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1. 发明授权

KR100500360B1 고효율 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템 失效
标题翻译：高效大气微波等离子体系统
公开(公告)号：KR100500360B1
公开(公告)日：2005-07-12
申请号：KR1020020004606
申请日：2002-01-26
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 홍정미 , 김상영 , 이근호
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 본 발명은 이중 공진기를 이용하여 에너지 전달 효율을 높인 고효율의 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 시스템은 마이크로웨이브를 발생하기 위한 마이크로웨이브 발생부와, 상기 마이크로웨이브를 전달받아 반응가스로부터 플라즈마를 생성하기 위한 플라즈마 반응부를 구비한 마이크로웨이브 플라즈마시스템에 있어서, 상기 플라즈마 반응부가 상기 반응가스가 통과되는 유전체로 된 플라즈마 반응관과, 공진기 튜너가 이중의 공진기 구조내에 포함되어 공진모드와 주파수를 최적화할 수 있도록 구성된다.
따라서, 본 발명의 마이크로웨이브 플라즈마시스템은 에너지 결합효율이 높은 이중 공진기형이면서, 공진기 내의 튜너를 통해 다양한 공정변수에서도 안정하게 유지되는 상압 플라즈마 방전을 얻을 수 있으므로 기존의 저압시스템을 활용한 경우보다 고밀도 중성 활성종을 얻을 수 있어 효율을 높이고 이에 따라 처리속도를 높일 수 있다.

2. 发明公开

KR1020030064125A 고효율 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템 失效
标题翻译：高效大气压微波等离子体系
公开(公告)号：KR1020030064125A
公开(公告)日：2003-07-31
申请号：KR1020020004606
申请日：2002-01-26
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 홍정미 , 김상영 , 이근호
IPC分类号： H05H1/46
摘要： PURPOSE: A high efficiency atmospheric pressure microwave plasma system is provided to increase the efficiency of the energy transmission by having the double resonance structure and inserting the resonance tuner into the resonance. CONSTITUTION: A high efficiency atmospheric pressure microwave plasma system includes a power block(202), a magnetron(204), a controller(206), an isolator(208), a directional coupler(210), a triple rod tuner(212), a plasma reaction block(220) and an automatic transfer system(230). The plasma reaction block(220) includes a first resonator(221), a second resonator(222), a plasma reaction tube(223) and a resonance tube(224). The high efficiency atmospheric pressure microwave plasma system is capable of exciting various modes in response to the hole to transmit the energy from the first resonator(221) to the second resonator(222) or the position or the type of the antenna.
摘要翻译：目的：提供高效率的大气压微波等离子体系，以通过具有双重共振结构并将共振调谐器插入谐振来提高能量传输的效率。构造：高效率大气压微波等离子体系统包括功率块（202），磁控管（204），控制器（206），隔离器（208），定向耦合器（210），三杆式调谐器（212），等离子体反应块（220）和自动转移系统（230）。等离子体反应块（220）包括第一谐振器（221），第二谐振器（222），等离子体反应管（223）和谐振管（224）。高效大气压微波等离子体系能够响应于孔而激发各种模式，以将能量从第一谐振器（221）传输到第二谐振器（222）或天线的位置或类型。

3. 发明公开

KR1020040010895A 플라즈마와 흡착제를 이용한 정화장치 失效
标题翻译：使用等离子体和吸附剂的纯化装置
公开(公告)号：KR1020040010895A
公开(公告)日：2004-02-05
申请号：KR1020020043928
申请日：2002-07-25
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 김정순 , 김윤기 , 심연근 , 홍정미
IPC分类号： B01D53/32
CPC分类号： C02F1/48 , A61L9/015 , B01D53/04 , B01D53/32 , B01D2259/818 , B01J20/3441 , C01B13/28 , C02F1/281 , C02F1/283 , C02F1/78 , H05H1/2406
摘要： PURPOSE: A purification device using plasma and adsorbent is provided, which decomposes and sterilizes contaminants and maintains adsorption performance for a long period of time by generating plasma from an adsorption type purification device. CONSTITUTION: The purification device using plasma and adsorbent comprises first electrode(10) formed of a conductive material; second electrode(11) formed in a tube shape for surrounding the first electrode; and first dielectric pipe(20) which is positioned between the first electrode and the second electrode, and in which adsorbent(40) is filled, wherein an AC power is impressed to the first and second electrodes, plasma is generated by injecting a reaction gas into the first dielectric pipe, liquid or gas containing contaminants is injected into the first dielectric pipe so that the contaminants are adsorbed by the adsorbent, and the produced plasma sterilizes microorganisms contained in the liquid or gas and improves adsorption performance of the adsorbent, wherein the purification device further comprises second dielectric pipe(21) for forming a certain space on the outer side of the second electrode, and a tubular third electrode(12) for surrounding the second dielectric pipe.
摘要翻译：目的：提供使用等离子体和吸附剂的净化装置，其通过从吸附型净化装置产生等离子体来分解和消毒污染物并长期保持吸附性能。构成：使用等离子体和吸附剂的净化装置包括由导电材料形成的第一电极（10）形成为管状的第二电极（11），用于包围第一电极; 和位于第一电极和第二电极之间并且其中填充有吸附剂（40）的第一介电管（20），其中AC电力施加到第一和第二电极，通过注入反应气体产生等离子体在第一介质管中，含有污染物的液体或气体被注入到第一介电管中，使得污染物被吸附剂吸附，并且所产生的等离子体对包含在液体或气体中的微生物进行灭菌并改善吸附剂的吸附性能，其中净化装置还包括用于在第二电极的外侧形成一定空间的第二电介质管（21）和用于围绕第二电介质管的管状第三电极（12）。

4. 发明公开

KR1020020091857A 다중 공진 모드를 이용한 플라즈마 방전 시스템 无效
标题翻译：使用多种谐振模式的等离子体放电系统
公开(公告)号：KR1020020091857A
公开(公告)日：2002-12-11
申请号：KR1020010030105
申请日：2001-05-30
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 이근호 , 최진주 , 김윤기 , 홍정미 , 송호영
IPC分类号： H05H1/46
摘要： PURPOSE: A plasma discharge system using multiple resonant modes is provided to enhance energy coupling efficiency and improve the uniformity of plasma by exciting a multi-mode overlaid with the multiple resonant modes within a resonator. CONSTITUTION: A driver(1) is used for generating microwaves. A divider(2) is used for receiving and passing the microwaves from the driver(1). A traveling wave tube(3) is used for receiving the microwaves from the divider(2) and generating multiple frequencies having wide bandwidth. The divider(2), a circulator(4), and a dummy load(6) are used for preventing reflection and controlling the microwaves. The circulator(4) is used for passing the microwaves to a resonator(7). The dummy load(6) is used for absorbing the heat from the microwaves by using a water cooling unit. A directional coupler(5) is used for measuring a forward power inputted into the resonator(7) and a reflected power reflected from the resonator(7). The resonator(7) is used for generating plasma by using the multiple modes.
摘要翻译：目的：提供一种使用多个谐振模式的等离子体放电系统，以通过激励谐振器内多重谐振模式的多重模式激发来提高能量耦合效率并提高等离子体的均匀性。构成：驱动器（1）用于产生微波。分配器（2）用于从驱动器（1）接收和通过微波。行波管（3）用于从分频器（2）接收微波并产生具有宽带宽的多个频率。分隔器（2），循环器（4）和虚拟负载（6）用于防止微波的反射和控制。循环器（4）用于将微波传递到谐振器（7）。虚拟负载（6）用于通过使用水冷单元吸收来自微波的热量。定向耦合器（5）用于测量输入到谐振器（7）的正向功率和从谐振器（7）反射的反射功率。谐振器（7）用于通过使用多种模式来产生等离子体。

5. 发明授权

KR100186906B1 고체 비평면 레이저 자이로스코프 失效
标题翻译：固体非平板激光陀螺仪
公开(公告)号：KR100186906B1
公开(公告)日：1999-05-15
申请号：KR1019950047838
申请日：1995-12-08
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 손승현 , 길상근 , 성태경 , 홍정미 , 이재철 , 홍성수 , 브이.드미트리에프
IPC分类号： G01C17/00
摘要： 본 발명의 목적은 레이저 펌핑 소스로서 고체 레이저 다이오드를 이용하는 레이저 자이로스코프를 공급함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 회전각을 결정하는 방법을 이용하는 레이저 자이로스코프를 공급함에 있다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 고체 환형 비평면 레이저 자이로스코프는 베이스, 레이저 펌핑 소스, 능동 매질, 집속 광학계, 검출기, 자석 및 덮개를 포함하며, 소정 자장의 세기를 갖는 자석을 이용하여 자기 변조 주파수 측정을 할수 있도록 영점과 레이저 자이로스코프의 동작영역을 이동시킨다. 각속도는 능동 매질에서서 서로 반대방향으로 진행하는 두 파중의 하나의 자기 변조 주파수를 측정함으로 인해 결정되어진다.

6. 发明授权

KR100460635B1 열린 공진기를 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 방전 시스템 失效
标题翻译： 열린공진기를이용한마이크로웨이브플라즈마방전시스템
公开(公告)号：KR100460635B1
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：KR1020010030104
申请日：2001-05-30
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 이근호 , 최진주 , 김윤기 , 홍정미 , 송호영
IPC分类号： H05H1/46
摘要： PURPOSE: A microwave plasma electric discharging system using an open resonator is provided which is efficient and economical by overcoming a limitation of a surface treatment due to a scale-up problem of the conventional resonator and by enabling an in-line processing. CONSTITUTION: According to the microwave plasma electric discharging system comprising a microwave source(3) generating a microwave and a resonator part(7) performing a plasma electric discharging using an energy obtained by resonating the above microwave, the resonator part has an open part formed to proceed an object to be processed into/out of the resonator part during the plasma discharge. The resonator part is transferred with the energy from a waveguide of a connected coaxial structure. A coupling hole is formed between the resonator part and the coaxial structure.
摘要翻译：目的：提供一种使用开放式谐振器的微波等离子体放电系统，其通过克服由于传统谐振器的放大问题引起的表面处理的限制并且能够进行在线处理而高效且经济。本发明的微波等离子体放电系统包括产生微波的微波源（3）和利用使上述微波发生共振而得到的能量进行等离子体放电的谐振器部（7），谐振器部具有形成的开口部在等离子体放电期间处理待加工物体进出谐振器部分的物体。谐振器部分利用来自连接的同轴结构的波导的能量传输。谐振器部分和同轴结构之间形成耦合孔。

7. 发明公开

KR1020040010898A 대기압 마이크로 웨이브 플라즈마 방전시스템의 점화장치 无效
标题翻译：大气压力微波放电系统点火装置
公开(公告)号：KR1020040010898A
公开(公告)日：2004-02-05
申请号：KR1020020043932
申请日：2002-07-25
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 김상영 , 심연근 , 홍정미 , 김윤기
IPC分类号： H05H1/18
摘要： PURPOSE: An ignition apparatus of an atmospheric pressure microwave plasma discharge system is provided, which is easily isolated from outside and is manufactured by installing the ignition apparatus inside of the flow injection tube. CONSTITUTION: An ignition apparatus of an atmospheric pressure microwave plasma includes a microwave waveguide(310) for transmitting the microwave and a quartz tuber(312) passing through the microwave waveguide(310). The ignition apparatus of an atmospheric pressure microwave plasma includes a flow injection tube(314), an ignition electrode(316) and an alternative high voltage generator(322). The flow injection tube(314) injects the ignition gas into the quartz tube(312). The ignition electrode(316) is installed adjacent to the flow injection tube(314). And, the alternative high voltage generator(322) applies the high voltage to the ignition electrode(316).
摘要翻译：目的：提供一种大气压微波等离子体放电系统的点火装置，其易于与外部隔离，并且通过将点火装置安装在流动注射管内部而制造。构成：大气压微波等离子体的点火装置包括用于传送微波的微波波导（310）和通过微波波导（310）的石英块（312）。大气压微波等离子体的点火装置包括流注入管（314），点火电极（316）和替代的高压发生器（322）。流动注入管314将点燃气体注入石英管312中。点火电极（316）安装在流动注射管（314）附近。而且，替代的高压发生器（322）将高电压施加到点火电极（316）。

8. 发明授权

KR100320130B1 알루미늄제 부품의 질화알루미늄층 형성방법 失效
标题翻译：铝部件形成AlN层的方法
公开(公告)号：KR100320130B1
公开(公告)日：2002-01-10
申请号：KR1019990055561
申请日：1999-12-07
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 이명재 , 이근호 , 홍정미 , 심연근 , 김윤기
IPC分类号： C23C8/36
摘要： 본발명은플라즈마질화법을이용하여질소개스를플라즈마상태로활성화시킨뒤 알루미늄의표면과접촉반응을일으켜질화알루미늄층을형성시키는알루미늄제부품의질화알루미늄층형성방법에관한것으로, 본발명의실시로저가의알루미늄합금에도막형성이가능해져제조비용절감이가능하고, 질화알루미늄(AlN) 피막은내식성이좋을뿐만아니라조직이치밀하고다공성이없으므로부식을근본적으로방지할수 있으며, 또한열전달계수가알루미늄과비슷한 200 - 300 W/mk 정도로우수하며, 따라서 AlN은융점및 경도가높고열전도율도알루미늄과비슷하여열전달능력이탁월하므로내식성향상에따른내구성증가뿐만아니라열전달효율의향상에의한성능향상및 에너지절감효과도있다.

9. 发明授权

KR100146274B1 광여파기를 이용하여 안정화된 출력신호를 갖는 고체환형 레이져 자이로스코프 失效
标题翻译：固体激光雕塑
公开(公告)号：KR100146274B1
公开(公告)日：1998-08-17
申请号：KR1019940040615
申请日：1994-12-31
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 홍정미 , 홍성수 , 손승현 , 이재철
IPC分类号： G01C19/64
摘要： 고체 환형 레이저 자이로스코프가 개시되어 있다. 자이로스코프는 제 1 파장을 가진 광빔을 생성하는 레이저 다이오드와, 레이저 다이오드로부터 출사되는 광빔을 집속하는 집속광학계와, 입사면을 통해 내부로 입사된 광빔을 외주반사면에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 내부 매질내에서 회전시키고, 시계방향으로 회전된 광빔을 제 1 출사광빔으로 출사시키고, 반시계방향으로 회전된 광빔을 제 2 출사광빔으로 출사시키는 Nd:YAG 결정 환형 공진기와, 집속광학계와 환형 공진기 사이의 광로상에 위치하고, 상기 집속광학계로부터 제공되고, 저반사 코팅된 제 1 면으로 입사되는 광빔은 거의 통과시키고, 상기 환형 공진기로부터 제공되고 고반사 코팅된 제 2 면으로 입사되는 제 2 파장의 광빔을 거의 반사시키는 광여파기를 포함한다. 따라서 환형 공진기로부터 출사된 변조된 광빔에 의해 레이저 다이오드의 발진특성이 불안정해지는 것을 방지함으로써 주파수특성을 안정화시킬 수 있다.

10. 发明公开

KR1020020091431A 열린 공진기를 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 방전 시스템 失效
标题翻译： MICROWAVE等离子放电系统使用开放式谐振器
公开(公告)号：KR1020020091431A
公开(公告)日：2002-12-06
申请号：KR1020010030104
申请日：2001-05-30
申请人： 고등기술연구원연구조합
发明人： 이근호 , 최진주 , 김윤기 , 홍정미 , 송호영
IPC分类号： H05H1/46
摘要： PURPOSE: A microwave plasma electric discharging system using an open resonator is provided which is efficient and economical by overcoming a limitation of a surface treatment due to a scale-up problem of the conventional resonator and by enabling an in-line processing. CONSTITUTION: According to the microwave plasma electric discharging system comprising a microwave source(3) generating a microwave and a resonator part(7) performing a plasma electric discharging using an energy obtained by resonating the above microwave, the resonator part has an open part formed to proceed an object to be processed into/out of the resonator part during the plasma discharge. The resonator part is transferred with the energy from a waveguide of a connected coaxial structure. A coupling hole is formed between the resonator part and the coaxial structure.
摘要翻译：目的：提供一种使用开放式谐振器的微波等离子体放电系统，其通过克服常规谐振器的放大问题的表面处理的限制以及通过在线处理而能够有效且经济。构成：根据微波等离子体放电系统，其特征在于，包括微波源（3）和产生微波的谐振器部（7），使用通过使所述微波共振而得到的能量进行等离子体放电，所述谐振器部形成有开放部在等离子体放电期间进行要处理的物体进入/离开谐振器部分。谐振器部分被来自连接的同轴结构的波导的能量传送。在谐振器部件和同轴结构之间形成耦合孔。

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