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1. 发明授权

KR100903264B1 파면 수차 측정 장치 및 방법 失效
标题翻译：用于测量波前像差的装置和方法
公开(公告)号：KR100903264B1
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070041985
申请日：2007-04-30
申请人： 광주과학기술원
发明人： 정태문 , 고도경 , 이종민
IPC分类号： G01J1/02
摘要： 본 발명은 파면 수차 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 입사되는 레이저 빔을 분할하여 적어도 n개(n은 2)의 간섭무늬를 생성하는 간섭계 및 상기 n개의 간섭무늬를 이용하여 상기 레이저 빔 파면 수차의 크기 및 방향을 동시에 결정하는 파면 수차 해석부를 포함한다. 본 발명에 따르면 적어도 2개의 간섭무늬를 통해 레이저빔의 파면 수차를 측정함으로써 단일 측정으로 정밀하게 파면 수차를 측정할 수 있다.
레이저 빔, 파면, 수차, 경로, arm, 빔스플리터

2. 发明公开

KR1020080096979A 파면 수차 측정 장치 및 방법 失效
标题翻译：用于测量波纹的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080096979A
公开(公告)日：2008-11-04
申请号：KR1020070041985
申请日：2007-04-30
申请人： 광주과학기술원
发明人： 정태문 , 고도경 , 이종민
IPC分类号： G01J1/02
摘要： A wavefront aberration measuring apparatus and method are provided to precisely measure the wavefront aberration with the single measurement by measuring the wavefront aberration of the laser beam through at least two interference fringes. A wavefront aberration measuring apparatus includes an interferometer dividing the laser beam to generate at least n interference fringes(n is natural number more than 2), and a wavefront aberration interpretation part determining the size and direction of the wavefront aberration of the laser beam at the same time by using the n interference fringes.
摘要翻译：提供了一种波前像差测量装置和方法，用于通过至少两个干涉条纹测量激光束的波前像差，通过单次测量来精确地测量波前像差。波前像差测量装置包括：干涉仪，其分割激光束以产生至少n个干涉条纹（n是大于2的自然数）;以及波前像差解释部分，确定激光束的波前像差的尺寸和方向同时使用n个干涉条纹。

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