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1. 发明授权

KR101942310B1 반도체 장비용 버퍼 장치 有权
公开(公告)号：KR101942310B1
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：KR1020180108391
申请日：2018-09-11
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/677

2. 发明授权

KR101791939B1 고유 진동을 이용한 진동 연마 시스템 有权
标题翻译：采用自然振动的振动抛光系统
公开(公告)号：KR101791939B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020160175800
申请日：2016-12-21
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： B24B1/04 , B24B47/02 , B24B35/00
CPC分类号： B24B1/04 , B24B35/00 , B24B47/02
摘要： 고유진동을이용한진동연마시스템이개시된다. 고유진동을이용한진동연마시스템은베이스판; 상기베이스판의상면양측에구비되고, 제1 고정지지대및 제2 고정지지대, 상기제1 고정지지대및 제2 고정지지대사이에설치되는가이드샤프트를포함하는한 쌍의가이드부재; 상기각각의가이드부재의각각의가이드샤프트상에설치되는제1 영구자석및 상기제1 영구자석과마주하도록배치된제2 영구자석을포함하고, 상기제1 영구자석및 제2 영구자석은서로반대의극성으로마주하도록구성된이동자성체; 상기이동자성체위에지지되는진동테이블; 상기제1 영구자석및 제2 영구자석의주변에설치된한 쌍의전자석을포함하는극성가변자성체; 상기한 쌍의전자석에소정의주파수의전기신호를전달하는전원입력부; 및상기전원입력부로부터출력되는전압을상기진동테이블의고유주파수에대응하는공진주파수로출력하도록상기전원입력부의출력을제어하고, 상기한 쌍의전자석이상기제1 영구자석및 제2 영구자석각각의극성과동일한극성및 반대되는극성으로전환되도록상기한 쌍의전자석의극성의전환및 한쌍의전자석의극성의전환속도를제어하도록구성된제어부를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：公开了一种使用自然振动的振动抛光系统。使用自然振动的振动抛光系统包括基板; 一对引导构件，其设置在基板的上表面的两侧并且包括第一固定支撑件和第二固定支撑件以及安装在第一固定支撑件和第二固定支撑件之间的引导轴; 第一永磁体，其设置在每个引导构件的每个引导轴上;以及第二永磁体，其被设置为面对第一永磁体，其中第一永磁体和第二永磁体彼此相对移动磁体，构造成面向极性; 一个支撑在移动磁体上的振动台; 1。一种极性可变磁性体，其特征在于，包括：设置在所述第一永久磁铁和所述第二永久磁铁周围的一对电磁铁; 功率输入单元，用于将预定频率的电信号发送到所述一对电磁体; 并且每个极性的控制电力输入部分谐振频率的输出的输出，并且至少所述一对基体1的电磁铁，永久磁铁和第二永久磁铁对应于从电源入口输出到振动台的固有频率的电压并且它的特征在于，配置为控制所述极性切换和一对所述一对电磁铁的极性的电磁体的开关速度的控制单元被切换到相同的极性和相反的极性。

3. 发明授权

KR101261399B1 히터시스템의 온도 제어시스템 및 이를 이용한 온도 제어방법 有权
标题翻译：加热系统的温度控制系统和温度控制方法
公开(公告)号：KR101261399B1
公开(公告)日：2013-05-07
申请号：KR1020120087552
申请日：2012-08-10
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： G05D23/30
CPC分类号： G05D23/1917 , G05B11/42
摘要： PURPOSE: A temperature control system of a heater system and a temperature controlling method using the same are provided to raise the temperature of a target for a short time by supplying the maximum power for the maximum output time. CONSTITUTION: A supporting and heating unit(10) supports and heats a target. A power source(20) supplies power to a heating device(140). A control unit(30) controls the temperature of the target. A memory unit stores the maximum power. A measuring unit includes a weight measuring part and an equivalent specific heat measuring part. [Reference numerals] (1) Heated object; (10) Supporting and heating unit; (140) Heating device; (20) Power source; (30) Control unit
摘要翻译：目的：提供一种加热器系统的温度控制系统和使用该温度控制方法的温度控制方法，通过提供最大输出时间的最大功率来提高目标的温度在短时间内。构成：支撑和加热单元（10）支撑和加热目标。电源（20）向加热装置（140）供电。控制单元（30）控制目标温度。存储单元存储最大功率。测量单元包括重量测量部件和等效比热测量部件。（附图标记）（1）加热对象; （10）配套加热单元; （140）加热装置; （20）电源; （30）控制单元

4. 发明授权

KR101892428B1 반도체 세정장비의 약액 공급 시스템 有权
公开(公告)号：KR101892428B1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：KR1020160087535
申请日：2016-07-11
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , F16L51/02
摘要： 반도체세정장비의약액공급시스템이개시된다. 반도체세정장비의약액공급시스템은소정의길이를갖는제1 벨로우즈관; 소정의길이를갖고, 상기제1 벨로우즈관과동축상에평행하게배치되어상기제1 벨로우즈관과대향하는제2 벨로우즈관; 상기제1 벨로우즈관및 제2 벨로우즈관사이에배치되어상기각각의벨로우즈관의서로마주하는제1 단부들에고정된격벽; 상기격벽을상기각각의벨로우즈관방향으로왕복이동시키도록상기격벽과연결된구동부; 상기제1 벨로우즈관(110)의제2 단부에결합되어상기격벽(130)과대향하고, 상기제1 벨로우즈관내부의제1 공간으로약액이유입되도록하는제1 입구부및 상기제1 공간으로부터약액이토출되도록하는제1 출구부를포함하는제1 약액토출부재; 및상기제2 벨로우즈관의제2 단부에결합되어상기격벽과대향하고, 상기제2 벨로우즈관내부의제2 공간으로약액이유입되도록하는제2 입구부및 상기제2 공간으로부터약액이토출되도록하는제2 출구부를포함하는제2 약액토출부재를포함하는것을특징으로한다.

5. 发明授权

KR101860709B1 다수 글라스의 동시 연마방법, 연마모듈 및 이를 포함하는 연마장치 有权
公开(公告)号：KR101860709B1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：KR1020160092693
申请日：2016-07-21
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： B24B9/08 , B24B41/06 , B24B47/12
摘要： 다수글라스의동시연마방법, 연마모듈및 이를포함하는연마장치가개시되어있다. 이중, 다수글라스의동시연마방법은, 다수의글라스를세운상태로일렬종대및 횡대로배치하고, 배치된글라스들을소정각도로동시에틸팅하여글라스하부에위치한연마기에의해일 모서리를면취가공한후, 상기글라스들을동시에자전시켜가면서나머지모서리들을동시에면취가공하는것을특징으로하고있다.

6. 发明公开

KR1020180010498A 다수 글라스의 동시 연마방법, 연마모듈 및 이를 포함하는 연마장치 有权
标题翻译：玻璃磨削模块的分批磨削方法及其磨削装置
公开(公告)号：KR1020180010498A
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：KR1020160092693
申请日：2016-07-21
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： B24B9/08 , B24B41/06 , B24B47/12
CPC分类号： B24B9/08 , B24B41/06 , B24B47/12
摘要： 다수글라스의동시연마방법, 연마모듈및 이를포함하는연마장치가개시되어있다. 이중, 다수글라스의동시연마방법은, 다수의글라스를세운상태로일렬종대및 횡대로배치하고, 배치된글라스들을소정각도로동시에틸팅하여글라스하부에위치한연마기에의해일 모서리를면취가공한후, 상기글라스들을동시에자전시켜가면서나머지모서리들을동시에면취가공하는것을특징으로하고있다.
摘要翻译：公开了一种用于多眼镜的同时抛光方法，抛光模块和包括该抛光模块的抛光设备。在这些中，许多玻璃的同时抛光然后被放置在单个文件和行了解就结束多个玻璃站立，和倒角加工的边缘通过在玻璃底部磨削的同时来倾斜设置玻璃以预定的角度，而其他边缘同时倒角，同时旋转眼镜。

7. 发明授权

KR101879177B1 약액 공급 장치 有权
公开(公告)号：KR101879177B1
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：KR1020170097045
申请日：2017-07-31
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6704 , H01L21/6715
摘要： 약액공급장치가개시된다. 약액공급장치는약액이수용되는내부공간을갖고, 상기내부공간의제1 위치에배치되고약액이유입되는약액유입부, 상기내부공간의제2 위치에배치되고상기약액이토출되는약액토출부를포함하는펌프바디; 일부분이상기펌프바디의내부로삽입되고, 일단부가상기제1 위치에배치된상기펌프바디의제1 면에회전가능하게연결되고타단부가상기제1 면에대향하는상기펌프바디의제2 면에연결되는회전스크류; 상기제2 면에설치되어상기회전스크류에연결되고, 상기회전스크류를회전시키는구동모터; 상기회전스크류상에결합되고, 상기회전스크류가회전하면상기회전스크류의회전방향에따라상기제1 위치및 제2 위치로이동하는플레이트형태의피스톤; 상기펌프바디의내부공간에수용되고, 일단부가상기제1 면에고정되고타단부가상기제1 면에대향하는상기피스톤의일면에고정되는제1 벨로우즈관; 및상기펌프바디의내부공간에수용되고, 일단부가상기제2 면에고정되고타단부가상기제2 면에대향하는상기피스톤의일면에고정되는제2 벨로우즈관을포함하는것을특징으로한다.

8. 发明授权

KR101856708B1 반도체 세정 및 건조 설비용 노즐 구동 시스템 有权
标题翻译：用于半导体清洁和干燥设备的喷嘴驱动系统
公开(公告)号：KR101856708B1
公开(公告)日：2018-05-14
申请号：KR1020170103980
申请日：2017-08-17
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67051 , H01L21/6715
摘要： 반도체세정및 건조설비용노즐구동시스템이개시된다. 반도체세정및 건조설비용노즐구동시스템은노즐헤드, 상기노즐헤드로부터일정길이연장되는노즐튜브및 상기노즐튜브의끝단부에수직하게연결되고기판세정용약액을분사하는분사노즐을포함하는노즐부; 상기노즐튜브의길이방향에수직하도록상기노즐헤드에연결되는노즐샤프트; 상기노즐샤프트의일측에배치되고, 정회전및 역회전가능하게구비되는구동모터; 및상기구동모터와연동하여상기구동모터의동력만으로상기노즐튜브및 노즐샤프트가회전되도록제어하는연동장치를포함하는것을특징으로한다.

9. 发明授权

KR101217504B1 서셉터 제조방법 및 이에 의해 제조된 서셉터 有权
标题翻译：通过方法制造的SUSCEPTOR和SUSCEPTOR制造方法
公开(公告)号：KR101217504B1
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：KR1020120087553
申请日：2012-08-10
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/683 , H05H1/34
CPC分类号： H01L21/68757 , H01L21/67103
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a susceptor and the susceptor manufactured by the method are provided to implement uniform temperature by densely arranging a heat resistant line for a center molding product. CONSTITUTION: A center molding product(110) comprises a heat resistant line(112), an upper insulator(114), and a lower insulation material(111) and a heater core. The upper insulator and the lower insulation material electrically isolate the heat resistant line. The heater core is made of a center insulating material(113). The center insulator is filled between the upper insulator and the lower insulator. The susceptor body(120) is molded by a casting process.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造基座和由该方法制造的基座的方法，以通过密集布置用于中心成型产品的耐热线来实现均匀的温度。构成：中心成型产品（110）包括耐热线（112），上绝缘体（114）和下绝缘材料（111）和加热器芯。上绝缘体和下绝缘材料电绝缘耐热线。加热器芯由中心绝缘材料（113）制成。中间绝缘体填充在上绝缘体和下绝缘体之间。基座体（120）通过铸造工艺成型。

10. 发明授权

KR101692915B1 반도체 세정 및 건조 설비용 노즐 구동 시스템 有权
标题翻译：喷嘴驱动系统
公开(公告)号：KR101692915B1
公开(公告)日：2017-01-17
申请号：KR1020160028028
申请日：2016-03-09
申请人： 주식회사 포톤
发明人： 조중근
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 반도체세정및 건조설비용노즐구동시스템이개시된다. 상기반도체세정및 건조설비용노즐시스템은챔버내에설치되고, 상면부가개방되고, 내부에기판을수용하는바울(bowl)의내부로이동하여상기기판을처리하기위한기판처리유체를분사하는노즐시스템으로서, 상기바울의외부에위치하고, 상기바울이놓인상기챔버의바닥면에설치되고, 구동축이상기바닥면에수직하도록배치된제1 모터; 상기제1 모터의구동축에결합되어상기제1 모터의구동에의해회전하는노즐샤프트; 상기노즐샤프트에회전가능하게결합되어끝단부가상기노즐샤프트와멀어지는방향으로연장된제1 노즐바; 상기제1 노즐바의끝단부에서아래로절곡되어소정의길이로연장된제2 노즐바; 상기제1 노즐바와연결되어상기제1 노즐바를회전시키는제2 모터; 및상기제2 노즐바의끝단부에결합되어상기기판처리유체를분사하는노즐을포함하는것을특징으로한다.

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