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    • 5. 发明公开
    • 전기 화학 증착 장치 및 이를 이용한 전기 화학 증착 방법
    • 电化学沉积装置和使用其的电化学沉积方法
    • KR1020150136564A
    • 2015-12-07
    • KR1020140064027
    • 2014-05-27
    • 인제대학교 산학협력단
    • 류혁현오희봉장진탁
    • C25D17/02C25D17/10C25D21/12
    • C25D17/02B82B3/00C25D21/02C25D21/14C25D21/18
    • 본발명은전기화학증착장치에관한것으로서, 더욱상세하게는기판, 실링부재및 반응용기형성부재를이용하여기판을바닥부로하는반응용기를형성하고, 상기반응용기에반응용액을담지하여용액의일면만용액과접하도록함으로써, 기판의온도와용액의온도를다르게조절할수 있는전기화학증착반응장치및 이를이용한전기화학증착방법에관한것이다. 본발명의전기화학증착장치는기판의온도와반응용액의온도를별도로조절할수 있으며, 이에따라용액의온도를용액의끓는점이상까지조절하는것이가능하며, 용액순환장치에의해용액의농도를일정하게유지하면서반응시키는것이가능하기때문에전기화학증착반응에의해기판위에물성이뛰어나고다양한나노구조체를빠르고자유롭게생성할수 있는효과가있다.
    • 本发明涉及一种电化学沉积设备,更具体地说,涉及一种电化学沉积设备和使用该电化学沉积设备的电化学沉积方法,该电化学沉积设备和电化学沉积方法能够控制基板的温度和溶液的温度不同于仅一个表面 溶液通过形成反应容器与溶液接触,其中基材是使用基材,密封构件和反应容器形成构件的底部; 并在反应容器中含有反应溶液。 电化学沉积装置具有分别控制基板的温度和反应溶液的温度,将溶液的温度控制在溶液的沸点以上并且使溶液的浓度均匀地保持的反应的效果 通过溶液循环装置; 从而通过电化学沉积反应快速且自由地产生具有优于物理性质的各种纳米结构。