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2. 发明公开

KR1020170057402A 유기 루테늄 화합물을 포함하는 화학 증착용 원료 및 해당 화학 증착용 원료를 사용한 화학 증착법 审中-实审
标题翻译：包含有机钌化合物的化学气相沉积材料和使用化学气相沉积材料的化学气相沉积材料
公开(公告)号：KR1020170057402A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：KR1020177010706
申请日：2015-09-24
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 하라다료스케 , 시게토미도시유키 , 스즈키가즈하루 , 나베야슌이치 , 소네다카유키 , 구마쿠라아키코
IPC分类号： C23C16/18 , C23C16/448 , C07F17/02 , C07F15/00 , H01L21/285
CPC分类号： C23C16/18 , C07F15/00 , C07F15/0046 , C07F17/02 , C09D1/00 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/28506
摘要： 본발명은 CVD 화합물에대한요구특성, 즉증기압이높고, 저온(약 250℃이하)에서성막가능하고, 또한, 적당한열 안정성을갖는화학증착용원료를제공한다. 본발명은화학증착법에의해루테늄박막또는루테늄화합물박막을제조하기위한화학증착용원료에있어서, 다음식으로나타내는, 루테늄에시클로헥사디에닐기또는그의유도체및 펜타디에닐기또는그의유도체가배위한유기루테늄화합물을포함하는화학증착용원료에관한것이다. 상기식 중, 치환기 R내지 R는, 각각수소원자, 쇄상또는환상의탄소수소, 아민, 이민, 에테르, 케톤, 에스테르중 어느것이다. 치환기 R내지 R의탄소수는, 각각 6 이하이다.
摘要翻译：用于CVD化合物所需的本发明的特性，即高蒸气压，并且可以在低温下（低于约250℃）来沉积，还提供一种具有合适的热稳定性的化学汽相淀积材料。本发明涉及由下面的等式示出了用于制造钌薄膜或钌化合物薄膜通过化学气相沉积，和环己酮的环戊二烯基或它们的衍生物和戊二烯基团或衍生物倍于有机钌，钌化学气相沉积材料含有化合物的化学气相沉积原料本发明涉在该式中，取代基R1至R26，每个中的任何一个为氢原子，直链或环状的碳 - 氢，胺，亚胺，醚，酮和酯。取代基R至R的碳原子数为6或更少。

3. 发明公开

KR1020170122822A 유기 백금 화합물을 포함하는 화학 증착용 원료 및 그 화학 증착용 원료를 사용한 화학 증착법 审中-实审
标题翻译：包含有机铂化合物的化学气相沉积材料和使用化学气相沉积材料的化学气相沉积方法
公开(公告)号：KR1020170122822A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020177027927
申请日：2016-05-09
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 하라다료스케 , 시게토미도시유키 , 스즈키가즈하루 , 나베야슌이치 , 구마쿠라아키코 , 고바야시루미 , 소네다카유키
IPC分类号： C23C16/18 , C23C16/455 , C07F15/00
CPC分类号： C23C16/18 , C07C211/21 , C07F15/00 , C07F15/0086 , C23C16/46 , H01L21/285 , H01L28/65 , C23C16/45553
摘要： 본발명은 2가의백금에, 알케닐아민및 알킬음이온이배위한유기백금화합물을포함하고, 하기에나타내는화학증착용원료에관한것이다. 하기에있어서, n은 1 이상 5 이하이다. 알케닐아민의치환기 R내지 R는각각, 수소원자, 알킬기등이며, 또한모두탄소수 4 이하이다. 알킬음이온 R및 R은각각, 탄소수 1 이상 3 이하의알킬기이다. 본발명의원료는, 증기압이높고, 저온에서백금박막의제조가가능함과함께, 적당한열 안정성도겸비하고있다.
摘要翻译：本发明涉及如下所示的用于化学气相沉积的原料，其包含用于将碱性胺和烷基阴离子加入到二价铂的有机铂化合物。以下，n为1以上且5以下。烯基胺的取代基R至R各自为氢原子，烷基等，并且它们全部具有4个或更少的碳原子。烷基阴离子R和R中的每一个是具有1至3个碳原子的烷基。本发明的原料具有高蒸气压并且能够在低温下生产铂薄膜，并且还具有合适的热稳定性。

4. 发明公开

KR1020150066591A β-디케톤 화합물로부터의 비대칭 β-디케톤 화합물의 추출 방법 有权
标题翻译：从β-二酮化合物中提取不对称β-二酮化合物的方法
公开(公告)号：KR1020150066591A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020157012400
申请日：2013-10-17
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 하라다료스케 , 시게토미도시유키 , 미야자키사토시 , 사이토마사유키
IPC分类号： C07C45/80 , C07C49/12 , C07C49/14 , B01D11/04
CPC分类号： C07C45/80 , C07C49/12 , C07C49/14
摘要： 본발명은, 비대칭β-디케톤화합물에적어도 1종의대칭β-디케톤화합물이혼재되는β-디케톤화합물로부터, 비대칭β-디케톤화합물을추출하는방법이며, (A) 상기β-디케톤화합물과물과의혼합용액의 pH를 11.5 이상으로하고, β-디케톤화합물을물에용해시켜β-디케톤화합물용액으로하는공정및 (B) 다음에, 상기β-디케톤화합물용액의 pH를 9.5 이하로하고, 상기β-디케톤화합물용액으로부터분리하는화학식 1의비대칭β-디케톤화합물을회수하는공정을포함하는것이다. 본발명은또한, (a):(A) 공정시, 혼합용액의 pH의상한을 12.5로설정하여β-디케톤화합물용액으로하고, 소수성용매를접촉시키는공정, (b):(B) 공정시, β-디케톤화합물용액의 pH의하한을 8.0으로설정하는공정중 적어도어느하나를포함한다.
摘要翻译：本发明提供了从含有至少一种混合在不对称 - 二 - 二酮化合物中的对称二酮化合物的β-二酮化合物中提取不对称二酮化合物的方法，该方法包括步骤（A ）将所述二 - 二酮化合物和水的混合溶液的pH调节至11.5以上，并将所述二酮化合物溶解在水中以形成二酮化合物溶液，并且随后调整步骤（B）将二 - 二酮化合物溶液的pH调节至9.5或更低，并回收与β-二酮化合物溶液分离的化学式1的不对称 - 二酮化合物。本发明还包括（a）将步骤（A）中将混合溶液的pH值的上限设定为12.5以形成步骤（A）中的β-二酮化合物溶液并使该二酮化合物溶液与疏水性溶剂接触，或（b）在步骤（B）中将β-二酮化合物溶液的pH下限设定为8.0的步骤。

6. 发明公开

KR1020170127499A 유기 백금 화합물을 포함하는 화학 증착용 원료 및 그 화학 증착용 원료를 사용한 화학 증착법 审中-实审
标题翻译：包含有机铂化合物的化学气相沉积材料和使用化学气相沉积材料的化学气相沉积方法
公开(公告)号：KR1020170127499A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020177027929
申请日：2016-05-09
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 하라다료스케 , 시게토미도시유키 , 스즈키가즈하루 , 나베야슌이치 , 구마쿠라아키코 , 아오야마다츠타카 , 소네다카유키
IPC分类号： C23C16/18 , C23C16/455 , C07F15/00
CPC分类号： C07F15/0086 , C07F15/00 , C09D5/24 , C23C16/18 , H01L21/285 , H01L21/28568 , H01L21/31
摘要： 본발명은 2가의백금에, 2개의이민을포함하는디이민과, 알킬음이온이배위한유기백금화합물을포함하고, 하기에나타내는화학증착용원료에관한것이다. 하기에있어서, 디이민의치환기 R내지 R는각각, 수소원자, 알킬기등이며, 또한모두탄소수 5 이하이다. 알킬음이온 R및 R은각각, 탄소수 1 이상 3 이하의알킬기이다. 본발명의원료는증기압이높고, 분해온도가낮기때문에, 저온에서백금박막의제조가가능하다.
摘要翻译：本发明涉及含有两种亚胺，含有两种亚胺的二亚胺和用于配合烷基阴离子的有机铂化合物的染料，并涉及下面所示的化学气相沉积原料。以下，二亚胺的取代基R至R各自为氢原子，烷基等，并且均具有5个以下的碳原子。烷基阴离子R和R中的每一个是具有1至3个碳原子的烷基。由于本发明的原料具有高蒸气压和低分解温度，所以可以在低温下制造铂薄膜。

7. 发明授权

KR101559707B1 화학 증착용 유기 루테늄 화합물의 리사이클 방법 有权
标题翻译：化学气相沉积用有机钌化合物的回收方法
公开(公告)号：KR101559707B1
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020157000040
申请日：2013-06-06
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 하라다료오스케 , 나베야슌이치 , 시게토미도시유키 , 사이토오마사유키
IPC分类号： C07F15/00 , B01J23/44 , C07B63/00
CPC分类号： C07F15/0046 , B01J23/42 , B01J23/44 , B01J23/462 , B01J25/02 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07C49/92
摘要： 본발명은, 박막형성공정을거친사용후 원료로부터미반응의유기루테늄화합물을추출하는화학증착용유기루테늄화합물의리사이클방법이며, 다음의 (a)∼(c)의공정을포함하는방법이다. (a) 수소분위기중, 상기사용후 원료와수소첨가촉매를접촉시켜, 사용후 원료중의산화된유기루테늄화합물에수소첨가하는개질공정. (b) 상기사용후 원료와흡착제를접촉시킴으로써, 사용후 원료중의불순물을제거하는흡착공정. (c) 상기사용후 원료를, 유기루테늄화합물의분해온도에대해 -100℃이상이고또한 -10℃이하의온도에서, 8시간이상가열하여, 사용후 원료중의유기루테늄화합물에있어서의이성체의비율을조정하는복원공정.
摘要翻译：本发明是未反应的化学气相沉积的有机金属钌化合物的回收方法，以提取从使用后的材料，经受薄膜形成过程中的有机钌化合物，其包括以下的（a）〜（c）中的步骤的方法。（A）改性氢化原料中的氧化的有机钌化合物在使用后与氢气氛接触，所用的原料和氢化催化剂后的步骤。（B）在使用后在原料中除去杂质，通过将材料与使用后的吸附剂接触的吸附工序。（C）异构体在使用后的材料中的比率，在有机和至少-100℃，在温度在-10℃以下使用的钌化合物也有机钌化合物在加热的分解温度，超过8小时，然后将原料恢复过程进行调整。

8. 发明公开

KR1020150103700A 도데카카르보닐 트리루테늄의 제조 방법 有权
标题翻译：十二烷基二苯醚的生产方法
公开(公告)号：KR1020150103700A
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：KR1020157020483
申请日：2014-01-20
申请人： 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
发明人： 사이토마사유키 , 나카가와히로후미 , 시게토미도시유키 , 고토겐지
IPC分类号： C01G55/00 , C23C16/16 , C23C16/455
CPC分类号： C07F15/0046 , C01G55/008 , C23C16/16 , C23C16/45553
摘要： 본 발명은, 염화루테늄을 일산화탄소에 의해 카르보닐화하는 공정을 포함하는 도데카카르보닐 트리루테늄(DCR)의 제조 방법에 있어서, 반응계에, 상기 염화루테늄의 염소에 대해 0.8몰 등량 이상의 아민을 첨가하고, 반응 온도 50∼100℃, 반응 압력 0.2∼0.9㎫로서 카르보닐화하는 도데카카르보닐 트리루테늄의 제조 방법이다. 본 발명에 따르면, 불순물 금속의 잔류가 적은 도데카카르보닐 트리루테늄을, 고압의 반응 조건을 적용하는 일 없이 제조할 수 있다.

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