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2. 发明公开

KR1020160128365A 검사 설비, 검사 방법 및 검사 시스템 审中-实审
标题翻译：检查设备方法和系统
公开(公告)号：KR1020160128365A
公开(公告)日：2016-11-07
申请号：KR1020167026749
申请日：2015-03-03
申请人： 칭화대학교 , 눅테크 컴퍼니 리미티드
发明人： 천,즈창 , 장,리 , 양다이,톈이 , 황,칭핑
IPC分类号： G01N23/10
CPC分类号： G01V5/0025 , G01N23/083 , G01N23/10 , G01N2223/50 , G01N2223/643 , G01T1/36 , G01V5/0033 , G01V5/0066
摘要： 본발명은검사설비, 검사방법및 검사시스템을개시한다. 본설비는, 복수의광원점을포함하는분산형광선원; 분산형광선원의빔 출사단에설치되어, 분산형광선원이생성한광선을부채꼴형의지름선에따라집속시켜, 역부채꼴형빔을형성하는광원콜리메이터; 광선과피검체의상호작용에의해생성된, 하나또는복수의특정산란각을가지는산란광선만을통과시키도록배치된산란콜리메이터; 상기산란콜리메이터의하류에설치되는적어도하나의탐측기에있어서, 에너지식별력을구비하며기본적으로기둥면상에설치되어상기산란콜리메이터를통과한산란광선을수광하는탐측유닛을복수개 포함하는탐측기; 탐측기가출력하는신호에의해피검체의산란광선에너지스펙트럼정보를산출하는처리장치, 를포함한다. 상기설비는, 에너지식별력을가지는탐측기를이용하여, 고정각도하에서산란 X-레이의에너지분포를측정하여물질의격자상수를얻어, 물질의종류를식별할수 있다.
摘要翻译：本公开公开了一种检查装置，检查方法和检查系统。该装置包括分布式射线源，其包括多个源点; 光源准直器，其布置在分布式射线源的射线束输出端处，并且被配置为使由分布式射线源产生的射线沿扇形辐射线会聚，以形成倒置的扇形射线束; 散射准直仪被配置为仅允许以与被检查物体相互作用的光源准直仪的光线产生的一个或多个特定散射角散射的光线; 至少一个检测器布置在散射准直仪的下游，每个检测器包括具有能量分辨能力的多个检测单元，并且基本上布置在圆柱形表面中以接收通过散射准直仪的散射光线; 以及处理装置，被配置为基于由检测器输出的信号计算来自被检查物体的散射光的能谱信息。上述装置通过使用具有能量分辨能力的检测器测量固定角度的散射X射线的能量分布，以获得材料的晶格常数，以便识别材料的类别。

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