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1. 发明授权

KR100830626B1 압전부재, 액츄에이터 장치, 액체분사 헤드 및 액체분사장치 有权
标题翻译：压电元件，执行器装置，液体喷射头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR100830626B1
公开(公告)日：2008-05-20
申请号：KR1020060027935
申请日：2006-03-28
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미코지
IPC分类号： H01L41/02
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/11 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 우수한 변위 특성을 발휘하는 압전부재, 액츄에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치가 구비되고; 상기 압전부재는 하부 전극과, 압전층 및 상부 전극을 구비하며, 상기 압전부재에서 압전층의 정면 표면에 존재하는 (100), (110) 및 (111) 면에 대한 상기 동일한 표면에 존재하는 (100) 면의 비율은 70% 이상이고, 상기 압전부재에서 상기 압전층의 정면 표면에 직교하는 수직 표면에 존재하는 (100), (110), (210), (111) 및 (211) 면에 대한 상기 동일한 표면에 존재하는 (100), (110) 및 (210) 면의 비율이 80% 이상인 것을 특징으로 한다.

2. 发明授权

KR102017975B1 잉크젯 헤드 및 잉크젯 프린터 有权
公开(公告)号：KR102017975B1
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：KR1020177030844
申请日：2016-03-16
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 히라이에이주 , 하마구치도시아키 , 나가누마요이치 , 다카베모토키
IPC分类号： B41J2/14 , B41J2/045

3. 发明公开

KR1020070099451A 액추에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치 无效
标题翻译：执行器装置，液体喷射头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020070099451A
公开(公告)日：2007-10-09
申请号：KR1020070032188
申请日：2007-04-02
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미고지 , 노구치모토히사 , 요코야마나오토 , 사이토다케시
IPC分类号： H02N2/02 , B41J2/045 , H01L41/02
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
摘要： An actuator device, a liquid-jet head and a liquid-jet apparatus are provided to prevent the displacement of a piezoelectric element from being lowered caused by residual polarization of a piezoelectric body layer. An actuator device includes a vibration plate(50), a lower electrode, and a piezoelectric element. A passage-forming substrate(10) is composed of a single crystal silicon substrate having a plane orientation and a plurality of pressure generating chambers(12) is disposed in a width direction of the passage-forming substrate(10). The vibration plate(50) including an elastic film(51) is formed on one side surface of the passage-forming substrate(10). One side surface of the pressure generating chamber(12) is composed of the vibration plate(50). A communicating portion(13) is formed in an area outside a lengthwise direction of the pressure generating chamber(12) of the passage-forming substrate(12). The communicating portion(13) constitutes a part of a reservoir serving as an ink chamber. An ink supply path(14) is formed in a width smaller than the pressure generating chamber(12).
摘要翻译：提供致动器装置，液体喷射头和液体喷射装置，以防止压电元件的位移由于压电体层的残余极化而引起的降低。致动器装置包括振动板（50），下电极和压电元件。通道形成基板（10）由具有平面取向的单晶硅基板和在通道形成基板（10）的宽度方向上设置的多个压力产生室（12）构成。包括弹性膜（51）的振动板（50）形成在通道形成基板（10）的一个侧表面上。压力发生室（12）的一个侧表面由振动板（50）构成。在通道形成基板（12）的压力发生室（12）的长度方向外的区域中形成有连通部（13）。连通部分（13）构成用作墨水室的储存器的一部分。供墨路径（14）形成为比压力发生室（12）小的宽度。

4. 发明授权

KR100741215B1 압전 요소, 액츄에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사장치 有权
标题翻译：压电元件，执行器装置，液体喷射头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR100741215B1
公开(公告)日：2007-07-19
申请号：KR1020060027468
申请日：2006-03-27
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미코지
IPC分类号： H01L41/02 , B41J2/045
CPC分类号： B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/11 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 제공된 것은, 우수한 변위 특성을 나타내는 압전 요소, 액츄에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치이고; 상기 압전 요소는 하부 전극, 압전층 및 상부 전극으로 형성되며, 상기 압전층이 광각 X-레이 회절 방법에 의해 측정될 때, (100) 평면의 절반 폭이 0.2도보다 크지 않고, (200) 평면의 절반 폭이 0.25도보다 작지 않은 것이다.

5. 发明公开

KR1020170130585A 잉크젯 헤드 및 잉크젯 프린터 审中-实审
标题翻译：喷墨头和喷墨打印机
公开(公告)号：KR1020170130585A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：KR1020177030844
申请日：2016-03-16
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 히라이에이주 , 하마구치도시아키 , 나가누마요이치 , 다카베모토키
IPC分类号： B41J2/14 , B41J2/045
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14491
摘要： 잉크젯헤드는, 노즐에각각연통되는복수의압력실이형성되어있는압력실형성기판; 각각의압력실의일측면을구획하고, 구획영역의변형을허용하는진동판; 압력실에대응하는영역에서, 진동판의압력실측과는반대측의면으로부터순서대로제 1 전극층, 압전체층및 제 2 전극층을적층하여형성되는압전소자; 및진동판과의사이에복수의범프전극이개재된상태에서진동판에대해간격을두고배열되며, 압전소자를구동하는신호를출력하는회로기판을포함하고, 제 1 전극층은각각의압전소자마다독립하여형성되고, 제 2 전극층은복수의압전소자에걸쳐서연속하여형성되며, 범프전극중 적어도일부는구획영역외측의영역에서제 1 전극층및 제 2 전극층과전기적으로접속되어있다.
摘要翻译：该喷墨头包括：压力室形成基板，其具有与喷嘴连通的多个压力室; 隔膜分隔每个压力室的一侧并允许分隔区域的变形; 在对应于压力室的区域中，压电元件是通过层叠第一电极层，压电体层和第二电极层形成与隔膜压力室侧，为了从在相反侧的表面上; 和布置在间隔上的多个突起电极的振动板的夹持状态下的振动板之间，包括用于驱动压电元件输出的信号的电路板，并且所述第一电极层是独立于每个压电元件的形成，第二电极层可以连续地在多个压电元件形成时，至少焊盘电极的一部分被连接到第一电极层和第二电极层和电在外部划分区域的面积。

6. 发明授权

KR100859911B1 유전체 막의 제조 방법 및 압전체 소자의 제조 방법 및액체 분사 헤드의 제조방법, 유전체 막, 압전체 소자, 및액체 분사 장치 有权
标题翻译：制造电介质膜的方法，制造压电元件的方法，用于制造液体喷射头的方法，介电膜，压电元件和液体喷射装置
公开(公告)号：KR100859911B1
公开(公告)日：2008-09-23
申请号：KR1020060028733
申请日：2006-03-30
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 쿠리키아키라 , 스미코지 , 카자마히로노부 , 다카베모토키 , 노구치모토히사
IPC分类号： H01L41/18 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/318 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , C23C18/1216 , C23C18/1283 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49155
摘要： 비교적 용이하게 결정 상태를 제어하여, 항상 안정된 특성을 얻을 수 있는 유전체 막의 제조 방법 및 압전 소자의 특성을 향상할 수 있는 압전 소자의 제조 방법을 제공한다.
적어도 납 성분을 포함한 유전체 막을 구성하는 금속을 포함하는 유기 금속 화합물을 함유하는 콜로이드 용액을 도포하여 유전체 전구체 막을 형성하는 도포 공정과, 이 유전체 전구체 막을 건조하는 건조 공정과, 상기 유전체 전구체 막을 탈지하는 탈지 공정과, 상기 유전체 전구체 막을 구워 유전체 막으로 하는 소성 공정을 포함하고, 상기 건조 공정은 상기 유전체 전구체 막을 상기 재료의 주 용매인 용제의 끓는점보다도 낮은 온도로 가열하여 일정시간 유지함으로써 건조시키는 제1건조 공정과 상기 유전체 전구체 막을 140℃~170℃의 범위에서 건조시키는 제2건조 공정을 포함하며, 상기 탈지 공정은 탈지의 온도가 350℃~450℃로 됨과 함께 승온률이 15[℃/sec] 이상으로 되며, 상기 소성 공정은 승온률이 100[℃/sec]~150[℃/sec]로 된다.

7. 发明公开

KR1020060105538A 유전체 막의 제조 방법 및 압전체 소자의 제조 방법 및액체 분사 헤드의 제조방법, 유전체 막, 압전체 소자, 및액체 분사 장치 有权
标题翻译：制造电介质膜的方法，制造压电元件的方法，用于制造液体喷射头的方法，介电膜，压电元件和液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020060105538A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：KR1020060028733
申请日：2006-03-30
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 쿠리키아키라 , 스미코지 , 카자마히로노부 , 다카베모토키 , 노구치모토히사
IPC分类号： H01L41/18 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/318 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , C23C18/1216 , C23C18/1283 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49155
摘要： A method for producing a dielectric film, comprising: a coating step of coating a colloidal solution containing an organometallic compound containing a metal constituting a dielectric film (70) containing at least a lead component to form a dielectric precursor film (71); a drying step of drying the dielectric precursor film; a degreasing step of degreasing the dielectric precursor film; and a sintering step of sintering the dielectric precursor film to form a dielectric film, and wherein the drying step includes a first drying step of heating the dielectric precursor film to a temperature lower than the boiling point of a solvent, which is a main solvent of the material, and holding the dielectric precursor film at the temperature for a certain period of time to dry the dielectric precursor film, and a second drying step of drying the dielectric precursor film at a temperature in the range of 140°C to 170°C, the degreasing step is performed at a degreasing temperature of 350°C to 450°C and at a heating-up rate of 15 [°C/sec] or higher, and the sintering step is performed at a heating-up rate of 100 [°C/sec] to 150 [°C/sec].

8. 发明授权

KR100764355B1 액추에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치 有权
标题翻译：致动器装置，液体喷头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR100764355B1
公开(公告)日：2007-10-08
申请号：KR1020060063880
申请日：2006-07-07
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미코지 , 요코야마나오토
IPC分类号： H01L41/04 , H01L41/09
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/20 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 분극 방향의 요동을 억제한, 일그러짐이 없는 상태의 결정으로 이루어진 압전체층을 구비한 액추에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치를 제공한다. 실리콘 단결정 기판 상에 설치된 이산화실리콘과, 이산화실리콘 상에 설치된 적어도 한층의 버퍼층(56)과, 이 버퍼층(56) 상에 설치된 면방위 (100)의 란탄 니켈 옥사이드로 이루어진 베이스층(57)을 가지며, 또한 이 베이스층 상에 설치된 면방위 (100)의 백금으로 이루어진 하부 전극(60)과, 이 하부 전극(60) 상에 에피택셜 성장에 의해 형성되며 결정계가 정방정계 (tetragonal system), 단사정계 (monoclinic system) 및 능면체정계 (rhombohedral system) 로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 한 종류의 결정계가 다른 결정계에 우선하고 있는 결정계를 가지는 동시에 면방위가 (100)배향인 강유전체층으로 이루어진 압전체층(70)과, 이 압전체층(70) 상에 설치된 상부 전극(80)으로 이루어진 압전 소자(300)를 구비한다.
摘要翻译：液体喷射头和液体喷射装置具备由晶体构成的压电体层，该压电体层在没有变形的状态下抑制偏振方向的变动。在缓冲层56上设置有面取向为100的镧氧化镍构成的基底层57和设置在缓冲层56上的由镧镍氧化物构成的基底层57，在基底层上设置有由平面取向为100的铂制成的下电极60和在下电极60上外延生长并具有四方晶系结构的下电极60，一个由铁电层构成的压电层70，该铁电层具有晶体系统，其中至少一种选自单斜晶系和菱形晶系的晶系具有优于其它晶系的优点，并且，压电元件300由设置在压电体层70上的上部电极80构成。

9. 发明公开

KR1020070006605A 액추에이터 장치, 액체 분사 헤드 및 액체 분사 장치 有权
标题翻译：执行器装置，液体喷射头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020070006605A
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：KR1020060063880
申请日：2006-07-07
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미코지 , 요코야마나오토
IPC分类号： H01L41/04 , H01L41/09
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/20 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： An actuator apparatus is provided to completely orient a plane by including a piezoelectric layer made of an undistorted crystal capable of controlling shaking of polarization direction. A layer made of SiO2 is formed on a silicon single crystalline substrate. At least one buffer layer(56) is formed on the layer made of SiO2, made of at least ZrO2. A base layer(57) is formed on the buffer layer, made of LNO with a plane orientation of (100). A lower electrode(60) is formed on the base layer, made of Pt having a plane orientation of (100). A piezoelectric layer(70) is formed on the lower electrode by an epitaxial growth method, made of a ferroelectric layer having a plane orientation of (100). The piezoelectric layer has a crystal system in which at least one crystal system selected from a group composed of a tetragonal system, a monoclinic system and a rhombohedral system takes precedence of another crystal system. An upper electrode(80) is formed on the piezoelectric layer.
摘要翻译：提供致动器装置以通过包括由能够控制偏振方向的振动的未失真晶体制成的压电层来完全定向平面。在硅单晶衬底上形成由SiO 2制成的层。在由至少ZrO 2制成的SiO 2层上形成至少一个缓冲层（56）。在由LNO制成的平面取向为（100）的缓冲层上形成基底层（57）。在基底层上形成下电极（60），该平面取向为（100）的Pt制成。通过由平面取向为（100）的铁电体层制成的外延生长法在下部电极上形成压电体层70。压电层具有晶体系统，其中从由四方晶系，单斜晶系和菱方体组成的组中选择的至少一种晶体系统优先于另一晶体系。在压电层上形成上电极（80）。

10. 发明公开

KR1020060104932A 압전부재, 액츄에이터 장치, 액체분사 헤드 및 액체분사장치 有权
标题翻译：压电元件，致动器装置，液体喷射头和液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020060104932A
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020060027935
申请日：2006-03-28
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 다카베모토키 , 스미코지
IPC分类号： H01L41/02
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/11 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： Provided are a piezoelectric element (300), an actuator device, a liquid-jet head and a liquid-jet apparatus which exhibit excellent displacement characteristics; and the piezoelectric element (300) is configured of a lower electrode (60), a piezoelectric layer (70) and an upper electrode (80), in which piezoelectric element (300) the proportion of the (100) planes present in the face surface of the piezoelectric layer (70) to the (100), (110) and (111) planes present therein is not less than 70%, and in which piezoelectric element (300) the proportion of the (100), (110) and (210) planes present in the vertical surface orthogonal to the face surface of the piezoelectric layer (70) to the (100), (110), (210), (111) and (211) planes present therein is not less than 80%.
摘要翻译：表现出优异的位移特性的压电元件，致动器装置，液体喷射头和液体喷射装置; 压电元件包括下电极，压电层和上电极，其中压电元件包括（100），（110）和（111）中的至少一个，（100），（110），（210），（111）和（211）平面存在于垂直于压电层中的压电层的前表面的垂直表面上存在于同一表面上的（100），（110）和（210）平面为80％或更多。

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