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    • 7. 发明公开
    • 미세 전도물질 배선전극 터치스크린 제조방법
    • TINY导电线电极触摸屏的方法
    • KR1020160035640A
    • 2016-04-01
    • KR1020140126659
    • 2014-09-23
    • 주식회사 네패스
    • 이성복손혜란서형석노치형김중배강성철
    • G06F3/041
    • G06F3/041G06F2203/04103
    • 본발명은기판에감지부를패터닝하는제1차패터닝단계; 및상기감지부상부에도금막을마련하는제2차패터닝단계;를포함하고, 상기감지부는금속물질, 전도성고분자및 전도성카본소재를포함하는군에서선택되는적어도하나, 및바인더를포함하고, 상기금속물질의크기는입자반경이 1㎚이상 5㎛이하이며, 상기바인더는에폭시, 아크릴및 이미드를포함하는군에서선택되는적어도하나의계통을가지는물질인미세전도물질배선전극터치스크린제조방법에관한것이다.
    • 根据本发明,精细导电材料布线电极触摸屏的制造方法包括:第一图案化步骤,用于在基底上图形化感测单元; 以及用于在感测单元的上部设置镀层的第二图案化步骤。 感测单元从金属材料,导电聚合物和导电碳材料中的至少一个组中选择并且包括粘合剂。 金属材料的尺寸为1nm至至多5μm。 粘合剂由具有至少一种选自包括环氧树脂,丙烯酰基和聚酰亚胺基团的系统的材料制成。 本发明的目的是提供导电材料布线电极触摸屏的制造方法,以便于其制造工艺,并且通过进行图案化步骤来提高产品的产率和质量。
    • 8. 发明授权
    • 미세 패턴의 형성 방법
    • 形成精细图案的方法
    • KR101657076B1
    • 2016-09-20
    • KR1020150090299
    • 2015-06-25
    • 주식회사 네패스
    • 최제현정은화진준수손혜란노치형
    • H01L21/3065H01L21/027H01L21/203
    • 미세패턴의형성방법이개시된다. 본발명의일실시예에따른미세패턴의형성방법에따르면, 베이스기판상에금속층을형성하고, 상기금속층상에포토레지스트잉크를이용한롤 프린팅공정을통하여제1 폭을가지는제1 포토패턴을형성하고, 상기제1 포토패턴의폭 및두께를감소시키기위하여산소플라즈마처리하여상기제1 폭보다작은제2 폭을가지는제2 포토패턴을형성하고, 상기제2 포토패턴을마스크로하여상기금속층을식각하여금속패턴을형성하고, 상기제2 포토패턴을가열하여상기금속패턴의상부및 측부를감싸상기금속패턴을절연하는리플로우포토레지스트층을형성한다. 따라서, 인쇄공정이후포토패턴의플라즈마에칭을통하여포토패턴의폭을감소시켜미세한선폭을가지는메쉬패턴을형성하여, 원하는정밀한패턴을얻을수 있으며, 공정비용및 효율을개선시킬수 있다.
    • 根据本发明,公开了形成精细图案的方法。 根据本发明的一个实施例,该方法包括:在基底基板上形成金属层的步骤; 通过使用光致抗蚀剂油墨的辊印工艺在金属层上形成具有第一宽度的第一光致抗蚀剂图案的步骤; 处理氧等离子体以减小第一光致抗蚀剂图案的宽度和厚度的步骤,以形成具有小于第一宽度的第二宽度的第二光致抗蚀剂图案; 通过使用第二光致抗蚀剂图案作为掩模来蚀刻金属层以形成金属图案的步骤; 以及加热第二光致抗蚀剂图案以包围金属图案的上部和侧部的步骤,以形成绝缘金属图案的回流光致抗蚀剂层。 因此,通过在印刷处理后的光致抗蚀剂图案的等离子体蚀刻来减小光致抗蚀剂图案的宽度,以形成具有细线宽的网格图案,因此可以获得期望的精确图案,并且可以提高处理成本和效率。