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1. 发明授权

KR101743361B1 엑시머램프의 방전관 접합장치 有权
标题翻译：准分子灯放电管接头
公开(公告)号：KR101743361B1
公开(公告)日：2017-06-02
申请号：KR1020150152954
申请日：2015-11-02
申请人： 유니램 주식회사
发明人： 윤주영 , 차무경 , 안수겸 , 강부식
IPC分类号： H01J65/04 , H01J61/34 , H01J61/36 , H01J9/26
摘要： 본발명은세 개의동축으로이루어진척을가진설비를이용하여별도의부재를사용하지않더라도램프를구성하는방전관인내측관및 외측관의단부를접합할수 있는동축이중관구조를가지는엑시머램프의방전관접합장치를제공한다. 이를구현하기위한본 발명은방전관을구성하는내측관과외측관을동축을이룬상태로클램핑하여상기내, 외측관의양단부를접합시키는엑시머램프의방전관접합장치에있어서, 상기내측관의일단부를클램핑하는제 1척이구비된제 1내측관고정대, 상기제 1내측관고정대의맞은편에위치하며상기제 1척과동축을이룬상태에서상기내측관의타단부를클램핑하는제 2척이구비된제 2내측관고정대, 상기제 1, 2내측관고정대사이에위치하며상기제 1, 2척과동축을이룬상태에서상기외측관의외경을클램핑하는외측관고정대로구성함을기술적요지로한다.
摘要翻译：本发明涉及具有同轴双重管结构的准分子灯放电管组件，该同轴双重管结构能够连接作为构成灯的放电管的内管和外管的末端而不使用单独的构件，等等。用于实现这一点，在所述内管和通过在由同轴我所达到的状态夹持的准分子灯的外管的本发明中，连接到外管的两端的放电管焊接设备来配置放电管，内管的一个端部夹持以及第二卡盘，用于以与第一卡盘同轴的状态夹持内管的另一端并位于第一内管保持基座的相反侧，如图2所示，位于内导向管之间，所述第一和第二内部引导管，并与第一和第二卡盘技术方面，在固定于夹具中的状态下，外管的外径的外管的结构来实现同轴。

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