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热词
    • 5. 发明公开
    • 플라즈마 처리 설비
    • 等离子体加工设备
    • KR1020070075138A
    • 2007-07-18
    • KR1020060003561
    • 2006-01-12
    • 삼성전자주식회사
    • 최준성
    • H01L21/3065
    • H01J37/32522
    • Plasma processing equipment is provided to activate plasma ions by a temperature difference between the upper and the lower portions of a process chamber by maintaining a uniform temperature in the upper portion of the process chamber. A chamber lid(120) is disposed on a process chamber(110) in which plasma is formed. A chuck(132) on which a wafer is placed is installed in the process chamber. A pipe(180) is connected to the chamber lid. A temperature control unit(170) circulates constant temperature fluid, connected to the chamber lid by the pipe and including a thermomodule using Peltier effect. The temperature control unit can include a first temperature detecting unit connected to the chuck and a second temperature detecting unit connected to the pipe.
    • 提供等离子体处理设备,通过在处理室的上部保持均匀的温度,通过处理室的上部和下部之间的温度差来激活等离子体离子。 室盖(120)设置在其中形成等离子体的处理室(110)上。 在其中放置晶片的卡盘(132)安装在处理室中。 管(180)连接到室盖。 温度控制单元(170)循环恒温流体,通过管连接到室盖,并且使用珀尔帖效应包括热模块。 温度控制单元可以包括连接到卡盘的第一温度检测单元和连接到管道的第二温度检测单元。
    • 7. 发明公开
    • 자기 공명 영상 장치 및 자기 공명 영상 획득 방법
    • 磁共振成像装置和磁共振成像方法
    • KR1020180026207A
    • 2018-03-12
    • KR1020160113277
    • 2016-09-02
    • 삼성전자주식회사
    • 최준성김영범
    • A61B5/055G01R33/56
    • G01R33/5615G01R33/4818G01R33/561G01R33/5618G01R33/56518G01R33/56554A61B5/055G01R33/5602
    • 복수개의반복시간(TR)을포함하는다중에코펄스시퀀스를이용하여자기공명영상을획득하기위한장치가개시된다. 자기공명영상을획득하기위한장치는다중에코펄스시퀀스에기초하여획득된 MR 신호를저장하는메모리및 복수개의반복시간중 인접한두 개의반복시간에있어서, 제1 에코시간(TE1) 및제2 에코시간(TE2) 중적어도하나의값이상이하도록, 복수개의반복시간에포함된제1 에코시간및 제2 에코시간을결정하고, 복수개의반복시간동안, 결정된제1 에코시간및 결정된제2 에코시간을포함하는다중에코펄스시퀀스를제공하고, MR 신호에기초하여자기공명영상을획득하는영상처리부를포함할수 있다.
    • 公开了一种使用包括多个重复时间(TR)的多重回波脉冲序列来采集磁共振图像的设备。 用于获取磁共振图像的装置包括用于存储基于多回波脉冲序列获取的MR信号的存储器和用于存储第一回波时间(TE1)和第二回波时间 TE2)普遍地用于甚至一个,从而确定所述第一回波时间并且包括多个重复次数的第二回波时间,和多个重复的时间,其中包括所确定的第一回波时间和所确定的第二回波时间中的异常值 多回波脉冲序列以及用于基于MR信号采集磁共振图像的图像处理单元。