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1. 发明公开

KR1020170037504A 메탈 마스크 제조 방법 审中-实审
标题翻译：金属掩模制造方法
公开(公告)号：KR1020170037504A
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020160100059
申请日：2016-08-05
申请人： 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤
发明人： 고노가츠미 , 다카야모토하루
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/04 , B23K26/21
CPC分类号： H01L51/56 , B23K26/21 , C23C14/042 , H01L51/0011
摘要： 박막메탈시트(8)를마스크프레임(4)에레이저용접하여메탈마스크(2)를제조하는메탈마스크제조방법으로서, 상기박막메탈시트보다두께가두껍고, 또한상기박막메탈시트의두께의 5배이하의두께의중간메탈시트(6)를상기마스크프레임에탑재하는제 1 탑재공정과, 상기마스크프레임에탑재된상기중간메탈시트를상기마스크프레임에레이저용접하는제 1 용접공정과, 상기마스크프레임에탑재된상기중간메탈시트위에상기박막메탈시트를탑재하는제 2 탑재공정과, 상기중간메탈시트에탑재된상기박막메탈시트를상기중간메탈시트에레이저용접하는제 2 용접공정을포함한다.
摘要翻译：一种用于通过将薄金属片（8）激光焊接到掩模框架（4）来制造金属掩模（2）的方法，该方法包括以下步骤：形成比金属薄片（8）厚的薄金属片第一焊接步骤，将安装在掩模框架上的中间金属片激光焊接到掩模框架;以及第二焊接步骤，将中间金属片激光焊接到掩模框架，第二安装步骤，将薄金属片安装在安装在中间金属片上的中间金属片上;以及第二焊接步骤，将安装在中间金属片上的金属薄片激光焊接到中间金属片。

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