专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100890994B1 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법 失效
标题翻译：用于在硅表面上形成折流纹理的Plazma蚀刻方法
公开(公告)号：KR100890994B1
公开(公告)日：2009-03-31
申请号：KR1020070074671
申请日：2007-07-25
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/3065 , H01J37/32357 , H01L31/02363 , Y02E10/50
摘要： 본 발명은 태양전지 등에 사용되는 실리콘 기판의 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마에 의해 활성화된 식각가스를 분사시키는 가스분사구가 형성되어 있는 플라즈마 발생장치와, 플라즈마 발생장치에 고압의 식각가스를 공급해주는 가스 공급장치를 구비하여, 1 Torr 이상의 압력 환경 하에서 고속으로 분사되는 식각가스 입자에 의해 실리콘 기판 표면에 식각 반응을 일으켜 피라미드 구조를 형성함으로써, 고진공 상태를 유지하기 위한 별도의 장치가 필요 없어 식각 장치의 구조를 단순화할 수 있고, 고밀도의 식각가스 입자에 의해 반응 효율을 향상시킬 수 있는 플라즈마 식각 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법은, 식각반응로 내부에 실리콘 기판을 지지하는 홀더와, 일측에 가스분사구가 형성된 플라즈마 발생장치를 구비한 플라즈마 식각장치를 이용하여 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하는 방법에 있어서, 상기 플라즈마 발생장치에 식각가스를 공급하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마에 의해 활성화된 식각가스 입자를 상기 가스분사구를 통해 홀더에 지지되어 있는 실리콘 기판으로 분사시킴으로써, 상기 분사된 식각가스 입자에 의한 식각을 통해 실리콘 기판 표면에 피라미드 구조를 형성하되, 상기 가스분사구를 통해 분사되는 식각가스 입자의 분사 속도는, 상기 플라즈마 발생장치로 공급되는 식각가스의 압력에 대한 제어를 통하여 조절되는 점을 특징으로 한다.
실리콘, 피라미드 구조, 건식식각, 플라즈마, 태양전지

2. 发明公开

KR1020090011262A 실리콘 표면에 피라미드 구조를 형성하기 위한 플라즈마 식각 방법 失效
标题翻译：用于形成硅表面上的白色纹理的PLAZMA蚀刻方法及其使用的装置
公开(公告)号：KR1020090011262A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074671
申请日：2007-07-25
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/3065 , H01J37/32357 , H01L31/02363 , Y02E10/50
摘要： A plasma etching method for forming pyramidal structure on silicone surface and an apparatus thereof are provided to simplify structure of an etching apparatus by omitting a separate apparatus for maintaining high vacuum state. A plasma etching apparatus includes a holder(30) and a plasma generator(10). The holder supports a silicone substrate(1) inside an etching reactor(40). A gas injection nozzle(19) is positioned in one side of the plasma generator. An etching gas is supplied to the plasma etching apparatus through an etching gas supplying device(20), and plasma is generated. An etching gas particle activated by the plasma is spayed on the silicone substrate. A pyramidal structure is formed on the silicone substrate through an etching with the etching gas particle.
摘要翻译：提供了一种用于在硅树脂表面上形成锥体结构的等离子体蚀刻方法及其装置，以通过省略用于保持高真空状态的单独装置来简化蚀刻装置的结构。等离子体蚀刻装置包括保持器（30）和等离子体发生器（10）。保持器在蚀刻反应器（40）内支撑硅基底（1）。气体注入喷嘴（19）位于等离子体发生器的一侧。蚀刻气体通过蚀刻气体供给装置（20）供给到等离子体蚀刻装置，产生等离子体。由等离子体激活的蚀刻气体颗粒在硅基底上喷涂。通过用蚀刻气体颗粒的蚀刻，在硅树脂基板上形成金字塔形结构。

3. 发明公开

KR1020090124074A 개질장치 및 개질방법 有权
标题翻译：装置和改造方法
公开(公告)号：KR1020090124074A
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：KR1020080050072
申请日：2008-05-29
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： C01B3/38 , C01B3/26 , F02M27/00
CPC分类号： C01B3/36 , C01B3/38 , C01B3/382 , C01B3/386 , C01B2203/0233 , C01B2203/0238 , C01B2203/0244 , C01B2203/0255 , C01B2203/0261 , C01B2203/066 , C01B2203/085 , C01B2203/0861 , C01B2203/1619 , C01B2203/1633 , C01B2203/169 , Y02P20/142
摘要： PURPOSE: A reforming apparatus and a reforming method using the same are provided to increase operation efficiency of an internal combustion engine, and to reduce maintenance and management costs without continuous heat supply. CONSTITUTION: A reforming apparatus includes a reactor main body(10), a reaction facilitating member(40), and a combustion beginning part(50). The reaction main body has an inlet part(20), a suction part(30), and a discharge part(60). A hollow tube(11) is built in the main body. The inlet part is arranged on a front side of a tube. The suction part is used as a flow path to transfer the air. The suction part is arranged on a vertical location of the inlet part. The discharge part is installed at a rear side of the tube. The reforming apparatus further includes an insulation layer(70), at least one guide part(80), a power supply part(90), a sensor part(91), and a control part(92).
摘要翻译：目的：提供一种重整装置及其改造方法，以提高内燃机的运转效率，并且在不连续供热的情况下降低维护和管理成本。构成：重整装置包括反应器主体（10），反应促进构件（40）和燃烧开始部（50）。反应主体具有入口部（20），吸引部（30）和排出部（60）。中空管（11）内置在主体内。入口部分布置在管的前侧。抽吸部件用作传递空气的流动路径。抽吸部件布置在入口部分的垂直位置。排出部分安装在管的后侧。重整装置还包括绝缘层（70），至少一个引导部分（80），电源部分（90），传感器部分（91）和控制部分（92）。

4. 发明授权

KR101008722B1 디젤 엔진의 입자상 물질 저감장치 失效
标题翻译：柴油机颗粒物减量装置
公开(公告)号：KR101008722B1
公开(公告)日：2011-01-17
申请号：KR1020080083475
申请日：2008-08-26
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： F01N3/027 , F01N3/021
摘要： 본 발명은 디젤 엔진의 입자상 물질 저감장치를 개시한다. 본 발명에 따르면, 디젤 엔진으로부터 배기가스가 배출되는 유로 상에 설치된 수용 캔; 수용 캔 내에 수용되고, 수용 캔 내로 유입되는 배기가스에 포함된 입자상 물질을 포집하는 디젤 입자상 물질 필터(Diesel Particulate Filter); 차량 전원으로부터 전원을 공급받아서 필터를 직접 가열할 수 있게 필터에 설치되는 2개의 전극들; 필터의 온도를 측정하는 온도 센서; 및 온도 센서로부터 측정된 온도 정보를 제공받아서, 필터의 온도가 설정 온도를 초과하지 않도록 필터로 공급되는 전원을 온/오프 제어하는 전원 제어부;를 구비한다.
디젤, 입자상 물질
摘要翻译：本发明公开了一种用于柴油机的颗粒物质减少装置。根据本发明，提供了一种柴油发动机，其包括：壳体罐，其设置在排气从柴油发动机排出的流路上; 柴油颗粒过滤器（柴油微粒过滤器）容纳在接收罐中并且收集流入接收罐中的废气中包含的颗粒物质; 两个电极安装在过滤器中以接收来自车辆电源的电力以直接加热过滤器; 温度传感器，用于测量过滤器的温度; 以及功率控制单元，用于接收从温度传感器测量的温度信息并控制供应到过滤器的功率，以防止过滤器的温度超过设定温度。

5. 发明授权

KR100998918B1 개질장치 및 개질방법 有权
标题翻译：改造装置及方法
公开(公告)号：KR100998918B1
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：KR1020080050072
申请日：2008-05-29
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： C01B3/38 , C01B3/26 , F02M27/00
CPC分类号： C01B3/36 , C01B3/38 , C01B3/382 , C01B3/386 , C01B2203/0233 , C01B2203/0238 , C01B2203/0244 , C01B2203/0255 , C01B2203/0261 , C01B2203/066 , C01B2203/085 , C01B2203/0861 , C01B2203/1619 , C01B2203/1633 , C01B2203/169 , Y02P20/142
摘要： 본 발명은 탄화수소 연료를 개질하는 개질장치 및 개질방법을 개시한다. 본 발명은 열이나 방전 또는 촉매를 이용하여 액체, 기체, 또는 증기 상태의 연료를 변환시켜 수소와 일산화탄소를 주성분으로 하는 기체로 만드는 개질장치에 관한 것으로, 복수의 유로와 격벽을 갖는 구조를 채택하여 화염선단을 확장하고 반응율을 높이는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 화공산업에서 합성기체를 생산하여 내연기관의 작동효율 증가와 배기가스의 청정화를 이룰 수 있으며 합성기체는 연료전지, 열기구 등에 다양하게 적용될 수 있다.
개질, 연료전지, 탄화수소

6. 发明公开

KR1020090091638A 디젤 엔진의 입자상 물질 저감장치 失效
标题翻译：减少柴油车辆颗粒物的装置
公开(公告)号：KR1020090091638A
公开(公告)日：2009-08-28
申请号：KR1020080083475
申请日：2008-08-26
申请人： 제주대학교 산학협력단
发明人： 이헌주 , 플락신,바딤유레비치
IPC分类号： F01N3/027 , F01N3/021
摘要： An apparatus for reducing particulate matters of a diesel vehicle is provided to make the configuration simple and extend the life span of the filter by heating the filter directly using the power supply of the vehicle. An apparatus for reducing particulate matters of a diesel vehicle comprises a container(100), a diesel particulate filter(120), two electrodes(131,132), a temperature sensor(140), and a power control unit(150). The container is installed on the flow path of exhaust gas from the diesel engine. The diesel particulate filter is housed in the container and collects particulates included in the exhaust gas flowing in the container. The two electrodes are installed on the filter and provided with power from the power supply of the vehicle to directly heat the filter. The temperature sensor measures the temperature of the filter. The power control unit is provided with temperature information from the temperature sensor and controls the power supplied to the filter to prevent the temperature of the filter from exceeding the preset temperature.
摘要翻译：提供一种用于减少柴油车辆的颗粒物质的装置，通过使用车辆的电源直接加热过滤器，使结构简单，延长了过滤器的使用寿命。一种用于减少柴油车辆的颗粒物质的装置，包括容器（100），柴油微粒过滤器（120），两个电极（131,132），温度传感器（140）和功率控制单元（150）。容器安装在来自柴油发动机的废气流动路径上。柴油颗粒过滤器容纳在容器中并且收集在容器中流动的废气中包含的微粒。两个电极安装在过滤器上，并从车辆的电源提供电力，以直接加热过滤器。温度传感器测量过滤器的温度。功率控制单元设置有来自温度传感器的温度信息，并控制提供给过滤器的功率，以防止过滤器的温度超过预设温度。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式