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1. 发明公开

KR1019980018704A 카세트챔버 失效
公开(公告)号：KR1019980018704A
公开(公告)日：1998-06-05
申请号：KR1019970038983
申请日：1997-08-14
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아사카와데루오 , 사에키히로아키 , 이즈카요지 , 마쓰시마게이치
IPC分类号： H01L21/02
摘要： l. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
카세트 챔버
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
파티클의 발생을 억제하면서, 수평으로 누워진 카세트 C를 수직으로 일으키면서 챔버내로 반입하여 웨이퍼 반출입구를 반송아암의 억세스 방향으로 향하는 것이 가능한 구동기구를 구비한 간단한 구조의 카세트 챔버를 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명의 카세트 챔버는, 복수의 피처리체를 유지하는 카세트가 수용되는 공간을 형성하는 하우징과; 하우징내로 승강이 가능하게 설치되고, 회전이 가능한 샤프트를 가지는 승강대와; 샤프트에 고정되고, 샤프트의 길이방향에 대하여 소정의 각도를 이루는 보조대와; 승강대에 얹어놓이고 카세트의 바닥면을 받는 바닥면 지지부와, 보조대에 회동가능하게 지지되고 카세트의 뒷면을 받는 뒷면지지부를 가지는 카세트 지지대와;승강대의 승강동작에 따라서 샤프회전시킴으로써, 보조대와 카세트 지지대를, 하우징내의 제1의 위치와 하우징외의 제2의 위치와의 사이에서 회전시키는 회전기구와, 회전기구에 의하여 제2의 위치에로와 회전되는 카세트 지지대의 뒷면지지부와 닿아 접하며, 뒷면지지부를 보조대에 대하여 회동시키는 것에 의하여 뒷면지지부를 샤프트와 평행으로 유지하는 지지부를 구비하고 있다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체웨이퍼등의 피처리체를 수납하는 카세트가 반출입되는 카세트 챔버에 이용됨.

2. 发明授权

KR100316820B1 카세트챔버 失效
标题翻译：卡式盒
公开(公告)号：KR100316820B1
公开(公告)日：2002-04-24
申请号：KR1019970038983
申请日：1997-08-14
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아사카와데루오 , 사에키히로아키 , 이즈카요지 , 마쓰시마게이치
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
카세트 챔버
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
파티클의 발생을 억제하면서, 수평으로 누워진 카세트 C를 수직으로 일으키면서 챔버내로 반입하여 웨이퍼 반출입구를 반송아암의 억세스 방향으로 향하는 것이 가능한 구동기구를 구비한 간단한 구조의 카세트 챔버를 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명의 카세트 챔버는, 복수의 피처리체를 유지하는 카세트가 수용되는 공간을 형성하는 하우징과, 하우징내로 승강이 가능하게 설치되고, 회전이 가능한 샤프트를 가지는 승강대와; 샤프트에 고정되고, 샤프트의 길이방향에 대하여 소정의 각도를 이루는 보조대와; 승강대에 얹어놓이고 카세트의 바닥면을 받는 바닥면 지지부와, 보조대에 회동가능하게 지지되고 카세트의 뒷면을 받는 됫면지지부를 가지는 카세트 지지대와; 승강대의 승강동작에 따라서 샤프트를 회전시킴으로써, 보조대와 카세트 지지대를, 하우징내의 제 1 의 위치와 하우징외의 제 2 의 위치와의 사이에서 회전시키는 회전기구와, 회전기구에 의하여 제 2 의 위치에로와 회전되는 카세트 지지대의 뒷면지지부와 닿아 접하며, 뒷면지지부를 보조대에 대하여 회동시키는 것에 의하여 뒷면지지부를 샤프트와 평행으로 유지하는 지지부를 구비하고 있다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체웨이퍼등의 피처리체를 수납하는 카세트가 반출입되는 카세트 챔버에이용됨.

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