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1. 发明公开

KR1020170105043A 레이저 유지 플라즈마 소스의 복사선 방출을 억제하기 위한 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于抑制激光维持等离子体源的辐射发射的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170105043A
公开(公告)日：2017-09-18
申请号：KR1020177022122
申请日：2016-01-08
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 베젤일야 , 쉐메린인아나톨리 , 그로스케니스피 , 솔라즈리차드 , 윌슨로렌 , 야다브라훌 , 비텐베르크조슈아 , 침말기아난트 , 리우시우메이 , 브뤼기에르브루케
IPC分类号： H05G2/00 , H01J65/04 , H01J61/16
CPC分类号： H05G2/008 , H01J61/16 , H01J65/00 , H01J65/04 , H05G2/003
摘要： 레이저유지플라즈마를형성하기위한시스템은가스봉입엘리먼트, 펌프조명을생성하도록구성된조명소스, 및집광기엘리먼트를포함한다. 가스봉입엘리먼트는일정부피공간의가스혼합물을봉입하도록구성된다. 집광기엘리먼트는가스혼합물의부피공간내에서플라즈마 - 상기플라즈마는광대역복사선을방출함 - 를생성하기위해펌핑소스로부터의펌프조명을가스봉입엘리먼트내에봉입된가스혼합물의부피공간내에포커싱시키도록구성된다. 가스혼합물은플라즈마에의해방출된복사선의하나이상의선택된파장들을필터링한다.
摘要翻译：一种用于形成激光保持等离子体的系统包括气体封装元件，配置成产生泵照射的照明源和聚光器元件。气体封闭元件构造成封闭一定体积的空间的气体混合物。收集器元件具有在气体混合物中空间的体积的等离子体适于将气体混合物的体积内集中填充泵浦源robuteoui泵浦光用于产生填充在元件空间气体，其中，与宽带辐射的进化等离子体。气体混合物过滤由等离子体发射的一个或多个选定波长的辐射。

2. 发明公开

KR1020160132978A 상이한 파장대 및 픽셀 사이즈에서의 최적의 파워 출력을 위한 전환 가능한 레이저 및 파이버 기반의 램프하우스 审中-实审
标题翻译：可切换激光和基于光纤的灯泡，用于在不同波长范围和像素尺寸下实现最佳功率输出
公开(公告)号：KR1020160132978A
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：KR1020167028497
申请日：2015-03-17
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 침말기아난트 , 야다브라훌 , 비텐베르크조슈아
IPC分类号： F21V8/00 , G02B6/35
CPC分类号： G02B6/0006 , G02B6/0008 , G02B6/3512 , H01J65/04
摘要： 레이저지속형플라즈마광원을제공하는시스템및 방법이개시된다. 상이한파장대및 픽셀사이즈에대해광을발생시키기위해램프하우스에서하나의파이버사이즈및 하나의파장조합을이용하는, 통상의레이저지속형플라즈마광원과는상이하게, 상이한파장대및 픽셀사이즈에서의최적의파워출력을위해전환가능한파이버사이즈및 파장조합이제공된다. 보다구체적으로, 더높은펌프파워를가진더 큰파이버가더 큰픽셀사이즈에이용되고더 작은파이버는더 작은픽셀사이즈및 더짧은파장대에이용되는, 전환가능한파이버구성이제공된다. 부가적으로그리고/또는대안적으로, 가스충만상태(gas fill)의절대피크에근접한펌프파장이더 큰픽셀사이즈에이용되고가스충만상태절대피크로부터떨어져있는펌프파장은더 작은픽셀사이즈에이용되는펌핑방식(pumping scheme)이제공된다.
摘要翻译：公开了用于提供激光持续等离子体光源的系统和方法。与传统的激光持续等离子体光源不同，其中在灯塔中使用一个光纤尺寸和一个波长组合来产生用于不同带和像素尺寸的光，可提供可切换的光纤尺寸和波长组合用于在不同波长带和像素尺寸中实现最佳功率输出。更具体地说，可提供可切换的光纤配置，其中具有更高的泵浦功率的较大的光纤用于较大的像素尺寸和较高的波长带，而较小的光纤用于较小的像素尺寸和较短的波长带。附加地和/或替代地，提供泵送方案，其中靠近气体填充物的吸收峰的泵浦波长用于较大的像素尺寸，而远离气体填充吸收峰的泵波长用于较小的像素尺寸。

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