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    • 2. 发明公开
    • 멤스 스캐너 패키지
    • MEMS扫描仪封装
    • KR1020170071815A
    • 2017-06-26
    • KR1020150179952
    • 2015-12-16
    • 엘지전자 주식회사
    • 임재혁허지환
    • G02B26/10G02B26/08G03B21/14G02B1/111G02B7/182
    • 본발명의일 실시예에따른멤스스캐너패키지는, 서로마주보는한 쌍의제1 탄성체의사이에배치되는미러와제1 탄성체를통하여미러와연결되는짐벌(gimbal)을포함하는멤스스캐너(MEMS scanner), 멤스스캐너의후면에배치되는자석(magnet), 자석을수납하는수납공간을형성하는하부케이스, 및, 멤스스캐너의일부와접촉하고, 짐벌의전면을커버(cover)하는커버부를구비하는상부케이스를포함함으로써, 패키지내의내부오반사를차단할수 있다.
    • 微机电系统,根据本发明的一个实施例的扫描仪包,经由反射镜和设置在彼此面对的一对第一弹性构件之间的第一弹性部件连接到所述反射镜的MEMS扫描器(MEMS扫描器包括一个万向接头(万向接头), ),具有与设置在扫描仪(磁体背面的MEMS磁体的部分接触的顶部),下壳体形成用于容纳的容纳空间的磁体,和一个MEMS扫描器,并覆盖万向节罩(盖)部分的整个表面 通过包括这种情况,可以阻止包装内的内部错误反射。