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    • 4. 发明公开
    • 상압 플라즈마를 이용한 이산화규소 코팅 장치
    • 使用等离子体等离子体的二氧化硅涂层设备
    • KR1020160120466A
    • 2016-10-18
    • KR1020150049504
    • 2015-04-08
    • 주식회사 애니 테이프시스템코리아 주식회사
    • 박성호공배성
    • C23C16/40C23C16/513
    • 본발명은상압플라즈마를이용한산화규소코팅장치에관한것으로, 본발명에의하면, 전구체(precursor)를공급하는전구체공급탱크(140); 상기전구체공급탱크(140)와제1 공급관(P1)으로연결되고전구체공급탱크(140)로부터공급되는분자상태의기상전구체를설정된압력으로감압하여설정된속도배출하는감압펌프(120); 캐리어가스(carrier gas)를공급하는캐리어가스공급원(130); 상기캐리어가스공급원(130)과제3 공급관(P3)으로연결되고상기감압펌프(120)와제2 공급관(P2)으로연결되며, 상기캐리어가스공급원(130)으로부터공급되는캐리어가스와상기감압펌프(120)로부터배출되는전구체를혼합하여플라즈마를발생시킨후에산화규소를생성하고, 생성된산화규소를노즐(150a)을통해서기판(S)으로분사하여서기판(S)에산화규소를코팅하는상압플라즈마인버터(150)를포함하여구성되는것을특징으로하고, 이에의하면, 한번에코팅되는코팅두께가두꺼워질 수있고, 신속한코팅이될 수있으며, 생산비용을줄일수 있는이점이있다.
    • 5. 发明授权
    • 대기압 플라즈마를 이용한 압출성형재의 윤활유 제거 장치
    • 润滑剂使用等离子体等离子体去除装置
    • KR101586237B1
    • 2016-01-19
    • KR1020150105134
    • 2015-07-24
    • 주식회사 애니 테이프
    • 박성호
    • B21C43/00B08B5/02B08B7/00
    • 본발명은대기압플라즈마를이용한압출성형재의윤활유제거장치에관한것으로, 캐리어개스를공급하는캐리어개스공급원(121)과, 일측이상기캐리어개스공급원(121)에연결되고타측이플라즈마분사헤드(112)에연결되어서캐리어개스를플라즈마분사헤드(112)로전달하는캐리어개스공급관(123)과, 플라즈마분사헤드(112)에서플라즈마방전전압이생성되도록플라즈마분사헤드(112)로전압을인가하는플라즈마전원공급부(111)와, 플라즈마전원공급부(111)에리드와이어(111a)에의해서연결되고플라즈마전원공급부(111)에서공급되는전압에의해서플라즈마아크방전이되어서캐리어개스공급관(123)으로부터공급되는캐리어개스를플라즈마상태로만들고이 플라즈마상태의캐리어개스를노즐(112a)을통하여압출금형(130)에서압출성형되어서나오는전선와이어및 파이프(압출성형재)(140)의표면으로분사함으로써압출성형재(140)의표면에있는윤활유를제거하는플라즈마분사헤드(112)를포함하여구성되는것을특징으로하고, 이에의하면간단하면서도신속하게압출성형재의표면에있는윤활유를제거할수 있는이점이있다.
    • 本发明涉及使用大气等离子体的挤压成型材料的润滑剂除去装置。 用于挤出成型材料的润滑剂去除装置是完全去除在从等离子体注入头注入的等离子体状态中由载气制造线或各种管时应去除的润滑剂。 使用大气等离子体的挤出成型材料的润滑剂除去装置包括:供给载气的载气源(121) 一个侧面连接到载气源(121),另一侧与等离子体注入头(112)连接的载气供给管(123)将载气传送到等离子体注入头(112) 向所述等离子体注入头(112)施加电压以在所述等离子体注入头(112)中产生等离子体放电电压的等离子体供电单元(111); 以及通过引线(111a)连接到等离子体供电单元(111)的等离子体注入头(112),通过等离子体将从载气供给管(123)供给的载气的状态改变为等离子体状态 -arc通过从等离子体供电单元(111)提供的电压放电,将等离子体状态的载气注入到由挤出模具(130)挤出和模制的电线表面和管(挤压成型材料) 通过喷嘴(112a),并且去除残留在挤压成型材料(140)的表面上的润滑剂。 因此,用于挤出成型材料的润滑剂去除装置可以简单且快速地除去残留在挤压成型材料表面上的润滑剂。