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    • 1. 发明授权
    • 오피씨드럼과 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치 및디엘씨코팅방법
    • OPC鼓及其DLC涂层设备及其DLC涂层方法
    • KR100337656B1
    • 2002-05-23
    • KR1019990057199
    • 1999-12-13
    • 정보통신연구진흥원주식회사 한프우경전광 주식회사
    • 이종무황민선김은택
    • C23C4/00
    • 본발명은오피씨드럼에경도와내마모성이강한디엘씨코팅막을형성하여오피씨드럼의수명을획기적으로증대시키는동시에잔류전위를낮추지않고광투과도를거의저하시키지않음으로써복사성능이떨어지지않는오피씨드럼과오피씨드럼의디엘씨코팅장치및 디엘씨코팅방법에관한것으로서, 본발명의오피씨드럼은, 복사기, 레이저프린터, 팩시밀리등의전자복사기기에적용되는오피씨드럼(Organic PhotoConductor Drum)을구성함에있어, 상기오피씨드럼의표면에디엘씨(Diamond-Like Carbon)코팅막이형성된것을특징으로하고, 본발명의오피씨드럼의디엘씨코팅장치는, 디엘씨코팅막의증착속도를향상시키기위하여자장형성수단을포함하여이루어지는것을특징으로하며, 본발명의오피씨드럼의디엘씨코팅방법은, 화학기상증착설비에오피씨드럼을로딩하고, 설비내부에주가스와보조가스를공급하며, 설비내부에플라즈마를발생시켜서상기오피씨드럼에디엘씨코팅막을코팅하고, 오피씨드럼을설비외부로언로딩하는단계들을포함하여이루어지는것을특징으로하기때문에, 오피씨드럼의수명을획기적으로증대시켜서자원의낭비를방지하고, 유지비를절감할수 있게하며, 디엘씨코팅막이형성된오피씨드럼의잔류전위를낮추고, 광투과도를향상시켜서양질의복사를가능하게하며, 생산성을증대시킬수 있게하는효과를갖는다.