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1. 发明授权

KR102036966B1 금속 메쉬의 미세 선폭 도금용 진공 및 차폐 척 有权
公开(公告)号：KR102036966B1
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：KR1020170116739
申请日：2017-09-12
申请人： 노바테크인더스트리 주식회사 , 주식회사 대기하이텍
发明人： 황용운 , 공태식 , 황우현 , 박종선 , 위성민 , 모경덕 , 박정우 , 양승용
IPC分类号： C25D5/02 , C25D7/00 , C25D17/00 , C25D3/38

2. 发明授权

KR101930258B1 유리기판 척에 대한 유연 기판의 척킹 및 디척킹 방법 有权
公开(公告)号：KR101930258B1
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：KR1020160122825
申请日：2016-09-26
申请人： 노바테크인더스트리 주식회사
发明人： 황용운 , 공태식 , 황우현 , 박종선 , 위성민 , 모경덕 , 박정우 , 양승용
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/78 , H01L21/02
摘要： 본 발명의 목적은 유연 기판을 유리 기판에 척킹하여 공정을 거친 후, 유리기판으로부터 디척킹하는 방법에 있어서, 유연 기판에 형성되는 소자를 좀 더 안전하게 보호할 수 있고 안정되게 공정을 진행할 수 있는 유연 기판의 척/디척 방법을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적에 따라 본 발명은, 유리기판 위에 자외선 점착제 또는 가시광선 점착제를 도포하여 점착제층을 형성하고, 유리기판 가장자리 부분을 제거하는 패터닝 작업을 하고, 유리기판의 가장자리 부분에 고내열성 실리콘 접착층을 형성하고, 유연 기판을 올려 중앙부의 점착제층과 가장자리부의 접착층의 부착력으로 척킹시키고, 유연 기판에 대해 공정을 진행한 다음, 자외선 또는 가시광선을 조사하여 유연 기판의 중앙부가 유리기판으로부터 분리되되, 실리콘 접착층과는 접착된 상태를 유지하게 하고, 유리기판과 분리된 유연 기판 부분을 잘라내어 디척킹하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 척/디척 방법을 제공한다.

3. 发明公开

KR20180033639A 유리기판 척에 대한 유연 기판의 척킹 및 디척킹 방법 有权
标题翻译：柔性基板对玻璃夹头的吸塑和脱模方法
公开(公告)号：KR20180033639A
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：KR20160122825
申请日：2016-09-26
申请人： 노바테크인더스트리 주식회사
发明人： 황용운 , 공태식 , 황우현 , 박종선 , 위성민 , 모경덕 , 박정우 , 양승용
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/02 , H01L21/78
摘要： 본발명의목적은유연기판을유리기판에척킹하여공정을거친후, 유리기판으로부터디척킹하는방법에있어서, 유연기판에형성되는소자를좀 더안전하게보호할수 있고안정되게공정을진행할수 있는유연기판의척/디척방법을제공하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, 유리기판위에자외선점착제또는가시광선점착제를도포하여점착제층을형성하고, 유리기판가장자리부분을제거하는패터닝작업을하고, 유리기판의가장자리부분에고내열성실리콘접착층을형성하고, 유연기판을올려중앙부의점착제층과가장자리부의접착층의부착력으로척킹시키고, 유연기판에대해공정을진행한다음, 자외선또는가시광선을조사하여유연기판의중앙부가유리기판으로부터분리되되, 실리콘접착층과는접착된상태를유지하게하고, 유리기판과분리된유연기판부분을잘라내어디척킹하는것을특징으로하는유연기판의척/디척방법을제공한다.
摘要翻译：本发明的目的在于提供一种在用玻璃基板夹持柔性基板之后从玻璃基板上去除柔性基板的方法，并提供驱逐/代理方法。根据上述目的，本发明通过施加UV粘合剂或可见光，在玻璃基板上的压敏粘合剂实现的，图案化操作，以形成压敏粘合剂层，并去除在玻璃基板的边缘部，形成在玻璃基板的自我耐热硅粘合层的边缘，doedoe了柔性基板夹持的压敏粘合剂层的粘合力的中心部分与粘合层的边缘部分，并且对于所述柔性基板的前进过程，然后，加入在柔性基板的中心照射来自玻璃基板，有机硅粘合剂层和分离紫外线或可见光线以及一种柔性基板的夹紧/夹紧方法，其中与玻璃基板分离的柔性基板部分被切割和夹紧。

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