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    • 4. 发明公开
    • 발광 장치의 제조 방법
    • 制造发光装置的方法
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    • H01L51/56H05B33/10
    • H05B33/10H01L51/0005H01L51/56
    • 유기 EL층이 되는 도포액(17)을 저류하는 탱크(14)와 연통되고 이 탱크(14)로부터 공급되는 도포액(17)을 토출하는 노즐(13)을, 상기 노즐(13)의 상방에 배치되는 지지 기판을 포함하는 피도포체(19)에 근접시키고, 노즐(13)로부터 토출되는 도포액(17)을 피도포체(19)에 접액하고, 피도포체(19)에 도포액(17)이 접액한 상태에서 피도포체(19)와 노즐(13)을 상대 이동시켜 도포액(17)을 도포 성막하여 유기 EL층을 형성하는 공정을 포함하며, 도포액(17)을 접액한 후 피도포체(19)와 노즐(13)을 상대 이동하기 전에, 도포액(17)이 접액한 상태를 유지한 채, 피도포체(19)와 노즐(13)의 상대 이동을 개시할 때의 탱크(14)의 위치보다도 탱크(14)를 하강시키고, 그 후 피도포체(19)와 노즐(13)의 상대 이동을 개시할 때의 탱크(14)의 위치까지 탱크(14)를 상승시키는 발광 장치의 제조 방법� � 제공한다. 이에 의해, 캐필러리 코팅법에 의해 막 두께의 불균일을 억제한 유기 EL층을 형성하는 것이 가능한 발광 장치의 제조 방법이 제공된다.