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1. 发明授权

KR101321323B1 가스 공급 장치 有权
标题翻译：气体供应装置
公开(公告)号：KR101321323B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020087022812
申请日：2007-02-15
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 노쓰필립 , 맨슨데이비드폴
IPC分类号： F16K3/32 , F16K11/065 , F16K11/085
CPC分类号： F16K11/0856 , F16K11/0655
摘要： 퍼지 가스 유동의 펌핑 구조체로의 공급 및 측정을 위한 장치가 개시된다. 상기 장치는 가스 입구(106), 및 각각 가스를 상기 펌핑 구조체의 각 포트로 공급하기 위한 복수의 가스 출구(110)를 구비하는 매니폴드(104)와, 상기 입구와 출구 사이에 배치되는 유동 선택기(120)로서, 다양한 크기의 이격된 복수의 구멍(130)을 구비하고 제 1 세트의 구멍이 상기 입구 및 출구와 정렬되는 일 위치로부터 제 2 세트의 구멍이 상기 입구 및 출구와 정렬되는 다른 위치로 상기 매니폴드에 대해 상대적으로 이동 가능하여 유동 선택기로의 가스의 유량 및 상기 유동 선택기로부터의 가스의 유량을 변경할 수 있으며 상기 가스 유량을 상기 입구와 정렬된 구멍에 걸쳐 측정할 수 있는, 상기 유동 선택기를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020130141649A 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함한 스테이터 배열체를 구비하는 펌프 审中-实审
标题翻译：具有包括第一部分和第二部分的定位装置的泵
公开(公告)号：KR1020130141649A
公开(公告)日：2013-12-26
申请号：KR1020137018978
申请日：2012-01-17
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 다운햄스테판에드워드 , 맨슨데이비드폴 , 파웰휴
IPC分类号： F04C18/16 , F04C29/04 , F04C25/02 , F01C21/10
CPC分类号： F04C29/04 , F01C21/10 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F04C2230/21 , F04C2280/04 , F05C2251/00 , F05C2251/048 , Y10T29/49245
摘要： 본 발명은 로터 배열체(64) 및 스테이터 배열체(66)를 포함하는 펌프(62)에 관한 것이다. 스테이터 배열체는, 사용시에 스테이터 배열체의 입구(72)로부터 출구(74)로 유체를 펌핑하기 위해 로터 배열체에 의해 스위핑되는 용적부(70)를 규정하는 내식성 재료로 이루어진 제 1 부분(68)을 포함한다. 스테이터 배열체의 제 2 부분(76)은, 제 1 부분에서 발생된 열이 두 부분 사이의 계면(78)에서 제 2 부분에 전달될 수 있도록 제 1 부분(68)을 에워싸는 열전도성 재료로 이루어진다. 제 2 부분(76)의 내부에는, 스테이터 배열체를 냉각하기 위한 액체 냉각제에 제 2 부분으로부터 열이 전달될 수 있도록, 제 2 부분을 통해 액체 냉각제를 반송하는 적어도 하나의 덕트(80)가 형성되어 있다.

3. 发明公开

KR1020080104154A 가스 공급 장치 有权
标题翻译：气体供应装置
公开(公告)号：KR1020080104154A
公开(公告)日：2008-12-01
申请号：KR1020087022812
申请日：2007-02-15
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 노쓰필립 , 맨슨데이비드폴
IPC分类号： F16K3/32 , F16K11/065 , F16K11/085
CPC分类号： F16K11/0856 , F16K11/0655
摘要： Apparatus is described for supplying and measuring a purge gas flow to a pumping arrangement, the apparatus comprising a manifold (104) having a gas inlet (106) and a plurality of gas outlets (110) each for supplying gas to a respective port of the pumping arrangement, and a flow selector (120) between the inlet and the outlets, the flow selector having a plurality of spaced apertures (130) of various sizes and being moveable relative to the manifold from one position in which a first set of the apertures is aligned with the inlet and the outlets to another position in which a second set of the apertures is aligned with the inlet and the outlets to vary the flow rate of gas into and from the flow selector, and enable the gas flow rate to be measured across the aperture aligned with the inlet. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：描述了用于供应和测量向泵送装置的净化气体流的装置，该装置包括具有气体入口（106）和多个气体出口（110）的歧管（104），每个气体出口（110）用于将气体供应到抽吸装置和在入口和出口之间的流量选择器（120），流量选择器具有多个不同尺寸的间隔开的孔（130），并且可相对于歧管从一个位置移动，在该位置处，第一组孔与入口和出口对准到另一位置，其中第二组孔与入口和出口对准，以改变气体流入和流出选择器的流量，并使气体流量得以测量穿过与入口对准的孔。 ®KIPO＆WIPO 2009

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