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    • 10. 发明公开
    • 텅스텐막 식각액 조성물 및 이를 이용한 텅스텐막의 식각방법
    • 用于调谐层的蚀刻溶液组合物和使用该层的蚀刻层的方法
    • KR1020130049505A
    • 2013-05-14
    • KR1020110114582
    • 2011-11-04
    • 동우 화인켐 주식회사
    • 명중재권기진
    • C23F1/30C23F1/10
    • C23F1/26
    • PURPOSE: An etching solution composition for a tungsten layer and a method for etching the tungsten layer using the same are provided to maintain etched amount regardless of dip time and to selectively etch metals to manufacture a semiconductor device. CONSTITUTION: An etching solution composition for a tungsten layer is composed of 1-5 wt.% of oxidizing agent, 3-8 wt.% of unsaturated dicarboxylic acid compound, and the rest of deionized water. The oxidizing agent is hydrogen peroxide or persulfate compound. The persulfate compound is composed of one or more selected from ammonium persulfate, sodium persulfate, and potassium persulfate.
    • 目的:提供用于钨层的蚀刻溶液组合物和使用其的钨层的蚀刻方法,以保持蚀刻量,而不管浸渍时间如何,并且选择性地蚀刻金属以制造半导体器件。 构成:用于钨层的蚀刻溶液组合物由1-5重量%的氧化剂,3-8重量%的不饱和二羧酸化合物和其余的去离子水组成。 氧化剂是过氧化氢或过硫酸盐化合物。 过硫酸盐化合物由选自过硫酸铵,过硫酸钠和过硫酸钾中的一种或多种组成。