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1. 发明公开

KR1020050021853A 원자간력 현미경 失效
标题翻译：根据外围条件轻松切换的原子力显微镜
公开(公告)号：KR1020050021853A
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020030059909
申请日：2003-08-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최희환 , 김상갑 , 김대옥 , 김중진 , 정지훈
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q10/00 , G01Q20/02
CPC分类号： G01Q60/24 , G01Q10/00 , G01Q20/02
摘要： PURPOSE: An atomic force microscope is provided to easily and simply exchange a cantilever of the atomic force microscope by allowing a plurality of cantilevers to be exchanged in one-step operation. CONSTITUTION: An atomic force microscope includes a scanner(20) and a plurality of cantilevers(30) attached to the scanner(20). The cantilevers(30) are rotated by means of a driving unit(40). Probes(32) are provided at end portions of the cantilevers(30) in such a manner that the probes(32) are moved up and down based on interaction between the probes(32) and a surface of a sample(50). A light source(60) is provided at an upper portion of the cantilevers(30) to radiate light towards the cantilevers(30). A photo detector(70) is provided to detect the surface of the sample(50).
摘要翻译：目的：提供一种原子力显微镜，通过允许多个悬臂在一步操作中更换，便于简单地更换原子力显微镜的悬臂。构成：原子力显微镜包括扫描器（20）和附接到扫描器（20）的多个悬臂（30）。悬臂（30）通过驱动单元（40）旋转。探针（32）以这样的方式设置在悬臂（30）的端部，使得探针（32）基于探针（32）和样品（50）的表面之间的相互作用而上下移动。光源（60）设置在悬臂（30）的上部，以朝向悬臂（30）辐射光。提供光电检测器（70）以检测样品（50）的表面。

2. 发明授权

KR100992144B1 원자간력 현미경 失效
标题翻译：自动力显微镜
公开(公告)号：KR100992144B1
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：KR1020030059909
申请日：2003-08-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최희환 , 김상갑 , 김대옥 , 김중진 , 정지훈
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q10/00 , G01Q20/02
摘要： 본 발명은 탐침(probe)의 상하 유동에 의한 캔틸레버(cantilever)의 변형을 측정하여 시료 표면의 형상을 영상으로 획득할 수 있도록 한 원자간력 현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 스캐너에 장착되며, 일측 단부에는 시료 표면과의 상호 작용력에 의해 상하 유동되는 탐침(probe)이 부착되어 있는 캔틸레버를 포함하는 원자간력 현미경에 있어서, 캔틸레버(cantilever)(30)는 스캐너(scanner)(20)에 복수 개 장착되어, 구동수단(40)을 통한 원스텝(one step) 회전에 의해 교체 가능하도록 한 것에 그 특징이 있다. 이에 따라, 원자간력 현미경의 사용성 및 기능성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 캔틸레버의 교체에 따른 시간적 손실을 상대적으로 줄일 수 있다.

스캐너, 캔틸레버, 탐침, 구동수단, 광원, 광위치검출기

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