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1. 发明授权

KR100593960B1 광원자층 증착장치 및 증착방법 失效
标题翻译：原子薄层沉积装置及方法
公开(公告)号：KR100593960B1
公开(公告)日：2006-06-30
申请号：KR1020040001762
申请日：2004-01-09
申请人： 최 병호
发明人： 최병호 , 김대연 , 강봉석 , 김희철 , 김민완 , 장종민 , 권석환
IPC分类号： C23C16/00
摘要： 본 발명은 광원자층 증착장치 및 증착방법에 관한 것으로, 내측 하부에 회전가능하게 설치됨과 아울러 다수의 기판(2)이 구비되는 서셉터(110)와; 상기 서셉터(110)에 설치되어 기판(2)을 가열시키는 가열기(112)와; 상기 기판(2)에 대향하여 반응챔버(100)내에 설치되고, UV램프(132)와 윈도우(134)를 내장하는 하우징(130)과; 상기 하우징(130)의 상부에 하우징(130)을 감싸도록 설치되고, 반응가스와 불활성가스를 각각 주입하는 제 1 주입구(122)와 제 2 주입구(124)를 갖는 주입헤드(120);를 포함하는 증착장치와, 이를 이용한 증착방법으로 기판상에 박막을 형성함으로써, 기판(2)에 흡착 및 퍼지되는 전구체에 의한 윈도우(134)의 코팅을 방지할 수 있고, 코팅방지를 위한 별도의 퍼지공정이 생략되어 제조공정이 간소화되며, 그로 인해 작업능률 및 생산성이 향상된다.
원자층, 증착, 장치, 방법, 반응챔버, 서셉터, 퍼지, 윈도우코팅

2. 发明公开

KR1020050073387A 광원자층 증착장치 및 증착방법 失效
标题翻译：原子薄层沉积装置和方法
公开(公告)号：KR1020050073387A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：KR1020040001762
申请日：2004-01-09
申请人： 최 병호
发明人： 최병호 , 김대연 , 강봉석 , 김희철 , 김민완 , 장종민 , 권석환
IPC分类号： C23C16/00
摘要： 본 발명은 광원자층 증착장치 및 증착방법에 관한 것으로, 내측 하부에 회전가능하게 설치됨과 아울러 다수의 기판(2)이 구비되는 서셉터(110)와; 상기 서셉터(110)에 설치되어 기판(2)을 가열시키는 가열기(112)와; 상기 기판(2)에 대향하여 반응챔버(100)내에 설치되고, UV램프(132)와 윈도우(134)를 내장하는 하우징(130)과; 상기 하우징(130)의 상부에 하우징(130)을 감싸도록 설치되고, 반응가스와 불활성가스를 각각 주입하는 제 1 주입구(122)와 제 2 주입구(124)를 갖는 주입헤드(120);를 포함하는 증착장치와, 이를 이용한 증착방법으로 기판상에 박막을 형성함으로써, 기판(2)에 흡착 및 퍼지되는 전구체에 의한 윈도우(134)의 코팅을 방지할 수 있고, 코팅방지를 위한 별도의 퍼지공정이 생략되어 제조공정이 간소화되며, 그로 인해 작업능률 및 생산성이 향상된다.

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