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    • 2. 发明公开
    • 반도체 웨이퍼 마킹 시스템 및 그 제어방법
    • 半导体波形标记系统及其控制方法
    • KR1020030054887A
    • 2003-07-02
    • KR1020010085319
    • 2001-12-26
    • 삼성전자주식회사
    • 장연봉김민기현창훈
    • H01L21/02
    • PURPOSE: A semiconductor wafer marking system and a controlling method thereof are provided to form uniformly sizes of marks within a wafer region by restraining an inking operation in the outside of the wafer region. CONSTITUTION: A semiconductor wafer marking system includes an inker(50), a sensing portion(10), a computer(30), an inking control circuit(20), and an inker driving circuit(40). The sensing portion senses a position of the inker and generates a sensing signal. The computer generates the first inking control signal. The inking control circuit receives the sensing signal from the sensing portion and the first inking control signal from the computer, and generates the second inking control signal. The inker driving circuit receives the second inking control signal from the inking control circuit in order to drive the inker.
    • 目的:提供半导体晶片标记系统及其控制方法,通过限制晶片外部的上墨操作来形成晶片区域内的标记的均匀尺寸。 构成:半导体晶片标记系统包括墨水(50),感测部分(10),计算机(30),墨水控制电路(20)和墨水驱动电路(40)。 感测部分感测着墨机的位置并产生感测信号。 计算机生成第一个上墨控制信号。 上墨控制电路从计算机接收来自感测部分的感测信号和第一上墨控制信号,并产生第二上墨控制信号。 上墨机驱动电路从着墨控制电路接收第二上墨控制信号,以便驱动墨水器。