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    • 2. 发明授权
    • 섀도 마스크 기능을 구비한 마이크로렌즈 어레이의 제조 방법
    • 具有阴影面膜功能的微透镜阵列的制造方法
    • KR101065251B1
    • 2011-09-16
    • KR1020090045984
    • 2009-05-26
    • 주식회사 코디엠
    • 송요탁김채수위창현서현우양상식이기근오해관
    • B29D11/00G02B3/00G02B1/10
    • 본 발명은, 석영기판에 크롬막과 감광막을 순서대로 코팅하며, 다수의 홀로 이루어진 소정 모양의 패턴을 갖도록 감광막을 노광한 다음 현상하여 패턴 감광막을 형성하고, 패턴에 대응하는 다수의 홀을 구비하도록 크롬막을 에칭하여 섀도 마스크의 역할을 수행할 수 있는 홀형성 크롬막을 형성한 다음, 홀형성 크롬막위에 잔류하는 패턴 감광막을 벗겨내는 방식으로, 홀형성 크롬막 기판을 제조하는 제1단계; 홀형성 크롬막 기판을 에칭하여 홀형성 크롬막에 구비된 다수의 홀에 대응하는 배열 형태의 마이크로렌즈 형상 부분을 석영기판에 음각으로 형성하고, 석영기판의 마이크로렌즈 형상 부분을 덮은 상태로 잔류하는 홀형성 크롬막을 제거하며, 및 석영기판의 마이크로렌즈 형상 부분을 광학접착제로 코팅하여 층상의 마이크로렌즈부를 형성하는 방식으로, 홀형성 크롬막 기판으로 마이크로렌즈 기판을 제조하는 제2단계; 및 마이크로렌즈 기판과 다른 하나의 홀형성 크롬막 기판을 마이크로렌즈부와 홀형성 크롬막이 마주보도록 겹쳐지게 배치한 상태에서 결합하여, 섀도 마스크 기능을 구비한 마이크로렌즈 어레이를 완성하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 섀도 마스크 기능을 구비한 마이크로렌즈 어레이의 제조방법을 제공한다.
      마이크로렌즈, 홀형성 크롬막, 조정 지그, 광학접착제, 섀도 마스크