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    • 3. 发明公开
    • 박막 형성 장치 및 박막 형성 방법
    • 用于形成薄膜层的装置和形成薄膜层的方法
    • KR1020150081101A
    • 2015-07-13
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    • 박막형성장치및 박막형성방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따른박막형성장치는제1 유기재료가저장되는제1 저장부, 제1 저장부와연결되어제1 저장부에저장되는제1 유기재료를분사하는제1 노즐부, 제1 노즐부와인접하게배치되어, 분사된제1 유기재료를경화시키는파장을갖는광을조사하는제1 광조사부, 제2 유기재료가저장되는제2 저장부, 제1 노즐부와인접하게배치되며, 제2 저장부와연결되어제2 저장부에저장되는제2 유기재료를분사하는제2 노즐부및 제2 노즐부와인접하게배치되어, 분사된제2 유기재료를경화시키는파장을갖는광을조사하는제2 광조사부를포함한다.
    • 提供一种薄膜形成装置和薄膜形成方法。 根据本发明的一个实施例的用于形成薄膜的设备包括:用于存储第一有机材料的第一存储单元; 连接到第一存储单元并用于注入存储在第一存储单元中的第一有机材料的第一喷嘴单元; 第一光照射单元,其布置成与所述第一喷嘴相邻并且用于照射具有波长的光以固化所述注入的第一有机材料; 用于存储第二有机材料的第二存储单元; 连接到第二存储单元并用于注入存储在第二存储单元中的第二有机材料的第二喷嘴单元; 以及与第二喷嘴单元相邻设置并且用于照射具有波长的光以固化注入的第二有机材料的第二光照射单元。