专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020040111336A 반사식 공간 광 변조기의 구조 有权
标题翻译：反射式空间光调制器的结构
公开(公告)号：KR1020040111336A
公开(公告)日：2004-12-31
申请号：KR1020047006930
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02F1/01 , G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 본 발명은 제1 기판(105)으로 제조된 선택적으로 반사하는 편향가능한 마이크로 미러 배열체(103) 판(202)을 가지는 공간 광 변조기(100)이다. 다른 기판 상에는 마이크로 미러 배열체(103)용 주소 지정 및 제어 회로(106)가 있는데, 이는 제어 회로(106)가 마이크로 미러 판(204)과 관련된 선택된 전극(126)에 인가되는 전압을 제어할 수 있게 한다. 통상적으로, 제어 회로(106)는 디스플레이 제어부(108), 라인 메모리 버퍼(110), 펄스 폭 변조 배열체(112), 및 비디오 신호(120) 및 그래픽 신호(122)를 위한 입력부를 포함한다. 또한, 미러 배열체 기판(105)은 스페이서 지지 프레임(210) 및 힌지(206)를 가지며, 정전기력이 마이크로 미러 배열체 판(204)에 인가될 때, 이에 부착된 힌지는 미러 판(204)이 스페이서 지지 프레임(210)에 대해 회전할 수 있게 한다. 상기 회전은 선택된 방향으로의 반사광을 위한 각 편향을 발생시킨다. 제1 및 제2 기판은 서로 접합된다.

2. 发明授权

KR100582142B1 반사식 공간 광 변조기 有权
标题翻译：反射空间光调制器
公开(公告)号：KR100582142B1
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020047006929
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要： 예컨대, 반사식 공간 광 변조기에 유용한 마이크로 미러 배열체이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 스페이서 지지 벽, 수직형 비틀림 힌지, 및 미러 판을 포함하며, 이들은 모두 단일 웨이퍼로 제조된다. 마이크로 미러 배열체는 큰 충전율을 가진다.
미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임, 커넥터, 비틀림 스프링

3. 发明公开

KR1020040111335A 반사식 공간 광 변조기 有权
标题翻译：反射空间光调制器
公开(公告)号：KR1020040111335A
公开(公告)日：2004-12-31
申请号：KR1020047006929
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要： 예컨대, 반사식 공간 광 변조기에 유용한 마이크로 미러 배열체이다. 일 실시예에서, 마이크로 미러 배열체는 스페이서 지지 벽, 수직형 비틀림 힌지, 및 미러 판을 포함하며, 이들은 모두 단일 웨이퍼로 제조된다. 마이크로 미러 배열체는 큰 충전율을 가진다.

4. 发明授权

KR100652857B1 반사식 공간 광 변조기의 구조 有权
标题翻译：反射空间光调制器的结构
公开(公告)号：KR100652857B1
公开(公告)日：2006-12-01
申请号：KR1020047006930
申请日：2003-05-30
申请人： 미라디아 인크.
发明人： 판샤오허엑스. , 첸동민 , 양샤오 , 짱쇼우쳉
IPC分类号： G02F1/01 , G02F1/015
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 본 발명은 제1 기판(105)으로 제조된 선택적으로 반사하는 편향가능한 마이크로 미러 배열체(103) 판(202)을 가지는 공간 광 변조기(100)이다. 다른 기판 상에는 마이크로 미러 배열체(103)용 주소 지정 및 제어 회로(106)가 있는데, 이는 제어 회로(106)가 마이크로 미러 판(204)과 관련된 선택된 전극(126)에 인가되는 전압을 제어할 수 있게 한다. 통상적으로, 제어 회로(106)는 디스플레이 제어부(108), 라인 메모리 버퍼(110), 펄스 폭 변조 배열체(112), 및 비디오 신호(120) 및 그래픽 신호(122)를 위한 입력부를 포함한다. 또한, 미러 배열체 기판(105)은 스페이서 지지 프레임(210) 및 비틀림 스프링 힌지(206)를 가지며, 정전기력이 마이크로 미러 배열체 판(204)에 인가될 때, 이에 부착된 힌지는 미러 판(204)이 스페이서 지지 프레임(210)에 대해 회전할 수 있게 한다. 상기 회전은 선택된 방향으로의 반사광을 위한 각 편향을 발생시킨다. 제1 및 제2 기판은 서로 접합된다.
이방성 이온 에칭, 미러 판, 힌지, 스페이서 지지 프레임, 주소 지정 및 제어 회로

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式