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1. 发明授权

KR100840730B1 도포장치 有权
标题翻译：涂布装置
公开(公告)号：KR100840730B1
公开(公告)日：2008-06-23
申请号：KR1020010046928
申请日：2001-08-03
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： G03F7/16
摘要： 진동이 극히 적고, 균일한 두께의 도막(塗膜)을 형성할 수 있는 도포장치를 제공한다. 에어 베어링(10)의 개구(12)로부터 에어를 분출시켜 레일(8) (베이스(1))로부터 이동부재(9)를 부상시킨 상태에서 리니어 모터(14)의 코일(16)로 전기를 통하게 하고, 이동부재(9)를 레일(8)(베이스(1))에 대하여 비접촉 상태로 레일(8)(마그네트 레일(15))을 따라 이동시키면서 슬릿형 노즐 구멍으로부터 도포액을 공급한다.

2. 发明公开

KR1020030011463A 슬릿 코터의 예비토출장치 및 예비토출방법 无效
标题翻译：初步排放泥浆机的装置和方法
公开(公告)号：KR1020030011463A
公开(公告)日：2003-02-11
申请号：KR1020010046929
申请日：2001-08-03
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： B05B15/02
CPC分类号： B05C5/02
摘要： PURPOSE: Apparatus and method for preliminary discharging slit coater are provided to prevent washing solution or application solution having a density different from the slit coater from being attached to the tip end of a discharge nozzle. CONSTITUTION: The preliminary discharging apparatus(P) is used at an atmosphere state before an application work and adapted to preliminary discharge an application solution contained in an application element(21) before the application work while attaching extra application solution onto a rotating roller. In such a preliminary discharge operation, a discharge port(22) of the application element is moved as close as possible to the outer peripheral surface of the roller until there is no surface tension therebetween, and the application solution from the discharge port is attached to the outer peripheral surface of the roller. During rotation of the roller, the application solution is again discharged from the roller so as to be washed and removed.
摘要翻译：目的：提供一种用于预喷式狭缝涂布机的设备和方法，以防止具有不同于裂缝涂布机的密度的洗涤液或涂布溶液附着在喷嘴的末端。构成：预处理装置（P）在施加作业前在大气状态下使用，并且在施加工作之前预先排放包含在施加元件（21）中的施加溶液，同时将额外的施加溶液附着在旋转辊上。在这样的预备排出动作中，施加部件的排出口（22）尽可能靠近辊的外周面移动，直到其间没有表面张力，并且将来自排出口的涂布液附着于辊的外周面。在辊的旋转期间，施加溶液再次从辊排出，以便被洗涤和去除。

3. 发明公开

KR1020020018974A 도포장치 有权
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR1020020018974A
公开(公告)日：2002-03-09
申请号：KR1020010054067
申请日：2001-09-04
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： G03F7/16 , B05C5/00
CPC分类号： G03F7/16 , B05C11/10 , G03F7/0007 , H01L21/02282 , H01L21/6715
摘要： PURPOSE: To provide a coating apparatus preventing the supply amount of a coating liquid from becoming insufficient or excessive at the start time of coating. CONSTITUTION: Piping 24 is connected to a pump 2 by a joint 25 and a filter 26 is provided on the way of the piping 24. The piping 24 is constituted of a material of which the deformation is negligible even if the internal pressure of the piping becomes high by the contamination of the filter 26, for example, a metal such as stainless steel or the like or a resin such as polyphenylene sulfide(PPS) or the like.
摘要翻译：目的：提供一种防止涂布液的供给量在涂布开始时变得不充分或过量的涂布装置。构成：管路24通过接头25与泵2连接，过滤器26设置在配管24的路面上。配管24由即使管道内部压力变形也可忽略的材料构成过滤器26，例如不锈钢等金属或聚苯硫醚（PPS）等树脂的污染变高。

4. 发明公开

KR1020020018973A 도포장치의 세정방법 有权
标题翻译：清洁方法
公开(公告)号：KR1020020018973A
公开(公告)日：2002-03-09
申请号：KR1020010054066
申请日：2001-09-04
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： H01L21/304
摘要： PURPOSE: To provide a cleaning method for a coater whereby a trouble that when a new coating liquid is supplied after the cleaning of the coater, the coating liquid is diluted by a remaining liquid detergent is prevented. CONSTITUTION: The inside of a pipeline, etc., are cleaned by opening, closing, or opening and closing valves, a first valve V1 to a fourth valve V4, installed in a supply pipeline 1 for supplying a coating liquid to a coating nozzle N, in an air discharge pipeline 2 for discharging air from the coating nozzle, and in a pump-air discharge pipeline 3.
摘要翻译：目的：为了提供一种涂布机的清洁方法，由此在清洁涂布机之后，当提供新的涂布液时，可以防止涂布液被剩余的液体洗涤剂稀释。构成：通过打开，关闭或打开和关闭阀门清洁管道内部的第一阀V1至第四阀V4，该第一阀V1安装在用于向涂覆喷嘴N供应涂布液体的供应管线1中在用于从涂布喷嘴排出空气的排气管道2和泵送空气排放管线3中。

5. 发明公开

KR1020030011462A 도포장치 有权
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR1020030011462A
公开(公告)日：2003-02-11
申请号：KR1020010046928
申请日：2001-08-03
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： G03F7/16
CPC分类号： G03F7/16 , G03F7/162 , H01L21/02282 , H01L21/6715 , H01L21/67253
摘要： PURPOSE: A coating apparatus is provided, to obtain a coating having a remarkably uniform thickness, to reduce the vibration noise and to reduce the abrasion of elements owing to the non-contact between elements. CONSTITUTION: The coating apparatus comprises a base(1) provided with a table(3) where a substrate is loaded horizontally; a moving member(9) which can move via a linear motor(14) to the base; a floating means for floating the moving member to the base; an ascending/descending frame(19) supported to the moving member to allow it to ascend or descend; a coating element(21) which is set at the ascending/descending frame(19) horizontally and whose slit nozzle hole is toward the top of the table(3); and a coating solution sending pump(23) set at the moving member(9) or the ascending/descending frame(19). Preferably a pair of linear motors(14) and a pair of floating means are arranged along the moving direction of the moving means. The moving member is risen from the base by discharging air through an open hole of an air bearing(10), the current is applied to the coil(16) of the linear motor, and the coating solution is supplied from the slit nozzle hole with moving the moving member along the rail with non-contact to the rail.
摘要翻译：目的：提供一种涂覆装置，以获得具有非常均匀厚度的涂层，以减少振动噪声并且由于元件之间的非接触而减少元件的磨损。构成：涂布装置包括：底座（1），其设有台面（3），其中基底被水平地装载; 移动构件（9），其可以经由线性电动机（14）移动到所述基座; 用于将移动构件浮动到基座的浮动装置; 支撑在移动构件上以允许其上升或下降的上升/下降框架（19）; 涂覆元件（21），其水平地设置在上升/下降框架（19）处，并且其狭缝喷嘴孔朝向工作台（3）的顶部; 以及设置在移动构件（9）或上升/下降框架（19）处的涂布液送出泵（23）。优选地，沿着移动装置的移动方向布置一对线性马达（14）和一对浮动装置。移动构件通过空气轴承（10）的开孔排出空气而从基座升起，电流被施加到线性马达的线圈（16），并且从狭缝喷嘴孔供给涂布溶液沿轨道移动移动构件，非接触轨道。

6. 发明授权

KR100829084B1 도포방법 有权
标题翻译：涂层方法
公开(公告)号：KR100829084B1
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：KR1020010062349
申请日：2001-10-10
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： B05D1/26
摘要： 도포 개시 위치 및 종료 위치에서의 습식 도막(塗膜)의 후막화(厚膜化)를 개선하는 도포방법을 제공한다. 도포 개시 위치에서 슬릿 노즐 하단을 판형 피처리물의 표면에 접근시키고, 이어서, 펌프를 구동하여 슬릿 노즐 하단으로부터 판형 처리물의 표면에 도포액을 공급하여 도포액을 연결하고, 이어서, 슬릿 노즐로부터 도포액을 공급하면서 수평 이동하고, 이어서, 도포 종료 위치 또는 도포 종료 위치 직전에 슬릿 노즐을 상대적으로 하강시키면서 펌프를 역회전시켜 도포액을 흡인하여, 후막화를 개선한 습식 도막을 형성한다.

7. 发明授权

KR100786227B1 도포장치 有权
标题翻译：涂布装置
公开(公告)号：KR100786227B1
公开(公告)日：2007-12-17
申请号：KR1020010054067
申请日：2001-09-04
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： G03F7/16 , B05C5/00
摘要： 도포 개시시에 도포액의 공급량이 부족하거나 필요 이상으로 공급되지 않도록 하는 도포장치를 제공한다. 배관(24)은 커플링(25)에 의해 펌프(22)에 접속되고, 그 배관의 중도에는 필터(26)가 설치되어 있다. 그리고, 배관(24)은 필터(26)가 오염되어 배관의 내부압이 높아져도 변형이 무시될 수 있는 재료, 예를 들면, 스테인레스 강 등의 금속 또는 폴리페닐렌설파이드(PPS) 등의 수지로 구성되어 있다.

8. 发明公开

KR1020020028829A 도포방법 有权
标题翻译：涂料方法
公开(公告)号：KR1020020028829A
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：KR1020010062349
申请日：2001-10-10
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： B05D1/26
摘要： PURPOSE: A coating method is provided to alleviate increase in its thickness of a wet coating film in the position where the coating begins and in the position where the coating ends. CONSTITUTION: A wet film alleviated in the phenomenon of increasing in its thickness in the specified positions is formed by approaching the lower end of a slit nozzle to the surface of a substrate in the position where the coating begins, running a pump to feed a coating fluid to the surface of the substrate from the lower end of the nozzle to thereby connect the fluid, horizontally moving the nozzle while feeding the fluid, and reversely running the pump to relative descend the nozzle to such the fluid in or just before the position where the coating ends.
摘要翻译：目的：提供一种涂覆方法，以减轻涂层开始位置和涂层终止位置湿涂层厚度的增加。构成：在指定位置的厚度增加现象中减轻湿膜的形成是通过在涂层开始的位置接近狭缝喷嘴的下端到基底的表面，运行泵以给涂层流体从喷嘴的下端流到基板的表面，从而连接流体，在供给流体的同时水平地移动喷嘴，并且在泵的相对运行期间将喷嘴相对下降到这样的流体，涂层结束。

9. 发明授权

KR100799691B1 도포장치의 세정방법 有权
标题翻译：一种涂布装置的清洗方法
公开(公告)号：KR100799691B1
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：KR1020010054066
申请日：2001-09-04
申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 나가사와코이치 , 테라모토카즈마
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 세정후에 새로운 도포액을 공급하는 경우 그 도포액의 농도가 남아 있는 세정액으로 희석되지 않도록 하는 도포장치의 세정방법을 제공한다. 도포 노즐(N)에 도포액을 공급하는 공급배관(1)과, 도포 노즐(N)로부터 공기를 빼기 위한 노즐내 공기빼기 배관(2), 또는 펌프내 공기빼기 배관(3)의 중도에 설치되는 제1 밸브(V1)∼제4 밸브(V4)를 개방, 폐쇄, 또는 개폐동작시키는 것으로 배관 내부 등을 세정한다.

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