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1. 发明公开

KR1020130009879A 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR1020130009879A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020127032469
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/301
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983 , H01L21/02 , H01L21/677
摘要： 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.

2. 发明公开

KR1020120132488A 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于从载体基板分离产品基板的装置和方法
公开(公告)号：KR1020120132488A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：KR1020127022017
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 탈착하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 탈착하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.

3. 发明授权

KR101476516B1 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于从载体基板分离产品基板的装置和方法
公开(公告)号：KR101476516B1
公开(公告)日：2014-12-30
申请号：KR1020127022017
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 결합층에의해제작기판에연결된캐리어기판으로부터제작기판을박리하기위한장치에있어서, 상기장치는필름프레임; 필름프레임에연결되고가요성필름의접촉표면섹션에서제작기판을고정하기위한접착층을가지며, 상기가요성필름이접촉표면섹션을둘러싸는가요성필름의부착섹션에서필름프레임에연결되는상기가요성필름; 뿐만아니라필름프레임과상기필름에의해특히가변적부피로, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위하여형성된용매저장소, 여기서제작기판및 결합층이상기용매저장소에수용될수 있으며; 용매를용매저장소에전달하기위한전달수단; 및제작기판을캐리어기판으로부터박리하기위한박리수단에의해실시된다. 또한본 발명은필름프레임과상기필름프레임에연결된가요성필름에의해형성되며, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위한용매저장소를형성하고; 뿐만아니라제작기판및 결합층을용매저장소에고정하고; 그리고용매를용매저장소에전달하고; 그리고제작기판을캐리어기판으로부터박리함으로써, 제작기판을캐리어기판으로부터박리하는방법에관한것이다.

4. 发明公开

KR1020130009878A 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于从载体基板分离产品基板的装置和方法
公开(公告)号：KR1020130009878A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020127032468
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/301
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.

5. 发明授权

KR101742347B1 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于将制造衬底与载体衬底分离的设备和方法
公开(公告)号：KR101742347B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020127032469
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/301
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 결합층에의해제작기판에연결된캐리어기판으로부터제작기판을박리하기위한장치에있어서, 상기장치는필름프레임; 필름프레임에연결되고가요성필름의접촉표면섹션에서제작기판을고정하기위한접착층을가지며, 상기가요성필름이접촉표면섹션을둘러싸는가요성필름의부착섹션에서필름프레임에연결되는상기가요성필름; 뿐만아니라필름프레임과상기필름에의해특히가변적부피로, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위하여형성된용매저장소, 여기서제작기판및 결합층이상기용매저장소에수용될수 있으며; 용매를용매저장소에전달하기위한전달수단; 및제작기판을캐리어기판으로부터박리하기위한박리수단에의해실시된다. 또한본 발명은필름프레임과상기필름프레임에연결된가요성필름에의해형성되며, 결합층을분리하기위한용매를보유하기위한용매저장소를형성하고; 뿐만아니라제작기판및 결합층을용매저장소에고정하고; 그리고용매를용매저장소에전달하고; 그리고제작기판을캐리어기판으로부터박리함으로써, 제작기판을캐리어기판으로부터박리하는방법에관한것이다.
摘要翻译：一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分。以及在由薄膜框架和所述膜特定的可变体积，被容纳在溶剂存储，其中，所述基板和所述接合层使所提供的移相器溶剂储存保留溶剂，接合层分离，并且; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。在另一个方面中，本发明由附接到所述框架和所述胶片帧膜的柔性膜形成，以形成用于保持溶剂的接合层分离溶剂存储; 除了将制造基底和粘合层固定到溶剂储存器之外，并将溶剂转移到溶剂容器中; 并且通过从载体基板剥离基板而从基板剥离基板。

6. 发明授权

KR101454985B1 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 분리하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于将制造衬底与载体衬底分离的设备和方法
公开(公告)号：KR101454985B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020127032468
申请日：2011-03-29
申请人： 에베 그룹 게엠베하
发明人： 린드너,프리드리치,폴 , 부르그라프,요르겐
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/301
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 결합층에 의해 제작 기판에 연결된 캐리어 기판으로부터 제작 기판을 박리하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 필름 프레임; 필름 프레임에 연결되고 가요성 필름의 접촉 표면 섹션에서 제작 기판을 고정하기 위한 접착층을 가지며, 상기 가요성 필름이 접촉 표면 섹션을 둘러싸는 가요성 필름의 부착 섹션에서 필름 프레임에 연결되는 상기 가요성 필름; 뿐만 아니라 필름 프레임과 상기 필름에 의해 특히 가변적 부피로, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위하여 형성된 용매 저장소, 여기서 제작 기판 및 결합층이 상기 용매 저장소에 수용될 수 있으며; 용매를 용매 저장소에 전달하기 위한 전달 수단; 및 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하기 위한 박리 수단에 의해 실시된다.
또한 본 발명은 필름 프레임과 상기 필름 프레임에 연결된 가요성 필름에 의해 형성되며, 결합층을 분리하기 위한 용매를 보유하기 위한 용매 저장소를 형성하고; 뿐만 아니라 제작 기판 및 결합층을 용매 저장소에 고정하고; 그리고 용매를 용매 저장소에 전달하고; 그리고 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리함으로써, 제작 기판을 캐리어 기판으로부터 박리하는 방법에 관한 것이다.
摘要翻译：一种用于通过粘合层将制造的衬底从与制造的衬底连接的载体衬底上剥离的设备，所述设备包括：膜框架; 连接到所述薄膜框架和性别具有用于在膜的接触表面部分中的产生的基板固定的粘合剂层，所述柔性膜是柔性耦合到膜框架中围绕所述接触表面部分膜膜柔性的安装部分。以及在由薄膜框架和膜中，为了保持溶剂，接合层，其特征在于，在生产基片和粘结层可以被容纳在储存溶剂分离设置的溶剂储存特定一个可变容积; 用于将溶剂输送到溶剂储存器的输送装置; 剥离装置用于从载体基板上剥离制造的基板。

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