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    • 3. 实用新型
    • 승화법에 의한 탄화규소 단결정 성장시 사용되는 분리형 도가니
    • 通过升华法生长碳化硅单晶的可分离坩埚
    • KR200368826Y1
    • 2004-12-03
    • KR2020040013565
    • 2004-05-17
    • 구갑렬
    • 신병철김일수이근형이원재구갑렬김정규김광호
    • C30B23/00
    • C30B23/00C01B32/956C30B35/002
    • 본 고안은 승화법에 의한 탄화규소 단결정 성장시 사용되는 분리형 도가니에 관한 것으로서, 더 자세하게는 도가니를 구성함에 있어서 도가니 몸통과 도가니 상·하부 뚜껑으로만 구성되던 기존의 도가니와는 틀리게 도가니 몸통과 도가니 상·하부 뚜껑, 다공성 그라파이트 링과 도가니 몸통 사이에 위치하는 그라파이트 포일, 그라파이트 시드 홀더로 구성된 분리형 도가니이다. 성장된 탄화규소 단결정이 도가니 몸통에 붙어 도가니 몸통을 파괴하고 성장된 결정을 획득하던 기존의 도가니와는 틀리게 성장중 승화 증기가 도가니 내벽에서 다결정을 형성시키지 않고 다공성 그라파이트 링 또는 그라파이트 포일과 다공성 그라파이트 링 사이에서 다결정을 형성시키도록 하여 성장 후 쉽게 성장된 결정을 도가니 몸통으로부터 분리해낼 수 있도록 하였으며 또한 도가니 상부 뚜껑에서 성장중 승화증기에 의한 결정 성장이 이루어지지 않도록 하기 위해 도가니 뚜껑과 같은 직경을 갖는 그라파이트 시드 홀더를 사용하였다. 따라서 성장후 결정을 떼어내기 위해 불가피하게 도가니를 파괴시켜야 했던 기존 도가니와는 틀리게 몸통 및 뚜껑을 여러 차례 재활용할 수 있도록 하여 성장된 탄화규소 단결정 얻기 위해 도가니를 파괴시켜야하는 번거로움을 해소하였고 도가니를 여러번 재활용할 수 있게 함으로서 도가니의 비용을 절약하여 단결정 성장 전체 공정의 비용을 낮출 수 있게 하였다.
    • 4. 发明授权
    • 톱니형 포커싱 튜브
    • 聚焦管类型
    • KR100766720B1
    • 2007-10-11
    • KR1020060050646
    • 2006-06-07
    • 구갑렬
    • 구갑렬김정규견명옥안준호김정곤서정두
    • C30B23/00
    • A serrated focusing tube for use in single crystal growth of silicon carbide is provided to suppress polycrystalline growth of a process gas and prevent the process gas from entering a single crystal region by focusing the process gas sublimated from silicon carbide powder. A serrated focusing tube for use in single crystal growth of silicon carbide through sublimation technique includes a focusing portion(10) provided with rectangular grooves(20) for focusing a process gas moving towards a surface of a seed crystal, a seat portion(40) for installing the focusing tube in a furnace, and a passage(30) through which the process gas moves towards the seed crystal.
    • 提供用于碳化硅单晶生长的锯齿状聚焦管,以抑制处理气体的多晶生长,并通过聚焦从碳化硅粉末升华的工艺气体来防止工艺气体进入单晶区域。 用于通过升华技术的碳化硅单晶生长中使用的锯齿状聚焦管包括:聚焦部分(10),设置有用于聚焦朝向晶种表面移动的工艺气体的矩形凹槽(20);座部分(40) 用于将聚焦管安装在炉中,以及通道(30),工艺气体通过该通道朝向晶种移动。