An electroluminescence element with flat surface and its manufacturing method is provided to secure stability of the element and stable luminescence by uniform distribution of electric field. CONSTITUTION: An electroluminescence element with flat surface and its manufacturing method includes followings on a glass panel(1): a transparent conductive film(2), an insertion layer(3), a lower high dielectric layer(4), a luminescence layer(5), an insertion layer(6), upper high dielectric layer(7) and a rear electrode(8) partially attached to the upper high dielectric layer(7). The lower high dielectric layer(4) has flat surface character by inserting an insertion layer(3) between the glass panel(1) and the thin film layer.
摘要翻译：目的：提供具有平坦表面的电致发光元件及其制造方法，以通过电场的均匀分布来确保元件的稳定性和稳定的发光。构成：具有平坦表面的电致发光元件及其制造方法包括：玻璃面板（1）：透明导电膜（2），插入层（3），下部高介电层（4），发光层 5），插入层（6），上部高介电层（7）和部分地附接到上部高介电层（7）的后部电极（8）。通过在玻璃面板（1）和薄膜层之间插入插入层（3），下部高介电层（4）具有平坦的表面特征。

3. 发明授权

KR100215543B1 마이크로-미러를 갖는 전계발광표시소자 및 그 제조방법 失效
标题翻译：具有微镜的电致发光显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR100215543B1
公开(公告)日：1999-08-16
申请号：KR1019960012395
申请日：1996-04-23
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 이윤희 , 주병권 , 오명환 , 송만호
IPC分类号： H01L33/00
摘要： 본 발명에 의한 마이크로-미러를 갖는 전계발광표시소자(electro-luminescentdisplay device) 및 그 제조방법은, Si 기판 상에 소정 패턴의 식각마스크를 형성하는 공정과; 상기 식각마스크를 이용한 식각공정으로 Si 기판을 식각하여 측면에 Si 마이크로-미러를 갖는 웰을 형성하는 공정과; 상기 기판의 웰 밑면 상에 하부절연층을 형성하는 공정과; 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과; 상기 발광층상에 상부절연층을 형성하는 공정 및; 상기 상부절연층 상에 상부전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1)종래 SiO
2 박막 미러에 의해 Si 마이크로-미러의 식각 표면특성을 매우 평탄(smooth)하게 형성할 수 있게 되므로 난반사를 줄일 수 있고, 공정재현성이 뛰어나다는 잇점을 가지며, 2)발광층의 측면으로 방출되는 빛을 마이크로-미러를 통해 전면방출시 효과적으로 이용할 수 있으므로, 전면방출 만을 갖는 종래의 ELD 소자에 비해 휘도 특성을 10배 이상 개선할 수 있을 뿐 아니라 발광효율도 2배 이상 상승시킬 수 있게 된다.

4. 发明授权

KR100202867B1 불투명접촉전극에 의한 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이를 위한 광전도막 대전장치 失效
标题翻译：通过OPAQUE接触电极和光电膜充电装置的CRT电子显示屏的制造方法
公开(公告)号：KR100202867B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950012957
申请日：1995-05-24
申请人： 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
发明人： 신동기 , 이복수 , 윤상열 , 최돈빈 , 이민수 , 손호석 , 오명환 , 김창홍 , 변종홍 , 안광덕 , 박태석 , 한택상 , 손용배 , 유병용 , 박영호
IPC分类号： H01J9/20
摘要： 균일한 형광체 등의 현상밀도를 얻기 위해 균일하게 광전도막을 대전시킬 뿐만 아니라, 상술한 복잡한 코로나 방전공정과 그 장치를 제거하여 음극선관을 제조할 수 있는 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이에 사용되는 광전도막 대전장치를 제공한다. 그 제조방법은 (1) 전도막의 1차막과 절연막의 2차막으로 된 충전전극을 준비하여 그 절연막을 상기 판넬의 광전도막에 접촉시키는 단계; (2) 그 접촉된 상태에서 그 충전전극의 전도막과 판넬의 전도막에 직류전원을 인가하여 충전시키는 단계; (3) 그 직류전원이 인가된 상태에서 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 광전도막의 전면적에 광선을 조사하므로서 광전도막으로 판넬의 전도막의 충전된 전하를 이동시키는 단계; 그리고 (4) 그 광전도막으로 전하가 이동된 후 전원과 광원을 차단시키고 충전전극을 분리시키는 단계를 포함한다. 또한, 판넬의 광전도막에 전면적에 걸쳐 잘 접촉하도록 전도막의 1차막과 절연막의 2차막의 형성된 충전전극판; 그 충전전극판이 고정되는 충전전극판홀더; 상기 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 광원; 상기 광전도막과 절연막과의 접촉위치와 분리위치사이에서 상기 판넬과 충전전극판의 어느 하나를 이동시키도록 그 판넬홀더와 충전전극판홀더의 어느 하나의 이동수단; 그리고 상기 판넬의 전도막과 충전전극판의 전도막에 직류전위를 인가하기 위한 직류전원을 구비하는 대전장치가 제공된다. 이에 따라, 방전장치 없이 충전전극에 의하여 균일하게 광전도막을 대전시킬 수 있어 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다.

5. 发明授权

KR100164457B1 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법 失效
标题翻译：制造方法和白光照明元件
公开(公告)号：KR100164457B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950000923
申请日：1995-01-20
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 오명환 , 한택상 , 이윤희 , 정성재 , 주영대 , 선우진호
IPC分类号： H05B33/14
CPC分类号： C09K11/7702 , H05B33/14 , H05B33/22 , Y02B20/181
摘要： 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과; RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용하여 상기 투명전극상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대, Si
3 N
4 와 BaTiO
3 가 순차적으로 적층된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과 Mn 이원중심을 첨가한 ZnS:Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 발광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심인 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적층하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열증착법으로 알루미늄을 증착한 후 리프트-오프공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종래 Pr 단일중심만을 사용하여 전계발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2) 다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과 Mn 농도만을 가변시키므로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발광용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.

6. 发明授权

KR100164456B1 청색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법 失效
标题翻译：蓝色照明电致发光元件及其制造方法
公开(公告)号：KR100164456B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950000922
申请日：1995-01-20
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 오명환 , 한택상 , 이윤희 , 김동호
IPC分类号： H05B33/10
摘要： 본 발명은 청색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과; RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극 상에 제1절연층을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 다층구조( SrS와 SrS:Ce층을 두층 이상 연속 교번하는 구조 예컨대, SrS-SrS:Ce-SrS 다층구조)를 갖는 발광층을 형성하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 보호층을 헝성하는 공정 및: 상기 보호층 상에 열증착법으로 알루미늄을 증착한 후 리프트-오프공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도륵 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 일차전자의 발생 및 가속층과 발광이 일어나는 층을 공간적으로 분리하는 발광층 구조를 가지게 되어 종래의 단일 SrS:Ce 구조와 비교해볼 때, 동일한 두께의 발광층을 형성하는 경우 상대적으로 높은 휘도특성을 얻을 수 있으며, 2) 발광중심을 다층구조의 중간에 도핑하므로써 발광중심인 Ce가 안정화된 결정장내에 위치하게되므로, 발광색이 안정될 뿐 아니라 동작시간 경과에 따른 특성변화를 상대적으로 감소시킬 수 있는 고신뢰성의 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.

7. 发明公开

KR1019990024485A 반도체기판의정전열접합방법 失效
公开(公告)号：KR1019990024485A
公开(公告)日：1999-04-06
申请号：KR1019970045605
申请日：1997-09-03
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 최우범 , 오명환 , 주병권
IPC分类号： H01L29/02
摘要： 본 발명은 반도체 기판의 정전 열 접합방법에 관한 것으로, 종래 반도체 기판의 정전 열 접합방법은 스퍼터링을 이용하여 유리박막을 증착시키는데 상당한 시간이 걸려 실제 제품생산에 이용하는데는 한계가 있는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 유리와 산화막을 혼합하여 증착의 소스를 제조하는 단계와; 상기 증착의 소스를 사용하는 전자선 증착기를 이용해 실리콘기판위에 유리박막을 증착하는 단계와; 상기 유리박막이 증착된 실리콘기판과 실리콘기판에 일정시간동안 소정의 전압 및 기판온도를 인가하여 실리콘기판과 유리박막이 증착된 실리콘기판을 접합시키는 단계로 이루어져 전자선 증착기를 사용하여 유리박막의 증착속도를 증가시킴으로써, 실제 제품의 제조효율을 증가시키는 효과와 아울러 특정한 가스분위기를 사용하지 않게 됨으로써 증착의 소스와 실제 증착되는 유리박막의 특성이 동일하여 제품의 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.

8. 发明授权

KR100181255B1 전계방출표시소자 및 그 제조방법 失效
标题翻译：现场排放显示及其制造方法
公开(公告)号：KR100181255B1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR1019960011383
申请日：1996-04-16
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 주병권 , 오명환 , 이윤희
IPC分类号： H01J1/30
摘要： 본 발명에 의한 전계방출표시소자(field emission display:FED) 및 그 제조방법은, 기판 상에 소정 패턴의 식각마스크를 형성하는 공정과; 상기 식각마스크를 이용하여 기판을 식각하여, 기판의 중앙 부분에는 끝이 뾰족한 V형 모양의 홈이 형성되고, 그 좌/우측 부분에는 밑면이 평평한 V형 모양의 홈이 형성된 구조의 실리콘 모울드를 형성한 후, 식각마스크를 제거하는 공정과; 상기 실리콘 모울드 상에 기능성 박막을 증착하여 모울드 내를 채우는 공정 및; 상기 실리콘 모울드를 제거하여, 기능성박막 재질의 기판 상에 스페이서와 마이크로-팁 어레이를 동시에 형성하는 공정으로 이루어져. 1) 스페이서 제조를 위한 별도의 공정이 불필요하고, 2) 실리콘 모울드의 깊이나 폭 등의 조절에 의해 스페이서의 높이나 폭 등을 임의로 조절할 수 있고, 3) 스페이서-팁간의 거리를 최소화할 수 있어 소자의 패키징 밀도(packaging density)를 높일 수 있으며, 4) 형광층이 형상된 유리기판과의 접합을 통하여 용이하게 표시소자를 제작할 수 있게 된다.

9. 发明公开

KR1019970030066A 전계방출소자 및 그 제조방법 无效
公开(公告)号：KR1019970030066A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950042129
申请日：1995-11-18
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 주병권 , 오명환 , 이윤희
IPC分类号： H01J1/30 , H01J9/24 , H01J1/304
摘要： 본 발명은 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 모울드(mould)를 이용하여 다이아몬드 팁 혹은 다이아몬드 막이 도포된 팁을 제조한 뒤, 게이트 절연막과 게이트 전극 형성 및 사신식각공정등을 통하여 3극관형 전계방출소자를 제조하므로써 1) 팁과 게이트 전극간의 거리를 수 ㎛ 이내로 조절할 수 있어 2극관 소자에 비해 동작전압을 줄일 수 있을 뿐 아니라 전계방출 특성이 2극관의 경우와는 달라 팁-양극간의 거리에 크게 의존하지 않아 소자 제조가 상대적으로 용이하고, 2) 게이트 전극에 음(-) 혹은 양(+)의 전압을 인가함으로써 팁으로 부터의 전계 방출을 게이트 전극에 의해 보다 안전적으로 제어할 수 있는 고신뢰성의 전계방출소자를 구현할 수 있게 된다.

10. 发明公开

KR1019960042878A 투명접촉전극에 의한 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이를 위한 광전도막 대전장치 失效
标题翻译：使用透明接触电极制造临界电路电子照相屏幕的方法
公开(公告)号：KR1019960042878A
公开(公告)日：1996-12-21
申请号：KR1019950012956
申请日：1995-05-24
申请人： 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
发明人： 신동기 , 이복수 , 윤상열 , 최돈빈 , 이민수 , 손호석 , 오명환 , 김창홍 , 변종홍 , 안광덕 , 박태석 , 한택상 , 손용배 , 유병용 , 박영호
IPC分类号： H01J29/02
摘要： 균일하게 광전도막을 대전 및 노광시킬 수 있는 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이에 사용되는 광전도막 대전장치를 제공한다. 광전도막의 대전공정이 : (1) 투명전도막의 1차막과 투명절연막의 2차막으로 된 투명한 충전전극을 준비하여 그 투명절연막을 상기 판넬의 광전도막에 접촉시키는 단계; (2) 그 접촉된 상태에서 그 충전전극의 전도막과 판넬의 전도막에 직류전원을 인가하여 충전시키는 단계; (3) 그 직류전원이 인가된 상태에서 투명한 충전전극을 통과하여 광전도막의 전면적에 광선을 조사하므로써 광전도막으로 판넬의 전도막의 충전된 전하를 이동시키는 단계; 그리고 (4) 그광전도막으로 전하가 이동된 후 전원과 광원을 차단시키고 충전전극을 분리시키는 단계를 포함한다. 또한, 대전장치는, 판넬의 광전도막에 전면적에 걸쳐 잡 접촉하도록 투명전도막의 1차막과 투명절연막의 2차막이 형성된 투명충전전극판; 그충전전극판이 고정되고 그 충전전극판의 전도막과 절연막 및 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 개구가 형성된 충전전극판홀더; 상기 충전전극판홀더의 개구를 통하여 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 광원; 상기 광전도막과 절연막과의 접촉위치와 분리위치사이에서 상기 판넬과 충전전극판의 어느 하나를 이동시키도록 그 판넬홀더와 충전전극판홀더의 어느하나의 이동수단; 그리고 상기 판넬의 전도막과 충전전극판의 전도막에 직류전위를 인가하기 위한 직류전원을 구비한다.방전장치 없이 충전전극에 의하여 균일하게 광전도막을 대전시킬 수 있어 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게할 수 있을 뿐만 아니라, 노광공정까지도 동시에 실시할 수 있는 효과가 있다.

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