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    • 3. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
    • 薄膜晶体管板及其制造方法
    • KR1020070013816A
    • 2007-01-31
    • KR1020050068447
    • 2005-07-27
    • 삼성전자주식회사
    • 최명욱이인성변재성안기완김동혁
    • G02F1/136
    • H01L27/1248G02F1/136227G02F1/136286G02F2001/136295H01L27/124H01L27/1262
    • A thin film transistor plate and a method for fabricating the same are provided to protect gate pads and data pads from an etching solution used to form auxiliary gate pads and auxiliary data pads, and prevent stripping of a gate insulator layer and/or a passivation layer, by forming an organic layer on the gate pads and the data pads, thereby restraining inferiority of a thin film transistor plate. Gate wiring is formed on a substrate(10), including gate lines(22) extended in a first direction and gate pads(24) located at ends of the gate lines. A gate insulator layer(30) covers the gate lines. Data wiring is formed on the gate insulator layer, including data lines(62) extended in a second direction to cross the gate lines, and data pads located at ends of the data lines. A passivation layer(71) covers the gate wiring and the data wiring. An organic layer is formed on the passivation layer on the gate lines and the data lines in first thickness while being formed on the passivation layer on the gate pads and the data pads in second thickness thinner than the first thickness. First contact holes(74) are formed over the gate insulator layer, the passivation layer, and the organic layer for exposing the gate pads. Second contact holes(78) are formed over the passivation layer and the organic layer for exposing the data pads.
    • 提供薄膜晶体管板及其制造方法,以保护栅极焊盘和数据焊盘免受用于形成辅助栅极焊盘和辅助数据焊盘的蚀刻溶液的影响,并防止栅极绝缘体层和/或钝化层的剥离 通过在栅极焊盘和数据焊盘上形成有机层,从而抑制薄膜晶体管板的劣化。 栅极布线形成在基板(10)上,包括沿第一方向延伸的栅极线(22)和位于栅极线端部的栅极焊盘(24)。 栅极绝缘体层(30)覆盖栅极线。 数据布线形成在栅极绝缘体层上,包括在第二方向上延伸以跨过栅极线的数据线(62)和位于数据线端部的数据焊盘。 钝化层(71)覆盖栅极布线和数据布线。 在栅极焊盘上的钝化层上形成第一厚度的栅极线上的钝化层上的有机层和第二厚度比第一厚度薄的数据焊盘。 第一接触孔(74)形成在栅极绝缘体层,钝化层和用于暴露栅极焊盘的有机层的上方。 第二接触孔(78)形成在钝化层和有机层上,用于暴露数据焊盘。
    • 4. 发明公开
    • 표시 장치용 구동 장치
    • KR1020060077729A
    • 2006-07-05
    • KR1020040117251
    • 2004-12-30
    • 삼성전자주식회사
    • 안기완최명욱변재성박재영민훈기이인성홍성수
    • H01L29/786G09G3/36G02F1/133
    • H01L27/124G02F1/133G02F1/136286G09G3/36H01L29/4908
    • 본 발명은 표시 장치용 구동 장치에 관한 것이다.
      서로 연결되어 있으며 차례대로 출력 신호를 각각 생성하는 복수의 스테이지(stage)를 포함하는 표시 장치의 구동 장치로서, 상기 각 스테이지는 제어 전극, 상기 제어 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 제1 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층, 상기 반도체층 위에 적어도 일부분 형성되어 있는 입력 전극부, 상기 반도체층 위에 적어도 일부분 형성되어 있으며 상기 제어 전극과 중첩하는 출력 전극부, 상기 입력 전극부 및 출력 전극부 위에 형성되어 있는 보호막, 그리고 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 제어 전극과 연결되어 있고 상기 출력 전극부와 중첩하는 보조 전극을 포함하고, 상기 제어 전극은 알루미늄 네오디뮴 합금으로 이루어진 하부막과 몰리브덴으로 이루어진 상부막을 포함한다. 이와 같이, 이와 같이, 하부막을 알루미늄 네오디뮴 합금으로, 상부막을 몰리브덴으로 게이트선 및 제어 전극을 형성함으로써, 하부막의 언더컷을 예방하여 가로줄 얼룩 불량 등을 해결하여 신뢰성있는 구동 조건을 확보할 수 있다.
      표시장치, 게이트구동부, 비정질, 집적, 접촉, 저항, 언더컷
    • 6. 发明公开
    • 정전기 방지 평판 표시 패널 및 그 제조 방법
    • 用于防止静电的平板显示面板及其制造方法
    • KR1020070065066A
    • 2007-06-22
    • KR1020050125751
    • 2005-12-19
    • 삼성전자주식회사
    • 이인성변재성박정목최명욱안기완김동혁
    • G02F1/1345
    • G02F1/1345G02F1/133345G02F1/136204G02F2202/22
    • A flat display panel for preventing static electricity and a manufacturing method thereof are provided to prevent influx of static electricity into a panel and into an adjacent unit panel by forming a guard line spaced apart from a plurality of unit panels at predetermined intervals and installed in a peripheral portion of the substrate. A substrate(100) includes a plurality of unit panels spaced apart from each other at a predetermined interval. A guard line(300) prevents influx of static electricity into the plurality of unit panels. The guard line is spaced apart from the plurality of unit panels at a predetermined interval, and is installed at a peripheral portion of the substrate. The substrate is exposed at a region between the guard line and the plurality of unit panels. The guard line includes a first metal layer(310) formed on the substrate, a first insulating layer(330) formed on the first metal layer, a second metal layer(350) formed on the first insulating layer, a second insulating layer(370) formed on the second metal layer, and a third metal layer(390) formed on the second insulating layer.
    • 提供一种用于防止静电的平板显示面板及其制造方法,以通过以预定间隔形成与多个单元面板间隔开的保护线,防止静电进入面板并进入相邻单元面板,并安装在 衬底的周边部分。 衬底(100)包括以预定间隔彼此间隔开的多个单元面板。 防护线(300)防止静电进入多个单元面板。 保护线以预定间隔与多个单元面板间隔开,并且安装在基板的周边部分。 衬底暴露在保护线和多个单元面板之间的区域。 保护线包括形成在基板上的第一金属层(310),形成在第一金属层上的第一绝缘层(330),形成在第一绝缘层上的第二金属层(350),第二绝缘层 )和形成在第二绝缘层上的第三金属层(390)。
    • 8. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법
    • KR1020060082640A
    • 2006-07-19
    • KR1020050003221
    • 2005-01-13
    • 삼성전자주식회사
    • 최명욱안기완홍성수변재성
    • G02F1/136
    • G02F1/1362G02F2001/136231G02F2201/50H01L27/1288
    • 본 발명은 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에 관한 것으로서, 이 제조 방법은, 게이트선을 형성하는 단계, 게이트선 위에 게이트 절연막, 진성 반도체층, 불순물 반도체층, 그리고 도전막을 차례로 적층하는 단계, 도전막 위에 제1 부분과 제1 부분보다 두께가 얇은 제2 부분을 포함하는 감광막을 형성하는 단계, 감광막을 마스크로 하여 도전막을 1차 식각하여 데이터선을 형성하는 단계, 감광막의 제2 부분을 제거하여 도전막을 노출시키는 단계, 노출된 도전막을 2차 식각하여 드레인 전극을 형성하는 단계, 불순물 반도체층을 식각하여 저항성 접촉 부재를 형성하는 단계, 데이터선 및 드레인 전극을 덮는 보호막을 형성하는 단계, 보호막을 패터닝하여 드레인 전극을 드러내는 접촉 구멍을 형성하는 단계, 그리고 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 � ��기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이때 보호막은 유기 물질로 이루어지며, 두께는 1.5㎛ 이상이다. 본 발명에 의하면 4매 마스크를 이용하여 박막 트랜지스터 표시판을 제조할 수 있다.
      박막 트랜지스터 표시판, 마스크, 식각, 감광막, 보호막, 유기 절연막