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    • 5. 发明授权
    • 볼펜 방식 웨이퍼 절단장치
    • KR101915382B1
    • 2018-12-28
    • KR1020170020730
    • 2017-02-15
    • 인제대학교 산학협력단
    • 조형호김상우안슬기유인재장석훈배윤경
    • H01L21/78B28D5/04H01L21/48H01L21/67
    • 본 발명은 몸체(100)가 길이방향 일측이 개구되고 측면에 두 개의 관통홀(101,102)이 형성되며 내부에 공간부가 형성된 볼펜 형상이되, 상기 몸체(100)의 내부공간부에는 코일스프링(110)이 삽입되고, 상기 코일스프링(110)의 일단은 몸체(100)의 내부 일면에 닿게 되고, 타단은 몸체(100)에 삽입되는 팁심(120)의 일면에 닿게 되며, 상기 팁심(120)의 타단에는 다이아몬드 팁(130)이 돌출되는 것으로,
      본 발명 볼펜 방식 웨이퍼 절단장치는 웨이퍼에 다이아몬드 팁이 일정각도로 충격을 가하도록 볼펜 형상의 몸체 개구된 일측의 일측면에는 경사면이 형성되고, 상기 경사면이 웨이퍼의 상면에 닿도록 한 후, 다이아몬드 팁을 코일스프링의 복원력을 이용하여 이동시키고, 웨이퍼에 사용자의 힘에 관계없이 코일스프링의 복원력을 통해 일정 강도로 충격을 가하여 웨이퍼를 절단하는 것으로, 웨이퍼에 가하는 힘이 강하여 주변까지 찌그러지거나 또는 힘이 약하여 웨이퍼가 절단되지 않는 것을 방지할 수 있게 되는 현저한 효과가 있다.